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Fournisseur Audité | Puissance d'entrée | 220 V C.A. 50 / 60 Hz, monophasé 2 000 W (pompe incluse) |
Alimentation de la source |
Deux sources d'alimentation à pulvérisation sont intégrées dans un boîtier de commande Source CC : 500 W pour le revêtement des matériaux métalliques Source RF : 300 W pour le revêtement de matériaux non métalliques |
Tête de pulvérisation de magnétron |
Deux têtes de pulvérisation Magnetron de 2 pouces avec des vestes de refroidissement à eau sont inclus L'un d'eux est connecté à la source RF pour les matériaux non conducteurs L'autre est connecté à une source CC pour le revêtement matériaux métalliques Taille cible requise : diamètre 2" Plage d'épaisseur : 0.1 - 5 mm pour les cibles métalliques et non conductrices (y compris la plaque d'appui) Une cible Cu et une cible SiO2 fusionnée sont incluses pour test de démonstration Méthode de revêtement recommandée
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| Chambre à vide | Chambre à vide : Ø 300 mm x hauteur 300 mm, en acier inoxydable Fenêtre d'observation : diamètre 100 mm Couvercle à charnière sur le dessus avec colonnes de puissance pneumatiques échange de cible facile |
Porte-échantillon |
Taille du porte-échantillon : Ø 140 mm pour. 4 po max. de galette La vitesse de rotation du barillet est réglable : 1 - 20 tr/min pour un revêtement uniforme La température du support est réglable de RT à 500 °C max Avec précision +/- 1.0 °C. |
| Contrôle du débit de gaz |
Deux MFC numériques de précision (régulateur de débit massique) sont installés pour permettre à deux types de gaz d'être rempli Débit : 200 ml/min max (0-200 SCCM) Le débit est réglable sur l'écran tactile de 6 po panneau |
| Station de pompe à vide |
La pompe à vide turbo à grande vitesse (fabriquée en Allemagne) est directement installée sur la chambre à vide pour un niveau de vide maximal La pompe mécanique à double étage à utilisation intensive, 220 litres/minute (7,8 CFM) est connectée à la pompe turbo pour une vitesse de pompage plus rapide Station de pompage mobile incluse et le cratère compact peut être placé sur le dessus de la station Niveau de vide standard : < 4x10^-5 Torr. Niveau de vide max. : 10^-6 torr avec étuvage |
| Refroidisseur d'eau |
Un refroidisseur d' eau de recirculation à température contrôlée numérique est inclus pour refroidir les deux têtes de pulvérisation de magnétron. Plage de réfrigération : 5 à 35 °C. Taux de plancher : 16 l/minute |
Options |
Un moniteur d'épaisseur de film de quartz précis est disponible sur le site de l'application pour être intégré dans la chambre afin de surveiller l'épaisseur du revêtement avec une précision de 0.10 Å. Les systèmes d'analyse de couches minces et de revêtement Pricesion avec fonction de mesure sont disponibles pour mesurer l'épaisseur du film après le revêtement. |
Dimensions hors tout |
Couvercle fermé: 48" × 28" × 32" couvercle ouvert: 48" × 28" × 37" |
| Poids net | 200 kg |
| Garantie | Garantie limitée d'un an avec assistance à vie |
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