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Fournisseur Audité | Puissance d'entrée | 220 Vca, 50/60 Hz, monophasé 2000W (y compris de la pompe) |
| Source d'alimentation | Deux sources d'alimentation pulvérisation sont intégrées dans un boîtier de commande DC SOURCE : 500W pour le revêtement de matériaux métalliques Source RF : 600W avec automatching pour revêtement de matériaux non métalliques Compact 100 source RF est disponible à un coût supplémentaire |
| Tête de pulvérisation magnétron | 1.Deux têtes de pulvérisation magnétron 2" avec des vestes de refroidissement par eau sont inclus Un est connecté à l'approvisionnement de puissance RF pour non-conductrice Un autre est connecté à pulvérisation DC source d'alimentation pour le revêtement de matériaux métalliques 2.Taille Cible Exigence : 2 pouces de diamètre 1/16" épaisseur max. pour cibles métalliques 1/4 " épaisseur max. pour non-cibles conductrices Un acier inoxydable et d'un Al2O3 cibles en céramique sont inclus pour essais de démonstration 3.L'eau de refroidissement de la tête : 10ml/min Débit d'eau requis, et un 16ml/min contrôlé numériquement de recirculation des eaux de refroidissement chiller est inclus pour les deux têtes de pulvérisation magnétron 4.teinteuse personnalisés : Deux DC sans tête, pulvérisation RF, RF tête sans sputering DC, 3 tête de RF sont disponibles sur demande |
| La chambre à vide | La chambre à vide : 300 mm de diamètre x 300 mm de hauteur, en acier inoxydable Fenêtre d'observation : 100 mm de diamètre Couvercle de type à charnière sur le dessus avec le ressort pneumatique sport rend facile Exchange cible. |
| Porte-échantillon | Porte-échantillon taille: 140mm de dia. d. 4 " wafer max Le titulaire de la température est réglable à partir de RT à 500°C max avec une précision de +/- 1,0 °C |
| Contrôle de flux de gaz |
Un MFC numérique de précision (contrôleur de débit massique) sont installés pour permettre à deux types de gaz à pourvoir dans Débit : 200 ml/min max. Le débit est réglable sur la 6" du panneau de commande à écran tactile |
| Station de la pompe à vide | 1.haute vitesse turbo système de la pompe à vide est installé directement sur la chambre sous vide pour un maximum de niveau de vide 2.Heavy duty pompe mécanique double étape est connecté à la pompe turbo pour accélérer la vitesse de pompe 3.pompe mobile station est inclus et la coucheuse pulvérisation compacte peut être mis sur le dessus de la station 4.Max. Niveau d'aspiration : 10^-6 torr à la Chambre la cuisson |
| Dimensions hors tout | L1300W660mm mm×× H1200mm |
| poids net | 160 kg |
| La garantie | Un ans de garantie limitée avec assistance à vie |
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