Machine d′implantation ionique par immersion plasma avec sources d′arc cathodique filtrées

Détails du Produit
Personnalisation: Disponible
Service après-vente: les ingénieurs peuvent être envoyés sur le chantier
Garantie: 1 an
Fabricant/Usine & Société Commerciale
Membre d'Or Depuis 2024

Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées

Fournisseur Audité

Audité par une agence d'inspection indépendante

Importateurs et exportateurs
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Info de Base.

Type
Ligne de Production de Revêtement
Revêtement
Revêtement sous Vide
Substrat
Acier
Certificat
CE
État
Nouveau
poids (kg)
1800
dimensions (l*l*h)
taille personnalisée
arguments de vente clés
multifonction
dimensions de la chambre à vide
peut être conçu en fonction des exigences du client
tension
tension locale du client
rapport de test des machines
fourni
méthode de revêtement
dépôt d′arc
vidéo-inspection-sortie
fourni
cible d′arc cathodique
taille de l′entreprise
après le service de garantie
support technique vidéo
Paquet de Transport
emballage standard pour exportation
Spécifications
personnalisé
Marque Déposée
vide-son
Origine
Hunan, China
Code SH
8543300090
Capacité de Production
50 jeux/an

Description de Produit

Machine d'implantation d'ions par immersion dans le plasma avec arc sous vide cathodique filtré Sources

[Nous fournissons un service de conseil technique et une solution de modification pour les anciens machines]

Informations générales


Pour le système d'implantation et de dépôt d'ions par immersion dans le plasma, il se compose principalement d'une chambre de procédé à double paroi, d'un système de pompage à vide, de 2 jeux de sources FCVA à arc cathodique sous vide filtré, de 2 jeux de KIS à source d'ions Kaufman, d'une source de plasma RF-CCP, d'un modulateur d'impulsions haute tension HVPM, d'un support de pièce à haute tension, d'un système de ligne de gaz, contrôle de la température de la chambre, système d'exploitation manuel, etc. 2 jeux de sources FCVA peuvent être utilisés pour générer des ions métalliques pour le dépôt de film métallique ou de dépôt réactif. Les sources FCVA peuvent effectuer un traitement de surface avec une hauteur de traitement > 200 mm. 2 jeux de sources KIS peuvent être utilisés pour le nettoyage de surface et le pulvérisation avec de l'argon et le
La hauteur de nettoyage est > 200 mm RF-CCP source de plasma peut être utilisée pour générer du plasma gazeux pour le dépôt réactif, la gravure au plasma ou l'implantation d'ions par immersion dans le plasma avec HVPM.


1. Caractéristiques

  •  Chambre double paroi en acier inoxydable avec refroidissement par eau
  •  Contrôle de la température jusqu'à 350 ºC
  •  Porte-pièce haute tension avec refroidissement et rotation de la tour d'eau
  •  Sources d'arc sous vide cathodique filtrées avec sortie de plasma entièrement métallique
  •  Sources d'ions Kaufman pour le nettoyage des échantillons
  •  Source RF-CCP pour la production de plasma gazeux
  •  Modulateur d'impulsions haute tension pour la polarisation de l'échantillon


2. Caractéristiques principales

  •  Chambre en acier inoxydable avec refroidissement à double paroi : Φ650XH720mm
  •  TURBOPOMPE KYKY (2000 l/s) et pompe mécanique 18 l/s pour système de pompage, pression de base ≤ 5X10-4 Pa, taux d'augmentation de la pression : ≤ 0,5 Pa/h, débit de pompage réglable par le papillon
  •  Porte-pièce haute tension : spécialement conçu pour le processus d'implantation d'ions par immersion dans le plasma avec rotation et blindage en verre de quartz pour éviter toute contamination
  • Système de régulation de la température : 6 barres de chauffage environnantes avec une puissance jusqu'à 5 kW, température de la chambre de régulation automatique PID jusqu'à 350 °C.
  • Système d'alimentation en gaz : 5 régulateurs de débit massique avec vannes isolées, alimentation séparée dans les sources d'arc, les sources d'ions et la chambre principale
  • 2 jeux de sources d'arc sous vide cathodique filtrées
  • 2 jeux de sources d'ions Kaufman
  • 1 ensemble de source plasma RF-CCP avec une puissance de sortie maximale de 1 kW, 13,56 MHz
  • 2 jeux de vannes d'obturation pour les sources FCVA
  • 2 jeux de vannes d'obturation pour sources d'ions Kaufman
  • 1 fenêtre d'affichage avec verre en plomb et obturateur
Informations sur la société

Xiangtan Hondson Coating Technology Co., Ltd. A connu un succès remarquable dans la conception et la fabrication de machines de revêtement sous vide PVD. Nous sommes spécialisés dans la technologie innovante PVD, ainsi que dans les équipements pour diverses applications, y compris l'électronique, le dépôt de couches minces, le verre sous vide, l'automobile, Décorations en plastique, revêtements protecteurs durcis sur les outils, moules, perceuses, couteaux, etc. Nos Coaters sous vide de haute qualité sont vendus à l'étranger et les marchés nationaux et gagner leur louange et bonnes grâces. Nous sommes heureux d'établir des relations commerciales avec nos clients du monde entier. Si vous êtes intéressé par nos produits ou si vous recherchez des partenaires de coopération en Chine pour les équipements de revêtement sous vide, nous vous invitons à nous contacter pour plus d'informations. Chaque machine est conçue en fonction des demandes réelles du client.
Plasma Immersion Ion Implantation Machine with Filtered Cathodic Vacuum Arc Sources

 

 

Plasma Immersion Ion Implantation Machine with Filtered Cathodic Vacuum Arc Sources

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Guide de demande :

La machine de revêtement PVD peut être utilisée pour différents matériaux et industries. Pour vous recommander la machine appropriée, nous avons besoin de votre aide pour nous dire :

Quel est le matériau de votre produit ?

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Quelle est la quantité de pièces à enduire quotidiennement ?

Quels sont les revêtements ou couleurs de revêtement que vous désirez ?

 

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