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Fournisseur Audité | Modèle No. | CY-O1200/50-3Z-PECVD |
| Afficher | Le voyant LED |
| Limitant la température | 1200ºC |
| La température de fonctionnement | ≤1100ºC |
| Taux de chauffage | 0-20 ºC/min |
| Longueur de la Zone de chauffage | 440mm, la zone de température constante:200mm |
| Diamètre du tube de quartz | OD50*1000mm |
| Précision de température | ± 1 °C |
| Élément de chauffage | Alliage Fe-Cr-Al à adopter par le Mo |
| Couple thermique | TYPE K |
| Méthode de refroidissement | La structure double couche avec refroidissement par ventilateur |
| La commande de température | 30 étapes contrôle PID programmable |
| Matériau de chambre | L'alumine fibre |
| Au cours de l'alarme de température | Oui |
| Au cours de l'alarme de courant | Oui |
| Pompe à vide | Mécanique de la pompe à vide |
| Méthode de refroidissement | Refroidissement par air |
| Tuyau de connexion | Soufflets en acier inoxydable, manuel clapet |
| Mélangeur de gaz | Mélangeur de gaz à 3 voies, comme le demande |
| La précision | ±2%F.S. |
| Précision de répétition | ±0,2 % FS |
| Précision linéaire | ±1%F.S. |
| Pression de travail : | -0.1MPa~0.15MPa |
| Le MFC1 SiH4 Gamme | 0~10SCCM |
| Le MFC2 Gamme de NH3 | 0~100SCCM |
| Le MFC3 BCl3 Gamme | 0~100SCCM, ou comme personnalisé |
| La fréquence RF | 13.56MHz±0,005 % |
| Plage de sortie de puissance | 0~100w, réglable |
| Méthode de refroidissement | Refroidissement par air forcé |
| Tension de fonctionnement | AC220V,50Hz |
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