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Coater à évaporation à trois sources avec boîte à gants à une station

After-sales Service: Online Video
Garantie: 1 Year
Type: Ligne de Production de Revêtement
Revêtement: Revêtement sous Vide
Substrat: Acier
Certificat: CE

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Membre Diamant Depuis 2016

Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées

Fabricant/Usine & Société Commerciale

Info de Base.

État
Nouveau
source d′évaporation
bateau en tungstène x2
taille de la chambre
dia. 300 mm * 400 mm
matériau de la chambre
acier inoxydable 304
pompe d′appui
pompe à palettes rotative à deux étages
pompe secondaire
pompe moléculaire turbo
vide ultime
1,0e-5pa
tension d′alimentation
ac380 v, 50 hz
puissance totale
5 kw
Paquet de Transport
Wooden Box Outside, Plastic Paper Inside
Spécifications
Customized
Marque Déposée
CYKY
Origine
Zhengzhou, China
Code SH
8402111000
Capacité de Production
100pieces/Month

Description de Produit

Absorbeur de vapeurs à trois sources avec boîte à gants à une seule station  

Introduction d' un absorbeur d'évaporation sous vide élevé :
L'équipement de revêtement est principalement basé sur l'évaporation de sources métalliques/organiques. Il convient à la préparation d'éléments métalliques, d'oxydes, de diélectriques, de films semi-conducteurs, etc. En laboratoire. Il peut également être utilisé pour l'enseignement et le test de pré-processus des lignes de production. , l'espace d'expansion est grand, adapté et répond aux travaux d'enseignement et de recherche des collèges et universités.
II La structure de base :
L'équipement de revêtement comprend une chambre à vide, un système de source métallique/organique, un système d'étape d'échantillonnage, un kit de pompe à vide, un système de contrôle de l'épaisseur du film, un rack d'équipement et un système de commande électronique. La porte avant de la chambre à vide peut être connectée à la boîte à gants et un schéma de conception intégré est adopté. L'ensemble de l'équipement est compact dans la structure et simple dans la disposition, afin d'éviter l'aspect désordonné de l'équipement expérimental.



Paramètres techniques de  trois sources de coater à vide élevé :
Chambre à vide
Apparence 1 jeu de chambre à vide en D en acier inoxydable 304 de haute qualité, la taille interne de la chambre à vide est D400*480 mm, les portes avant et arrière doubles et la porte arrière comporte une porte carrée à charnières, pratique pour le nettoyage de la chambre à vide, le débogage interne, la maintenance et la collecte et le placement des échantillons ;
La porte avant est dotée d'une porte carrée à traction horizontale et chaque porte avant et arrière est équipée d'un jeu de fenêtres DN100 ;
Bas 2 jeux d'interfaces de sources métalliques, 4 jeux d'interfaces de sources organiques, 1 jeu d'interfaces de pompes moléculaires, 2 jeux d'interfaces d'éclairage et 3 jeux d'interfaces de sondes d'épaisseur de film ;
Haut 1 jeu d'interface d'étage d'échantillonnage, 1 jeu d'interface de déflecteur électrique, 1 jeu d'interface de déflecteur pneumatique à vide élevé ;
Côté gauche 1 jeu d'interface de vanne pneumatique à vide élevé.
Système de source métallique/organique
Source métallique Quantité: 2 jeux
2 jeux d'électrodes en cuivre refroidies par eau, compatibles avec les bateaux d'évaporation (bateaux au tungstène, au molybdène et au tantale) et les fils spirales, équipés de déflecteurs pneumatiques, 1 jeu d'alimentation en courant continu de 1 kW (affichage numérique), précision de réglage du courant 1A (réglage fin), la puissance répond à l'évaporation courante des métaux et des oxydes de métal ;
Source organique Quantité: 4 ensembles
Bateau à quartz 4CC, 2 alimentations de contrôle de la température (précision d'affichage du compteur de contrôle de la température 0.1 °C), plage de température : RT~500 °C (précision de contrôle de la température ±1 °C), avec déflecteur pneumatique ;
Déflecteur La source d'évaporation est indépendante l'une de l'autre et le déflecteur est séparé pour éviter une contamination croisée
3.système de phase d'échantillonnage
Rotation du substrat La vitesse est réglable en continu de 0 à 30 tr/min ;
Soulèvement du substrat Levage électrique, la distance entre le substrat et la source d'évaporation est réglable en continu de 200 à 300 mm via l'écran tactile ;
Porte-échantillon substrat 20*20mm 8 pièces
Obturateur de substrat Obturateur électrique
4.système de vide
Kit de pompe à vide 1) 1 jeu de pompe moléculaire de 600 l/s ;
2) 1 jeu de pompe rotative à palettes 8 l/s.
3) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé CF150 ;
4) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé CF40 ;
5) 2 jeux de vannes pneumatiques à vide élevé KF16 ;
6) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé KF40 ;
7) 1 jeu d'électrovanne de dépression KF40 ;
8) 2 jeux de flexibles de raccordement de soupape de pompe KF40, 1 jeu de raccord en T KF40 ;
9) 1 jeu de vacuomètre numérique (plage de mesure : 1×105~1×10-5Pa)
5.système de surveillance de l'épaisseur du film
Compteur d'épaisseur de film 1 jeu de moniteurs d'épaisseur de film en quartz à trois canaux
Sonde d'épaisseur de film 3 jeux de sondes d'épaisseur de film refroidies par eau CF35
6.rack d'équipement
1) 1 jeu de 40 cadres de soudage de tubes carrés en acier au carbone ;
2) 4 pièces de roues universelles, déplacer et régler;
3) 4 pièces de pieds M16, verrouillées et positionnées.
7.système de commande électronique
Alimentation électrique de la source métallique 1 jeu
Alimentation de la source organique 2 jeux (un pour deux)
Alimentation électrique du déflecteur de source d'évaporation 1 jeu
Moniteur d'épaisseur de film à quartz à trois canaux 1 jeu
Table d'échantillonnage et son bloc d'alimentation de déflecteur 1 jeu
Alimentation électrique de l'éclairage de cuisson 1 jeu
Contrôle API 1 jeu, équipé d'un écran tactile
Alimentation totale de contrôle 1 jeu
  1. Boîte à gants de poste de travail simple
(Avec côté gauche amovible, pas de système de purification des gaz ni d'analyseurs)
Taille de la chambre L1200* W750* H900mm
Gants 1 paire
Grand antichambre Diamètre intérieur 360 mm, longueur 600 mm
Petit antichambre Diamètre intérieur 150 mm, longueur 300 mm
9.autres paramètres
1) protection contre les pertes de phase, protection contre les erreurs de fonctionnement, verrouillage de l'attelage et fonctions de démarrage et d'arrêt à vide à une clé;
2) alimentation : système d'alimentation biphasé ~220 V (pic 3 kW) ;
3) alimentation en eau : petit refroidisseur, température de l'eau de refroidissement de 5 ºC à 35 ºC, température de l'environnement de travail de 10 ºC à 40 ºC;
4) alimentation en air : petite pompe à air silencieuse sans huile, fournissant une pression d'air de 0.2 à 0,3 MPa pour entraîner les vannes pneumatiques ;
5) vide ultime: 6×10-5Pa, le temps de l'atmosphère à 6×10-4Pa est inférieur à 35 minutes (remplir d'azote sec), arrêter pendant 12 heures degré de vide≤10pA.

Images détaillées du  coater à évaporation sous vide élevé :
Three-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove BoxThree-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove BoxThree-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove Box


Three-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove Box

Fondée en 2005, Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Est une entreprise spécialisée dans le développement et la production d'équipements de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressés, brûlés, coupés, meulés, équipement analytique poli, revêtu et consommables associés. Les produits incluent l'équipement de frittage de laboratoire, l'équipement de revêtement, etc. À l'heure actuelle, il a été exporté vers 25 pays et régions comme les États-Unis, l'Europe et l'Asie du Sud-est, et a été bien accueilli par diverses unités de recherche scientifique.

Nous avons une équipe de recherche et développement technologique mature, le nombre de techniciens est de 33, la société a 150 personnes, plus de 500 mètres carrés d'espace de bureau, l'usine couvre une zone d'environ 1,500 mètres carrés située dans Zhengzhou High-Tech zone Electronic Industrial Park. Les produits sont principalement situés sur le marché de la recherche, servant la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et des collèges, et peuvent également personnaliser les produits selon vos besoins.
Three-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove Box
Three-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove Box
Three-Source Evaporation Coater with Single-Station Glove Box

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Trade Guarantee.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

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