300B type petit système de revêtement par évaporation thermique pour la préparation de films films conductrices, semi-conducteurs
description du produit de type 300B petit système de revêtement par évaporation thermique:
L'équipement se compose d'une chambre à vide, une dépression du système d'échappement, un système de mesure de dépression, une résistance de l'évaporation système source, un substrat table, le transfert de l'échantillon, la cuisson, d'éclairage et de l'aime.
Application de type 300B petit système de revêtement par évaporation thermique:
Pour la préparation de films conductrices, semi-conducteurs de films, films ferroélectriques, optique des films et ainsi de suite.
Spécifications techniques de type 300B petit système de revêtement par évaporation thermique:
| Le vide absolu |
≤ 6, 7 *10 Pa |
| Temps de dépression de récupération |
Le pompage de 1×10 Pa à 5×10 Pa≤20min |
| Taux de fuite du système |
6.7*10-7Pa. L / S |
| La chambre à vide |
Ф450 x 350 mm cylindrique, chambre à vide |
| Source d'évaporation |
2, en utilisant une résistance de l'évaporation, l'évaporation du revêtement en bateau jusqu'à la partie inférieure. La distance entre le bateau d'évaporation et de l'échantillon est de 150-200 mm; |
| Précision de contrôle de température et de température |
La température maximale de l'évaporation bateau est: La température ambiante à 800 ° C, la commande de température de précision: ± 1 ° C; La température ambiante ~ 1300 ° C, la commande de température de précision: ± 2 ° C; Puissance 1 KW; |
| Échantillon |
100 × 50 × (1 ~ 2) (épaisseur en mm), un seul échantillon est plaqué à un moment, l'échantillon peut être chauffée par rotation;
Afin de garantir la fermeté de la Film, de l'échantillon est chauffé à 400 ° C (température maximale) au cours de l'évaporation.
|
| Température de cuisson |
400 °C l'affichage numérique (contrôle automatique de température thermocouple de la plaque de four à haute température, l'affichage numérique automatique de commande de température de thermocouple peut être chauffé à 700 ° C) |
| La résistance de source d'évaporation |
La tension 5V, 10V, puissance 2.5KW, refroidis par eau électrode paires 1~2. |
| Cristal de Quartz contrôleur d'épaisseur de film |
Plage de mesure d'épaisseur de film 0-999999Å |
Images liées de type 300B petit système de revêtement par évaporation thermique:
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