Ultra haute aspiration de l'équipement de revêtement de dépôts par laser pulsé Système PLD
Brève introduction de Dépôts de pulvérisation par laser pulsé personnalisables système:
Système de dépôt laser pulsé, abrégée en tant que système d'IVC, ce système se compose de deux parties: Le laser excimère et revêtement sous vide; Revêtement sous vide de chambre chambre se compose d'une vaporisation chambre sous vide, une rotation de phase cible, un substrat anti-oxydation d'étage chauffage, un chemin de gaz de travail, système d'extraction de gaz, l'installation tableau Machine, mesure de dépression et le système de contrôle électrique.
L'équipement de la composition des Dépôts de pulvérisation par laser pulsé personnalisables système:
1. Le laser
En se fondant sur l'LightMachinery best-seller de l'IPEX série de lasers à excimères de qualité industrielle, le laser est optimisé pour les applications de l'IVC; La série de l'IPEX lasers Excimer la pièce d'excellentes performances, durabilité, fiabilité et une intégration facile de satisfaire aux exigences de rendement des chercheurs et les intégrateurs de système dans le domaine de dépôts par laser pulsé (PLD).
1) avantages Laser
(1) GasMiser-1000 option fonctionne avec l'icône de la technologie pour prolonger la vie de gaz et de réduire les coûts de fonctionnement
(2) excellent spot l'uniformité et la stabilité de l'énergie entre les impulsions, Largeur impulsion courte
(3) l'énergie reste constante à toutes les fréquences de répétition
(4) EasyClean fonction d'étanchéité automatique conserve rempli de gaz et réduit les interruptions de service de maintenance
(5) montage optique très stable pour une excellente précision de pointage de faisceau
(6) système de prestation de faisceau personnalisables en fonction des besoins d'application du PLD
2) Performances stables PLD
L'énergie d'impulsion constante: L'IPEX-740 / 760 série lasers Excimer combinant icône et de technologies de l'GasMiser-1000 ont gaz statique et dynamique sans précédent de la vie après un échange unique du gaz. À partir de l'unique à la fréquence de répétition maximale, l'impulsion de l'énergie est constante à toutes les fréquences de répétition. Cette méthode garantit que le PLD les paramètres du procédé ne changera pas avec le changement de laser le temps de travail et la répétition de la fréquence.
La stabilité d'impulsion constante: La méthode de surveillance de l'énergie de pointe est utilisé pour régler le pouls de l'énergie, qui peut régler avec précision la tension de décharge et le gaz mixte, et de maintenir une sortie constante de l'énergie dans toutes les conditions de travail (y compris le mode rafale). Pulse-à-pulse de la stabilité est meilleure que 1 %.
Constante de la stabilité de pointage: Haute stabilité support optique de base, fournissant de la stabilité de pointage supérieur à 200 μrad, veiller à ce qu'aucun recalibrage est nécessaire après réparation optique.
Qualité du faisceau de constante: L'intensité du faisceau de la distribution de l'IPEX-740 / 760 série lasers est conçu pour avoir un bord tranchant et d'un sommet plat, en particulier a un minimum de changement au sein de la vie de travail de la chambre de laser.
3) spécifications Laser
| Longueur d'onde(NM) |
193 (ARF) |
248 (KrF) |
308(XeCl) |
| L'énergie d'impulsion stabilisée(mJ) à tous les taux de répétition |
L'IPEX-740 série |
150 |
400 |
250 |
| L'IPEX-760 série |
200 |
600 |
500 |
| L'énergie d'impulsion maximale(mJ) à faible taux de répétition |
L'IPEX-740 série |
230 |
450 |
300 |
| L'IPEX-760 série |
250 |
700 |
600 |
| Puissance moyenne stabilisée(W) |
L'IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| L'IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| L'IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| L'IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| L'IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| L'IPEX-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Taux de répétition maximale (PPS) |
L'IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| L'IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| L'IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| L'IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| L'IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| L'IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
La durée des impulsions(NS)
(FWHM, nominal) |
L'IPEX série-740/760 |
12 - 20 |
Dimensions du faisceau(mm)
(V × H, nominal) |
L'IPEX-740 série |
12 × 26 |
| L'IPEX-760 série |
12 × 28 |
Divergence de faisceau(mrad)
(V × H, nominal) |
L'IPEX série-740/760 |
1 × 3 |
2. Chambre de revêtement sous vide
1) 1 jeu de composants de chambre de vide pulvérisation
La taille de la chambre sous vide est sphérique Ф450mm. Il est fait de haute qualité en acier inoxydable. Il est soudé par l'argon arc. La surface est polie par un processus spécial. L'interface est scellé avec un joint métallique ou un anneau en caoutchouc de fluor.
2) 1 jeu de composants de la plate-forme cible en rotation
(1) quatre cibles peuvent être chargés à un moment, la taille cible: (i) Φ60mm Et (ii) Φ25mm;
(2) Chaque cible peut se rendre compte de la rotation, la vitesse de rotation est 5~60 tr/min, réglable en continu, contrôlée par le moteur à mécanisme de couplage magnétique;
(3) la position cible révolution mécanisme de transposition est contrôlée par le mécanisme de couplage magnétique entraîné par moteur.
(4) le matériel cible les protections de blindage 4 cibles, et un seul matériel cible est vaporisés dans le film à un moment, de manière à éviter la contamination croisée entre la cible de matériaux.
3) Antioxydant substrat table chauffante 1 jeu d'assemblage
(1) la taille du substrat: Φ2 " substrat peut être placé;
(2) La température maximale de chauffage du substrat est de 800ºC ± 1 ºC, contrôlé par le thermocouple de la rétroaction en boucle fermée, et le chauffage est faite d'antioxydant matériau.
(3) Le substrat peut tourner en permanence, la vitesse est de 5~60 tr/min, contrôlée par le moteur à mécanisme de couplage magnétique;
(4) La distance entre le substrat et la plate-forme cible est réglable de 30 à 90 mm et contrôlé par un mécanisme de réglage manuel des soufflets en dehors de la chambre;
(5) Commande manuelle des composants du déflecteur de l'échantillon: 1 jeu;
(6) porte-échantillon: 2;
4) Et le flasque de la fenêtre de l'interface 1 jeu de pièces
5) système de commande de balayage du faisceau laser 1 jeu
Le balayage à deux dimensions mécanique, deux jeux de plate-forme de contrôle moteur, ou la commande manuelle;
6) conduite de gaz de travail 2 canaux
7) unité de pompage de gaz, la soupape, 1 jeu de pipeline
8) 1 jeu de l'ensemble du bâti de montage de la machine
Haute qualité profil carré en acier soudé, surface de déchargement rapide hiloire de pulvérisation; La machine de traitement de surface avec décoration de la peau en acier inoxydable; Quatre roulettes peuvent être fixes et mobiles
9) mesure de dépression du système de contrôle électrique et 1 jeu
10) Système de contrôle de l'ordinateur 1 jeu
Photos Connexes Des Dépôts de pulvérisation par laser pulsé personnalisables système:
Fondée en 2005, Zhengzhou CY Instrument scientifique Co., Ltd. Est une société spécialisée dans le développement et la production de matériel de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressé, brûlé, couper la masse, polis, revêtus, matériel d'analyse et des consommables. Produits comprennent les équipements de frittage de laboratoire, de revêtement de matériel et ainsi de suite. À présent, il a été exporté vers 25 pays et régions telles que les États-Unis, en Europe et Asie du Sud-Est, et a été bien reçue par diverses unités de recherche scientifique.
Nous avons une technologie mature de l'équipe de recherche et développement, le nombre de techniciens est 33, la compagnie a 150 personnes, plus de 500 mètres carrés de bureaux de l'espace, l'usine couvre une superficie d'environ 1500 mètres carrés situé à Zhengzhou high-tech de la zone du parc industriel électronique. Les produits sont principalement situés dans le marché de la recherche, au service de la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et collèges, et peuvent également personnaliser les produits selon vos besoins.
Q. Vous êtes un fabricant ou une société de négoce?
A. Nous sommes professionnels instrument de laboratoire Les fabricants, ont leur propre équipe de conception et l'usine, ont une expérience technique matures, et peut garantir la qualité des produits et le prix optimal.
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Q. Comment est l'emballage de marchandises? Les méthodes de livraison?
A. 1. Signe de fumigation d'exportation standard Boîte en bois à l'emballage 2. Express, air, de la mer expédition selon les exigences du client, de trouver la meilleure façon.
Plus de questions, veuillez contacter le service client
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