Personnalisation: | Disponible |
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Service après-vente: | installation et formation gratuites, assistance technique |
Garantie: | garantie limitée d′un an |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Audité par une agence d'inspection indépendante
Mode La dimension |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
900*1000mm | 1100*1000mm | De 1250*1100mm | |
Mode de revêtement et de confirguration principal |
Six multi-arc cibles + un ensemble de cibles de la colonne + un ensemble de cibles de pulvérisation magnétron rectangle d'avion | Six multi-arc cibles + une paire de twin (MF)magnétron cibles de pulvérisation |
Douze objectifs multi-arc + deux ensembles de cibles de pulvérisation magnétron rectangle d'avion+ une paire de twin (MF)magnétron cibles de pulvérisation |
Source d'alimentation | Alimentation électrique à arc, DC le magnétron d'alimentation, magnétron, d'alimentation filament MF Power, le pouls d'alimentation, ionisé linéaire source. | ||
Processus de contrôle des gaz | La qualité de l'électromagnétisme soupape de débitmètre + céramique | ||
Structure de la chambre à vide | Vertical simple côté porte(), système de pompe à eau postposition, double-refroidissement | ||
Le système de vide | Pompe de la pompe de la molécule +racines +pompe mécanique(5,0*10 -5 Pa) La diffusion de la pompe pompe +racines +pompe mécanique(5,0*10 -4 Pa) |
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Température de cuisson de la pièce | La température normale de 350 centi-degré de contrôle PID, le rayonnement du chauffage. |
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Mode de déplacement de la pièce | Fonction de contrôle de fréquence de rotation : 0-20 la rotation par minute | ||
Mode de mesure | Affichage du numéro de jauge de vide composite : de l'atmosphère à 1,0*10 -5 Pa | ||
Mode de contrôle | Manuel/Automatique/PC/PLC + HMI/PC quatre choix de mode de contrôle | ||
Remarque | Nous pouvons concevoir la dimension de l'équipement conformément aux exigences du client technique spéciale. |