Type: | Gas Mass Flowmeter |
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Measuring Medium: | Gas |
Output Signal Type: | Analog Type |
Production Process: | Integration |
Material: | Stainless Steel |
Accuracy Grade: | 1.0G |
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Le contrôleur de débit massique FMM501 est utilisé pour la mesure et le contrôle précis du débit massique de gaz. Ils jouent un rôle important dans la recherche et la production scientifiques dans les domaines de l'industrie des semi-conducteurs et des circuits intégrés, des matériaux spéciaux, de l'industrie chimique, de l'industrie, de la médecine, protection de l'environnement et lampes à vide. Les applications typiques incluent : les équipements de processus électroniques, tels que la diffusion, l'épitaxie, le CVD, l'oxydation, gravure au plasma, pulvérisation, implantation ionique ; et équipement de revêtement, fusion de fibres optiques, Dispositif de micro-réaction, système de distribution de gaz mélangé, mesure capillaire chromatographe en phase gazeuse et autres instruments analytiques.
Indicateurs techniques
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MFC
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MFM
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Portée
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2SCCM-300SLM
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Précision
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±1% F.S
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Température ±1 ºC
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Linéaire
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±0.5% F.SºC
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Répétabilité
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0.2 % F.SºC
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Temps de réponse
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<2 s
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<1 s.
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Analogique
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0-5v/4-20mA
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Communication
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RTU Modbus RS485
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Alimentation
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±15 V/24 V.
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Temp. De fonctionnement
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0-50ºC
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Pression différentielle
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DP : 0.05-1,0 MPa
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Chute de la presse : <30 kpa
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Pression max
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3 Mpa/10 Mpa
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Connexion électrique
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DB15
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Taux de fuite
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1×10-8 SCCSHe
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Temp. C. F.
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±0.015% F.S/ºC
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Matériau de base
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316 SST
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Étanchéité
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PTFE/CR/NBR
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Raccord
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1/4" 3/8" 6mm 10mm
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SENTEC se concentre sur les solutions de la technologie de détection.
Pendant des décennies, les produits SENTEC garantis par la qualité exigent une fabrication stricte conformément à la directive ISO, ce et entièrement conforme à la directive RoHS. Sur la base d'usines de production à grande échelle et d'excellents dispositifs internationaux, les inspections, les tests et les étalonnages SENTEC sont reconnus dans le monde entier avec un service OEM expérimenté.
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