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Fournisseur Audité | Fonctionnalités |
Haute intensité de champ profil de champ uniforme et obtenus via l'utilisation de calculs par éléments finis électromagnétique dans la conception de l'Assemblée magnétique permanent Tête de pulvérisation à faible impédance et connecteur RF standard match et l'interface facilement avec un large éventail de DC et pulvérisation RF d'alimentation. . Installation facile avec des outils communs. Les aimants sont isolées à partir de l'eau de refroidissement avec le revêtement de protection contre la corrosion pour optimiser la durabilité. Source de pulvérisation est bakeable jusqu'à 200 °C 1 " La plaque de cuivre (EQ-CBP-1) est inclus. Norme de l'arbre de diamètre extérieur de ¾" Accepte 3 mm (1/8") d'épaisseur des cibles; 1 morceau de cuivre cible est inclus à titre accessoire standard |
| Pistolet de pulvérisation |
Diamètre de tête de pulvérisation : 1.82" (46.3mm) Diamètre de cible : 1,0 ± 0,02" (25.4mm) L'épaisseur Cible Maximum : 1/8" (3mm) : Aimants NdFeB Rare Earth Magnet Arbre Diamètre : 3/4 " d.e. |
Le connecteur électrique |
Connecteur femelle standard de HN est inclus (DC et RF, l'image ci-dessous à gauche ) SL16 du connecteur du câble en option 148 cm de câble RF est recommandée avec un coût supplémentaire |
| Besoin de puissance | DC (max.) 250 W RF (Max.)100 W |
| Courant de pulvérisation cathodique | 3 amp (max). |
| Tension de pulvérisation cathodique | 200 - 1000 V |
| Plage de pression de fonctionnement | ~1 mTorr à 1 Torr |
| Pulvérisation de l'uniformité de la courbe d'épaisseur |
Remarque : l'épaisseur de film normalisée graphique ci-dessus a été obtenu à partir de la dépose de la ~200 nm en couche épaisse avec un pistolet de pulvérisation magnétron HT PVD en utilisant une cible de 1 pouce de Cu. Les mesures ont été effectués en utilisant une sonde de 4 points dans deux directions perpendiculaires (X,Y) à travers la galette de surface. Le film a été déposé sur un non-rotatif oxydés Si wafer sous les conditions suivantes : 150 watts CC dans 10 mTorr (AR) Distance de 3 pouces (75-mm) de la cible au substrat |
| L'eau de refroidissement (requis) | Exigence de débit : 1/2 GPM, filtré Température d'entrée de l'eau : <20 C Crochet de l'eau jusqu': 0,25 " D.E. Dispositifs de déconnexion rapide |
| Équipements électriques et les raccords de montage | Connecteur électrique : HN type standard (DC et RF) |
| Assemblée de l'inclinaison | La tête de pulvérisation peut être inclinée de +/- 45 degrés pour l'angle de réglage de l'incidence des bombardements à améliorer le rendement de pulvérisation. Tracer les lignes sur l'Assemblée offre d'inclinaison angle précis des ajustements. |
| La garantie | Un an avec assistance à vie limitée |
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