• Double Target Magnetron cratère avec chambre de transition
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Double Target Magnetron cratère avec chambre de transition

Service après-vente: vidéo en ligne
Garantie: 1 an
Type: Ligne de Production de Revêtement
Revêtement: Revêtement sous Vide
Substrat: Acier
Certificat: CE

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Membre Diamant Depuis 2016

Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées

Fabricant/Usine & Société Commerciale

Info de Base.

N° de Modèle.
CY-MSP325G-2T-DVC-2DC
État
Nouveau
mode de refroidissement
refroidissement par eau
refroidisseur d′eau
refroidisseur à eau de circulation avec débit de 10 l/mi
taille de la chambre
diam.300mm*300mm
matériau de la chambre
acier inoxydable
mode d′ouverture
capot supérieur ouvert
pompe d′appui
pompe à palettes rotative
vide ultime
1,0e-5pa
Paquet de Transport
Wooden Case
Spécifications
Personnalisé
Marque Déposée
CYKY
Origine
Zhengzhou, China
Code SH
8416100000
Capacité de Production
100pieces/Month

Description de Produit

Double cible, cratère de pulvérisation magnétron avec chambre de transition
Trois cibles de pulvérisation de magnétron introduction de coater :
Cet équipement est un appareil de cratère à double cible, qui peut être utilisé pour la préparation de films minces métalliques. Il a des applications dans les domaines de l'électronique, de l'optique et de la préparation spéciale de céramique. Il peut également être utilisé pour la préparation d'échantillons SEM de laboratoire.
Le cratère à crachats magnétron à double cible est équipé de deux cibles magnétron et de deux ensembles d'alimentations CC, qui peuvent être utilisées pour recouvrir des films métalliques conducteurs multicouches. En même temps, l'équipement comporte deux parties : une chambre principale et une chambre de transition. La chambre de transition est équipée d'une tige de poussée magnétique et d'une vanne de vide est installée entre les deux chambres ; l'utilisateur peut charger des échantillons dans la chambre de transition tout en effectuant des travaux de pulvérisation dans la chambre principale et effectuer un pré-pompage sous vide. Une fois l'enpulvérisation dans la chambre principale terminée, l'échantillon peut être poussé dans le stade d'échantillonnage de la chambre principale à travers la tige de poussée magnétique. Une telle conception peut réduire le nombre de temps de pompage sous vide dans la chambre principale, ce qui non seulement permet de gagner du temps, mais garantit également un meilleur vide local et améliore efficacement la qualité du revêtement.
 Paramètres techniques du cratère de pulvérisation magnétron à double cible :
Nom du produit Double cible, cratère de pulvérisation magnétron avec chambre de transition
Modèle du produit CY-MSP325G-2T-DVC-2DC(chambre à vide double)
Conditions d'installation 1. Température de l'environnement de fonctionnement 25 ºC±15 ºC, humidité 55 % HR±10 % HR ;
2. Alimentation de l'équipement: AC220V, 50Hz, doit être bien mis à la terre;
3. Puissance nominale : 5000 w ;
4. Gaz d'équipement : la chambre d'équipement doit être remplie d'argon pour le nettoyage et le client doit préparer de l'argon d'une pureté ≥ 99.99 % ;
5. La taille de l'emplacement est de 1 200 mm×1 200 mm×2 000 mm ;
6. La position de placement nécessite une bonne ventilation et une bonne dissipation de la chaleur.
Paramètres techniques 1. Alimentation de pulvérisation : alimentation CC 500 W x2 ; tension de sortie maximale 600 V, courant de sortie limite 1 000 mA
2. Cible magnétron : cible équilibrée de 2 pouces avec déflecteur de couplage magnétique ;
3. Matériau cible applicable pour cible magnétron : matériau cible métallique conducteur φ50mm x 3 mm d'épaisseur
4. Taille de la cavité : cavité principale φ325mm x 410 mm ; cavité de transition 150 x 150 x 150 mm
5. Fonction de la chambre : la chambre principale est équipée d'une porte latérale scellée par une bague d'étanchéité, d'une fenêtre d'observation en quartz avec un déflecteur et d'une tige de commande manuelle pour le transfert des échantillons. La chambre de transition est équipée d'un couvercle supérieur avec une fenêtre en quartz scellée par une bague d'étanchéité, d'une tige de poussée de couplage magnétique pour le transport des échantillons dans la chambre principale et d'un système de vide indépendant.
6. Matériau de la cavité : acier inoxydable 304
7. Table d'échantillonnage de chauffage rotatif : la vitesse est réglable en continu de 1 à 20 tr/min ; la température de chauffage est jusqu'à 500 °C, le taux de chauffage est recommandé de 10 °C/min et la température maximale est de 20 °C/min
8. Méthode de refroidissement : cible magnétron et pompe moléculaire ont besoin d'un refroidisseur d'eau de circulation;
9. Refroidisseur d'eau : volume du réservoir d'eau 9 l, débit 10 l/min
10. Système d'alimentation en gaz : débitmètre massique, gaz AR de type gazeux, débit de 1 à 200 sccm (personnalisable) ;
11. Précision du débitmètre : plage de ±1.5%
12. L'interface de pompage de la chambre à vide est CF160 ;
13. L'interface d'entrée d'air est un joint à double virole de 1/4 pouces ;
14. L'affichage est de 14 ordinateurs tout-en-un industriels ;
15. Le courant de pulvérisation peut être réglé, et la valeur de courant de sécurité de pulvérisation et la valeur de vide de sécurité peuvent être réglées;
16. Protection de sécurité : le courant de pulvérisation est automatiquement coupé lorsque la surintensité et le vide sont trop faibles ;
17. Système de vide : la chambre principale est équipée d'une pompe moléculaire à vide élevé CY-GZK103 réglée à une vitesse de pompage de 600 l/s ; la chambre de transition est équipée d'une petite pompe moléculaire réglée à une vitesse de pompage de 60 l/s. Les deux ensembles de systèmes de vide peuvent fonctionner et contrôler indépendamment, et les vannes pneumatiques entre les chambres et dans le système de vide sont toutes contrôlées par des programmes, qui peuvent réaliser une action clé, qui est pratique et rapide.
18. Vide ultime : 5E-4Pa (avec pompe moléculaire) ;
19. La mesure de vide est un manomètre à vide composite, dont la plage est de 10-5Pa~105Pa
Précautions 1. Pour obtenir un environnement exempt d'oxygène plus élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3 fois avec un gaz inerte de haute pureté.
2. Le crachat magnétron est plus sensible au volume d'air d'admission, et un débitmètre massique doit être utilisé pour contrôler le volume d'air d'admission.
3. Maintenez la cavité dans un vide lorsque l'équipement n'est pas utilisé.
4. Si l'aspirateur n'a pas été aspiré depuis longtemps, il doit être dégazé lorsqu'il est utilisé à nouveau pour améliorer les performances de l'aspirateur.
Accessoires en option
Moniteur d'épaisseur de film Résolution d'épaisseur de film : 0,0136Å (aluminium)
2. Précision de l'épaisseur du film : ±0.5%, selon les conditions du processus, en particulier la position du capteur, la contrainte matérielle, la température et la densité
3. Vitesse de mesure: 100ms-1s/temps, la plage de mesure peut être réglée: 500000Å (aluminium)
4. Cristal de capteur standard: 6MHz
5. Fréquence de puce applicable: 6MHz taille de puce applicable: Φ14mm bride de montage: CF35
Autres accessoires 1. Jeu de pompes moléculaires hautes performances de la série CY-CZK103 (avec jauge de vide composée, plage de mesure 10-5Pa~105Pa) ;
Petit jeu de pompes moléculaires série CY-GZK60 (avec jauge de vide composée, plage de mesure 10-5Pa~102 Pa)
VRD-4 pompe à vide à ailette rotative bipolaire ;
2. Soufflets à vide KF25/40 ; longueur pouvant être de 0,5 m, 1 m, 1,5 m ; support de fixation KF25
3. Oscillateur à quartz de l'épaisseur de film ;

Deux cibles : le cratère de pulvérisation magnétron images du produit :
Double Target Magnetron Sputtering Coater with Transition ChamberDouble Target Magnetron Sputtering Coater with Transition ChamberDouble Target Magnetron Sputtering Coater with Transition ChamberDouble Target Magnetron Sputtering Coater with Transition Chamber



Double Target Magnetron Sputtering Coater with Transition Chamber

Fondée en 2005, Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Est une entreprise spécialisée dans le développement et la production d'équipements de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressés, brûlés, coupés, meulés, équipement analytique poli, revêtu et consommables associés. Les produits incluent l'équipement de frittage de laboratoire, l'équipement de revêtement, etc. À l'heure actuelle, il a été exporté vers 25 pays et régions comme les États-Unis, l'Europe et l'Asie du Sud-est, et a été bien accueilli par diverses unités de recherche scientifique.

Nous avons une équipe de recherche et développement technologique mature, le nombre de techniciens est de 33, la société a 150 personnes, plus de 500 mètres carrés d'espace de bureau, l'usine couvre une zone d'environ 1,500 mètres carrés située dans Zhengzhou High-Tech zone Electronic Industrial Park. Les produits sont principalement situés sur le marché de la recherche, servant la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et des collèges, et peuvent également personnaliser les produits selon vos besoins.
Double Target Magnetron Sputtering Coater with Transition Chamber
Double Target Magnetron Sputtering Coater with Transition Chamber
Double Target Magnetron Sputtering Coater with Transition Chamber

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  le produit période de garantie est de 12 mois, nous pouvons fournir une maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps votre délai de livraison est-il? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Trade Guarantee.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

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