Équipement CVD double zone de laboratoire combinant un produit chimique amélioré à plasma PECVD Système de dépôt de vapeur

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• certificat: CE
• Structure: Horizontal type
• Marque: Cyky
• nom du produit: système de four à tube pecvd
• température max: 1 200 °c.
• matériau du tube: tube de quartz
• élément chauffant: fil de résistance
• zone de chauffage: 3 zones
• longueur de la zone de chauffage: Per 400mm
• débitmètre de gaz: 3 canaux
• générateur rf: 300 w.
• fréquence: 13,56 mhz
• Paquet de Transport: Wooden Case
• Marque Déposée: cykyfurnace
• Origine: China
• Code SH: 85141090
• Capacité de Production: 500 Sets Per Month

Description de Produit

Description du produit

Four à tubes CVD/PECVD à plasma amélioré  Introduction au tube PECVD Four

 

Dépôt chimique de vapeur PECVD PE

Est un système de          four à tube PECVD (plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)  abordable et compact avec  mécanisme coulissant.  Il se compose  d'un    générateur de plasma RF de 300 W, d'un    four à tube séparé de 2 po de diamètre et  du   rail coulissant intégré qui vous permet  de préchauffer et de faire glisser le four vers   la zone d'échantillonnage afin   d'obtenir une   exposition instantanée  de votre échantillon à haute température.  Ce système peut être mis à jour vers un modèle avancé avec options.   C' est l'outil idéal  pour  le  chercheur de faire de l'innovation dans un budget limité .

 

Caractéristiques de l'équipement PECVD

 

Traitement à température inférieure   par rapport aux  CVD classiques.   

Taux de chauffage et de refroidissement élevé  à l'aide  d'un four coulissant  

3.  La contrainte du film peut être contrôlée par    des techniques de mélange haute/basse fréquence.   

4.contrôle de la stœchiométrie via  les conditions de processus.  

5.peut faire une large gamme de  dépôts de matériaux, y compris SiOx, SiNx, SiOxNy et  le silicium amorphe (a-si:H) dépôt.

 

Paramètres techniques de l'équipement PECD

Four à tube plat	Puissance d'entrée : 208 - 240 V CA, 1,2 kW 1200 °C température de fonctionnement max.  Pendant < 60 minutes 1100 °C max . Pour  un chauffage continu    Tube en quartz haute pureté 2" de x  1.7" de x   39.4" de longueur         contrôleur de température numérique de précision programmable à 30 segments 8 mm (1  po), zone.  2.3 mm   (+/-1°C) à 1000°C.
Générateur RF plasma	Puissance de sortie :           5 -300 W réglable avec une stabilité de ± 1 %    Fréquence RF :           stabilité de 13.56 MHz ±0.005 %    Puissance de réflexion:       200W max Comparaison :                 automatique   Port de sortie RF :        50 Ω, type N, femelle Bruit :                      <50 dB.   Refroidissement :                     refroidissement par air.   Puissance :                     208 V c.a., 50 / 60Hz
Bride et  raccords à dépression	Le jeu de brides de vide est en   acier inoxydable  304.     L'ensemble de bride gauche comprend un   orifice de vide KF-25,  deux KF-25    attache rapide, Une    soupape à angle droit KF-25, un   soufflet à dépression KF-25, une bride   Prise en charge 1/4 O.D    raccord de flexible et  robinet à pointeau .   L'ensemble bride droite comprend un   manomètre pirani numérique, 1/4 O.D    raccord de tube, 1/4"  passage et robinet à pointeau .
Pompe à vide	CA 220V 50 HZ  1/2HP  375W 2 litres /S  ou 120 litres/m    Le séparateur d'huile (entrée) et  le filtre d'échappement (sortie) sont installés.  Vide max. :  10-2 torr
Garantie	Garantie limitée d'un an avec   support de temps de levage  (Pièces consommables  telles que   les  tubes de traitement, les joints toriques et  les éléments chauffants  ne sont pas couverts   par  la garantie)

 

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

 

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

 

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

 

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

 

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Trade Guarantee.

 

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.