2 " pulvérisation magnétron Source de vide élevé avec flexible de la tête et le connecteur rapide

• Personnalisé: Personnalisé
• La structure: Bureau
• Matériel: Aluminium
• Certification: CE, TUV
• Application: L′école, Hospital, Laboratoire
• Type: Magnetron Sputtering Source
• N° de Modèle.: CY-HVMSS-SPC-2F
• diamètre de l′écran de l′anode: 86mm
• diamètre: 50,8mm
• pression de pulvérisation: 1-1000 mtorr
• courant de pulvérisation (max.): 5 a
• tension de pulvérisation: 200 000 v.
• Paquet de Transport: Wooden Box
• Spécifications: 1"
• Marque Déposée: CY
• Origine: Zhengzhou, China
• Code SH: 85141090
• Capacité de Production: 210 Sets Per Month

Description de Produit

2 " pulvérisation magnétron Source de vide élevé avec flexible de la tête et le connecteur rapide - HVMSS-SPC-2F
L'HVMSS-SPC-2 est un 2" diam. circulaire pistolet de pulvérisation magnétron qui peut accueillir un large éventail de cibles de pulvérisation, comme isolant ou/métallique magnétique/non-magnétique. La circulaire rare-earth NdFeB aimant permanent est mis en oeuvre pour veiller à ce excellent film de l'homogénéité et de cibler l'utilisation. Un tel pistolet de pulvérisation est facile à exploiter et entretenir. L'installation est simple et il peut être utilisé avec l'alimentation DC ou RF.
 

Fonctionnalités	La tête de pulvérisation peut être inclinée de +/- 25 degrés pour l'angle de réglage de l'incidence des bombardements à améliorer le rendement de pulvérisation.   Faites de matériaux de haute qualité en acier inoxydable et de la céramique.   Électromagnétique de calculs par éléments finis sont utilisés dans la conception de l'Assemblée magnétique permanent pour parvenir à haute intensité de champ profil de champ et uniforme.   L'aimant est enduit avec un matériau protecteur contre la corrosion de l'eau de refroidissement afin de maximiser la longévité. Connecteur RF standard, ce qui correspond à un large éventail de DC et pulvérisation RF d'alimentation. Les têtes de pulvérisation à faible impédance sont facilement interfaceable avec une alimentation externe. Facile à installer un raccord standard avec connecteur rapide inclus 2 " La plaque de cuivre (EQ-CBP-2) est inclus. Remplacement de la cible est facile et pas nécessaire de régler le pistolet à mettre en place des cibles avec hauteur différente.
Besoin de puissance	DC (max.) 500 W RF (max.) 300 W
Type de connexion électrique	Connecteur femelle standard de HN est inclus (DC et RF, pic.1) SL16 du connecteur du câble en option   Option 148 cm de câble RF avec connecteur SL6
Courant de pulvérisation (Max).	5 Amp
Tension de pulvérisation	200-1000 V
Pression de pulvérisation	1-1000 mTorr
Dimensions	Protection de l'Anode Diamètre: 86mm
Cible de pulvérisation	Diamètre:            2.0" (50,8 mm),   Épaisseur :           jusqu'à 1/4" pour les non-cible magnétique ; jusqu' à 1/16" pour la cible magnétique Utilisation :            jusqu'à 30 % Aimant :              NdFeB Rare Earth Magnet
Exigence de l'eau de refroidissement	Débit :             0,8 GPM, filtré Température d'entrée de l'eau :   <20 C Tubes de l'eau:           6mm déconnexion rapide.
Le montage	La traversée :           3/4" O.D.tube