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Fournisseur Audité | Structure de four La chambre à vide |
Four, deux contrôleurs de température, débit de gaz à deux canaux de compteurs sont intégrés dans un cadre en alliage aluminium mobile La chambre est faite de tube de quartz fondu de haute pureté Tube de quartz taille: 11" OD/10,8" ID X 9" H La dépression Les brides sont en acier inoxydable 316 |
| Brides de vide | La bride supérieure avec un port KFD-25 vide et une sortie de gaz (requis) du tuyau de 1/4" peut glisser vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger manuellement le substrat et le matériau évaporé facilement La bride inférieure a un vide KFD-25 port avec un gaz d'admission (requis) du tuyau de 1/4" avec les valves à pointeau La bride est scellée par double joints toriques de silicone et peut atteindre max. de dépression de 10E-2 Torr par une pompe mécanique de la qualité et le 10E-5 Torr par pompe moléculaire Une jauge de vide numérique est installé sur la bride supérieure. La précision de la corrosion annti-Jauge de vide numérique est facultative à un coût supplémentaire ( Pic. 2) |
| Compteurs de débit de gaz |
Mélangeur de gaz intégré avec deux flottement-mètres avec des plages de mesure réglable : 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m (pour la purge de l'objet) |
| Chauffage et de Porte-échantillon |
Deux éléments chauffants avec contrôlés indépendamment l'écart réglable manuellement à partir de 2 - 30 mm Les lampes halogènes de 20 ordinateurs sont utilisés comme élément de chauffage pour traitement thermique rapide. Éléments chauffants sont est faite d'acier inoxydable avec gaine froide de l'eau pour réduire le rayonnement de chaleur et de permettre le refroidissement rapide. 5" de dia. Titulaire de wafer circulaire est construit dans le haut pour la tenue de chauffage de substrat. Un ensemble de la haute-conductrice thermique AlN plaques (5" de dia. x 0,5mm épais) sont inclus (place sur le dos de substrat pour la rendre uniformément la chaleur). Un 16L/min refroidisseur de recirculation des eaux est inclus pour l'enregistrement de source d'eau |
| Le contrôleur de température | Deux contrôleurs de température numérique de précision avec 30 segments offre programmable indépendante de contrôle des éléments chauffants de haut et bas Chaque contrôleur dispose de la fonction de réglage automatique PID pour protéger les appareils de chauffage et d'alarme de dépassement de fonction pour éviter la surchauffe et couple thermique cassé Interface de communication PC & logiciel est installé pour (cliquez sur la photo ci-dessous pour plus de détails) Profil de température d'enregistrement indiqué comme ci-dessous |
| La température de fonctionnement | Température max. pour chacun des appareils de chauffage : <= 800 °C Max. la différence de température entre deux appareils de chauffage : <= 300ºC dépend de l'espacement entre deux appareils de chauffage : L'espacement 30mm Différence de température max. : @ chauffage 315ºC bas seulement |
| &Taux de refroidissement de chauffage | Chauffage : > 8 ºC/s ( heating single chauffage uniquement ) Refroidissement : > 10ºC/s (600 - 100ºC) Max. |
| Couple thermique | Deux couples thermiques de type K sont installés sur le haut et bas des appareils de chauffage séparément |
| Tension de fonctionnement | 208 - 240 Vca, monophasé, 20d'un disjoncteur de l'air |
| Besoin de puissance | 2200W au total ( 1100W pour chaque élément chauffant ) |
| La garantie | Un an avec assistance en temps de vie limitée |
| Dimensions | 1085mm L x W x 680mm 1710mm H |
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