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PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Le crachat magnétron utilisant l'alimentation CC est un choix efficace et économique pour déposer des matériaux conducteurs tels que des métaux ou des oxydes conducteurs transparents (TCO). Pour les matériaux magnétiques tels que le Fe (fer), le ni (nickel) ou le Co (cobalt), les magnétrons DC peuvent être configurés avec des aimants spécialement sélectionnés pour générer du plasma dans un champ magnétique fort.
Grâce à l'alimentation fournie aux radiofréquences (RF), généralement à 13.56 MHz, et à un réseau d'adaptation automatique de l'impédance, l'impédance totale du circuit peut être réglée à 50 Ω, ce qui est adapté à l'allumage plasma dans des environnements d'pulvérisation typiques. Adapté aux matériaux tels que les oxydes, les nitrures et la céramique
Caractéristiques techniques du cratère de pulvérisation de magnétron en poudre :
Nom du périphérique | Machine de revêtement de puissance, cratère de pulvérisation Magnetron pour le carbone en poudre de diamant Poudre |
Paramètre de base | Alimentation :AC220V 50HZ Puissance :<1500W |
Alimentation en tension des radiofréquences | Puissance d'entrée :220V 3A Puissance de sortie :0-300W Fréquence de sortie: 13,56HZ |
Source magnétron | tête de pulvérisation magnétron 2 pouces (avec couche intermédiaire refroidie par eau) |
Matériau cible | Une cible en cuivre, φ2 "*3mm, est standard Taille de cible requise :φ2inch (<=3mm)mm d'épaisseur |
Chambre de pulvérisation | 1. La chambre de pulvérisation est un tube de four de forme spéciale en verre de quartz, de taille : (diamètre 100+ 150+ 100) ×800 (mm); 2. La chambre peut être tournée, la vitesse est réglable de 1 à 10 tr/min, la vitesse est réglée par le régulateur sur le panneau avant, et l'écran d'affichage indique la vitesse 3. Les deux extrémités de la cavité sont scellées par un raccord rapide entre les brides de fluide magnétique et les brides d'étanchéité en acier inoxydable, et un cadre de support est installé aux deux extrémités des brides pour soutenir les brides de fluide magnétique. Retirez les brides de fluide magnétique aux deux extrémités et inclinez le corps du four (commandé par le bouton sur le panneau avant) pour décharger rapidement le matériau. 4. Un φ6.35 joint de manchon est installé sur la bride gauche comme entrée d'air, une vanne à pointeau en acier inoxydable contrôle l'entrée d'air et un manomètre mécanique avec une plage de mesure de -0.1-0.15MPa est utilisé pour observer la pression à l'intérieur du four; Un trou traversant de φ19mm est utilisé pour passer la tête cible de pulvérisation dans l'intérieur de la cavité 5. Un connecteur de buse pagode φ8m sur la bride droite est utilisé comme sortie d'air, une vanne à pointeau en acier inoxydable contrôle la sortie d'air, un connecteur KF25 est connecté au système de vide, une interface KF16 est utilisée comme interface de secours, et un manomètre à vide à affichage numérique peut être installé en option. 6.la bride droite est installée avec un déflecteur en quartz dans la cavité, et quatre barres de déflecteur en acier inoxydable sont installées sur le déflecteur pour remuer le matériau dispersé de sorte qu'il puisse être complètement pulvérisé. 6. Une protection est installée sur le dessus de la cavité pour protéger le plasma, et il y a un port d'observation de quartz d'une longueur et d'une largeur de 240m au sommet de la protection, qui peut observer l'élongation des matériaux. |
Système de chauffage | Appareil de chauffage à l'extérieur de la chambre à quartz Max. Température: 200C Précision du contrôle de la température :±1C |
Système de vide | Pompe à vide à spirale sans huile |
Refroidisseur d'eau | Modèle :KJ-5000 Courant de travail :1.4-2.1A Capacité de refroidissement :2361Btu/h Dimensions : 55 x 28 x 43 cm (L x l x H) Capacité du réservoir :6L Débit d'eau :16L/min |
Taille | Dimensions : 1 500 mm(L)*1 000 mm(l)*1 500 mm(H) lorsque la protection est ouverte |
Poids | Environ 100kg |
Période de garantie | 1 an (à l'exclusion des pièces d'usure telles que les bagues d'étanchéité) |
1. Nous avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 cibles, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Cible DC ou RF 0-1000W disponible. La fonction de biais est facultative
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible
6. Le cratère de pulvérisation magnétron personnalisé selon votre processus de recherche est disponible!
Nous pouvons expédier le maroufrant de magnétron par mer, par air, par express, peut également organiser l'expédition selon vos besoins.
Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Est une entreprise complète qui intègre la conception, la recherche et le développement, la production et la vente.
Les principaux produits de notre entreprise sont: Le cratère de spin, le cratère d'évaporation thermique , le cratère de crapules de magnétron, le cratère de crapules de plasma, le crapule d'évaporation de faisceau E, la machine de revêtement laser à impulsions PLD, le nettoyeur de plasma, le système CVD, le système PECVD, la machine de coupe de fil de diamant, le four de fusion/poêle, etc
Nos produits sont largement utilisés dans le domaine de la recherche en sciences des matériaux. Nous avons une vaste coopération avec des universités, des laboratoires et des entreprises de nouveaux matériaux. Il a été exporté avec succès vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Royaume-Uni, l'Allemagne, la Russie, la Suisse, Canada, etc. Et ont établi des relations de coopération à long terme avec les concessionnaires locaux
Si vous effectuez des recherches sur les matériaux, veuillez nous contacter et nous vous fournirons des services personnalisés pour rendre vos expériences de recherche plus fluides!
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.