CAS No.: | 7803-62-5 |
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Formula: | Sih4 |
EINECS: | 232-263-4 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Inflammable Gas |
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Détails du produit
N° cas : 7803-62-5Composant | 99.99 % | 99.999 % | 99.9999 % | Unité |
Oxygène (AR) | ≤1 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
Azote | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Hydrogène | ≤50 | ≤30 | ≤20 | Ppmv |
Hélium | / | ≤10 | ≤10 | Ppmv |
CO+CO2 | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
THC | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Chlorosilanes | ≤15 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Disiloxane | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Disilane | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Humidité (H2O) | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
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