Service après-vente: | service après-vente 24 heures |
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Garantie: | 1 an |
Application: | Industrie, Laboratoire |
Customized: | Customized |
certificat: | CE, ISO |
Structure: | bureau |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Jinan ACME MW1070 MPCVD Machine | ||
Le vide | Mesure de dépression | Piézorésistif 0.1-100kpa jauge de capacité de jauge 0-1000Pa |
Plage de pression de fonctionnement | 4-28Kpa | |
Taux de fuite de dépression | ≤ 5 * 10-9Pa.m3/S (il) de détection de fuite | |
Contrôle de pression | Auto-Control | |
Matériau de la cavité | Chambre d'excitation en alliage aluminium, le quartz chambre sous vide | |
Fenêtre d'observation | Trou de mesure de température avec un diamètre de 10mm et fenêtre d'observation de trou d'poreux | |
Mode de refroidissement | Mode de refroidissement | Refroidissement par eau+refroidissement par air de chambre |
Taille de la table de l'échantillon | Le molybdène phase φ 70mm, zone uniforme Φ 50mm | |
Mesure de température | Thermomètre infrarouge, gamme 300-1400 ºC | |
Débit d'eau de refroidissement | >50L/min | |
Température de l'eau de refroidissement | 20-22ºC | |
Interface de l'eau de refroidissement | 1 pouces sur le fil de l'interface externe | |
Système d'exploitation | Système d'exploitation | La commande API, le contrôle de l'écran tactile 15 pouces |
Menu Processus | 10 Processus de menus, 25 lignes pour chaque | |
Micro-ondes et d'alimentation | Fréquence de micro-ondes | 2,45±0.1GHz |
Puissance de sortie | 1.5-7.5Kw (équipé d'10kw alimentation micro-ondes domestiques) | |
Puissance d'entrée de l'électricité | 380 ac/50Hz, cinq en trois phases sur le fil (3 * 10+2 * 6) de ligne de puissance,>15kw | |
Taux de fuite de micro-ondes | Taux de fuite de micro-ondes 5cm à partir de l'équipement ≤ 5MW/cm2 | |
Gaz de procédé | Le débitmètre et l'interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR femelle 8 mm d'air comprimé Pu tube bouchon rapide |
Le débitmètre peut modifier le type de gaz utilisé par logiciel | ||
Pression d'alimentation de l'air | 0.3-0.35MPa | |
Pression d'air comprimé | 0,5-0.6MPa | |
Pompe à vide | La pompe à vide rotative à ailettes | Pompe à huile |
Vitesse de pompage | 4L/s | |
L'alimentation | Ac 380V(±10%) | |
L'interface | L'extraction de l'air KF25, d'échappement de l'air KF25 | |
Environnement de fonctionnement | La température ambiante et humidité | La température ambiante est inférieure à 26 °C et l'humidité est inférieure à 40% |
Dimensions globales de l'équipement | Taille | 1250(L) × 800(W)×2100(H)mm |
L'apparence d'équipement | ||
Conditions d'acceptation de l'équipement : | 1. Installation d'équipement : après l'équipement de l'installation est terminée, partie A et partie B doit procéder à la mise en service sur site, les techniciens et de la partie B doit procéder à l'équipement, de la sécurité et la maintenance de la formation pour la personne en charge de la partie A. | |
2. Test du système : Le système peut être démarré et a fonctionné normalement, et de la boule de feu détachée est stable sans saut de page. | ||
3. Fuite de micro-ondes : la fuite de micro-ondes est inférieure à 5 mW/cm2 (la puissance de sortie de la micro-ondes source est plus de 80 %, 10cm à partir de l'équipement) |
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