Couche atomique Single-Wafer thermique du système de dépôt de matériel Micro-Electronic, nano, l′optique du film, de la batterie solaire

• Type: Coating Production Line
• Coating: Vacuum Coating
• Certification: CE
• Condition: New
• dimension de la plaquette: 8 pouces et moins
• température de la cachets: rt-400c, précision de contrôle +-0.1c
• nombre de précurseurs: trois lignes précurseurs, en option plus de lignes
• température des lignes précurseurs: rt-200c, précision de contrôle +-0.1c
• soupape ald: soupape swagelok ald swift
• vide de fond: <5*10-3torr
• système de transport de gaz: n2 ou ar
• Paquet de Transport: Standard Export Wooden Box Packaging
• Marque Déposée: CYKY
• Origine: Zhengzhou Henan China
• Code SH: 8412800090
• Capacité de Production: 200 Sets Per Month

Description de Produit

Couche atomique thermique galette de système de dépôt unique pour micro-électronique, nano matériaux, film d'optique, batterie solaire


Introduction du  Système de dépôt de la couche atomique TALD:
Système de dépôt de la couche atomique thermique est un système de dépôt de wafer unique spécialement conçu pour la recherche scientifique et des expériences à petite échelle de l'industrialisation. L'electric de complètement le système des accords avec les ce critère., Il est largement utilisé dans les domaines de la micro-électronique, nano matériaux, film d'optique, batterie solaire etc.

Avantages du produit
Système de contrôle de logiciels de pointe: De nombreuses fonctions sont intégrées dans le système, y compris la formulation technologique, réglage de paramètre, popedom stetting, état alarmant de verrouillage ad supervisory control.

ALD Films
Substance élémentaire: Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe…
: L'étain, de nitrure de péché, AlN, TAN, ZrN, HfN, WN …
: Oxyde de TiO₂, HfO₂, SiO₂, ZnO, ZrO₂, Al₂O₃, La₂O₃, SnO₂…
Autres: GaAs, AlP, l'InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO₃, SrTaO₆…

Champs d'application de l'ALD
High-k oxydes de hayon
Le stockage des diélectriques de condensateur
Barrières de diffusion aspect ratio élevé pour le Cu interconnecte
Pinhole-couches de passivation libre pour l'OLED et polymères
Hautement conformes les revêtements pour les applications MEMS
Le revêtement des structures nanoporous
Le dopage de fibre spéciale
Batterie solaire
Affichage de la plaque plat
Lecteur optique thin-film
Nano film d'autres structure spéciale

Paramètres techniques de  Dépôt de la couche atomique TALD système:

Dimension de wafer		Et en dessous de 8 pouces
Température de wafer		RT-400ºC, le contrôle de la précision de ±0.1ºC
Nombre de précurseurs		Trois lignes de précurseurs, plus de lignes en option
Température de lignes de précurseurs		RT-200ºC, le contrôle de la précision de ±0.1ºC
Température de bouteilles de source		RT-200ºC, le contrôle de la précision de ±0.1ºC
Soupape de ALD		Soupape de l'ALD Swagelok swift
Contexte Le vide		< 5*10-3Torr
Système de transporteur de gaz		N2  Ou AR
Mode de croissance		Dépôts consécutifs ou en mode intervalle
Système de contrôle		PLC plus ou d'affichage à écran tactile
L'alimentation		50-60 Hz, 220V/20A AC
L'hétérogénéité Depositon		L'hétérogénéité< ±1%
Dimension de l'instrument		600mmx600mmx1100mm

Photos Connexes Des  Dépôts de la couche atomique TALD système:

Fondée en 2005, Zhengzhou CY Instrument scientifique Co., Ltd. Est une société spécialisée dans le développement et la production de matériel de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressé, brûlé, couper la masse, polis, revêtus, matériel d'analyse et des consommables. Produits comprennent des équipements de frittage de laboratoire, de revêtement de matériel et ainsi de suite. À présent, il a été exporté vers 25 pays et régions telles que les États-Unis, en Europe et Asie du Sud-Est, et a été bien reçue par diverses unités de recherche scientifique.

Nous avons une technologie mature de l'équipe de recherche et développement, le nombre de techniciens est 33, la compagnie a 150 personnes, plus de 500 mètres carrés de bureaux de l'espace, l'usine couvre une superficie d'environ 1500 mètres carrés situé à Zhengzhou high-tech de la zone du parc industriel électronique. Les produits sont principalement situés dans le marché de la recherche, au service de la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et collèges, et peuvent également personnaliser les produits selon vos besoins.

Q. Vous êtes un fabricant ou une société de négoce?

A.   Nous sommes professionnels instrument de laboratoire Les fabricants, ont leur propre équipe de conception et l'usine, ont une expérience technique matures, et peut garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est votre entreprise produit du système de service après-vente?

A.   La période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons fournir de l'entretien à vie. Nous avons professional pré-ventes et services après-vente qui peut répondre à vous dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. Combien de temps est votre délai de livraison? Si je veux personnaliser l'instrument, combien de temps faut-il?

A. 1. Si les marchandises sont en stock, elle est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Il prend généralement de 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. Notre pays et d'alimentation du connecteur sont différentes. Comment résoudre ce problème?

A.   Nous pouvons fournir un transformateur et le bouchon selon vos exigences locales en fonction de la fiche d'alimentation des différents pays.

Q. Comment payer?

A. T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser le commerce Alibaba garantie.

Q. Comment est l'emballage de marchandises? Les méthodes de livraison?

A. 1. Signe de fumigation d'exportation standard Boîte en bois à l'emballage 2. Express, l'air, transport maritime conformément aux exigences du client, de trouver la meilleure façon.

Plus de questions, veuillez contacter le service client.