Système de gravure ionique réactive (RIE)
La gravure ionique réactive (RIE) peut être utilisée pour préparer des micro-nano structures et est l'une des technologies de fabrication de semi-conducteurs. Pendant le processus de gravure de RIE, diverses particules actives dans le plasma forment des produits volatils avec la surface du matériau. Ces produits sont retirés de la surface du matériau et, finalement, on obtient la gravure anisotrope de la microstructure de la surface du matériau. Les produits de la série RIE (Reactive ion Petcher) sont basés sur la technologie plasma à couplage capacitif à plaque plate et sont adaptés à la gravure à motifs de matériaux en silicium tels que le silicium monocristal, le silicium polycristallin, le nitrure de silicium (SiNy), l'oxyde de silicium (SiO), le quartz (Quartz) et le carbure de silicium (SiC) ; Peut être utilisé pour la gravure en répétition et la gravure en couches de matériaux organiques tels que les photorésistes (PR), les PMMAHDMS et d'autres matériaux ; peut être utilisé pour la gravure physique de matériaux métalliques tels que le nickel (ni), le chrome (Cr) et les matériaux céramiques ; peut être utilisé pour la gravure de matériaux à température ambiante au phosphure d'indium (InP). Pour certains mordançage avec des exigences de processus plus élevées, notre mordançage ICP RIE peut également être utilisé.
Configuration principale :
1. Prise en charge de la taille de l'échantillon : 4, 8, 12 pouces, compatible avec divers échantillons de petite taille, prise en charge de la personnalisation
2. Plage de puissance RF plasma : 300/500/1000 W en option ;
3. Pompe moléculaire : 620/1300 //s en option, kit de pompe anticorrosion en option ;
4. Pompe d'avancement : pompe à huile mécanique/pompe à sec en option ;
5. Contrôle de pression : 0 ~1 Torr en option ; la configuration du mode de contrôle sans pression peut également être sélectionnée,
6. Gaz de procédé : jusqu'à 9 gaz de procédé peuvent être équipés en même temps ; température : 10 degrés ~ température ambiante/-30 degrés ~ température ambiante/plage de température personnalisable,
9. Le refroidissement à l'hélium de retour peut être configuré en fonction de l'application ;
10. Doublure anti-pollution amovible ;
11. Verrouillage de charge en option ;
12. Système de commande entièrement automatique à un bouton ;
MATÉRIAUX applicables RIE :
1. Matériaux à base de silicium : silicium (si), dioxyde de silicium (SiO2), nitrure de silicium (SiNx), carbure de silicium (SIC)
Matériaux III-V : phosphure d'indium (InP), arséniure de gallium (GaAs), nitrure de gallium (GAN)
3. Matériaux II-VI : telluride de cadmium (CdTe)
4. Matériaux magnétiques/matériaux en alliage
5. Matériaux métalliques : aluminium (ai), or (au), tungstène (W), titane (Ti), tantale (Ta)
6. Matières organiques: Photorésiste (PR), polymère organique (PMMA/HDMS), couche mince organique
Applications CONNEXES DE RIE :
1. Gravure de matériaux à base de silicium, de motifs de nanoempreinte, de motifs de matrice et de motifs de lentille;
2. Gravure à température ambiante du phosphure d'indium (InP), gravure à motifs des dispositifs à base d'InP dans les communications optiques, y compris les structures de guide d'ondes, les structures de cavité résonnante et les structures de crête;
3. Gravure de matériaux SIC, adaptés aux appareils à micro-ondes, aux appareils électriques, etc.;
4. La gravure par pulvérisation physique est appliquée à certains métaux, comme le nickel (ni), le chrome (Cr), la céramique et d'autres matériaux difficiles à graver chimiquement, et la gravure par pulvérisation physique des matériaux est réalisée par bombardement physique;
5. La gravure de matières organiques est appliquée à la gravure, au nettoyage et à l'élimination de matières organiques telles que la photorésiste (photorésistance), le PMMA, le HDMS, le polymère;
6. Gravure de la couche de superposition pour l'analyse de la défaillance des copeaux (analyse de la défaillance-FA);
7. Gravure de matériaux bidimensionnels: W, Mo matériaux bidimensionnels, graphène;
Résultats de l'application :
Configuration du projet et schéma de structure de la machine
| Élément |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
| Taille du produit |
≤6 pouces |
≤8 pouces |
≤8 pouces |
| Source d'alimentation RF |
0-300W/500W/1000W réglable, correspondance automatique |
| Pompe moléculaire |
-/620(L/s)/1300(L/s)/personnalisé |
Antiseptique620(L/s)/1300(L/s)/personnalisé |
| Pompe de foreline |
Pompe mécanique/pompe à sec |
Pompe à sec |
| Pression du processus |
Pression non contrôlée/pression contrôlée 0-1Torr |
| Type de gaz |
H/CH4/O2/N2/AR/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/PERSONNALISÉ
(Jusqu'à 9 canaux, pas de gaz corrosif et toxique) |
H2/CH4/O2/N2/AR/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(jusqu'à 9 canaux) |
| Gamme de gaz |
0 à 5 cm/50 cm/100 cm/200 cm/300 cm/500 cm/personnalisé |
| LoadLock |
Oui/non |
Oui |
| Contrôle de l'échantillon |
10 °C~Room tem/-30 °C~100 °C/personnalisé |
-30°C~100°C /personnalisé |
| Refroidissement à l'hélium de retour |
Oui/non |
Oui |
| Traiter la garniture de cavité |
Oui/non |
Oui |
| Commande de paroi d'empreinte |
No/ProRoomtem~60/120°C. |
Pièce à 60/120°C. |
| Système de commande |
Auto/personnalisé |
| Matériau de gravure |
À base de silicium : si/SiO2/SiNx ···
IV-IV: SIC
Matériaux magnétiques/matériaux en alliage
Matériau métallique : ni/Cr/Al/au.....
Matière organique: PR/PMMA/HDMS/organique
film...... |
À base de silicium : si/SiO2/SiNx......
III-V(3) : INP/GaAs/GAN......
IV-IV: SIC
II-VI (3) : CdTe......
Matériaux magnétiques/matériaux en alliage
Matériau métallique : ni/Cr/A1/au......
Matière organique: PR/PMMA/HDMS /film organique... |
Tournage en usine et en laboratoire :
Forfait :
Minder-Hightech est un représentant des ventes et du service après-vente dans le secteur des semi-conducteurs et des équipements électroniques.
Depuis 2014, la société s'engage à fournir à ses clients des solutions de qualité supérieure, fiables et à guichet unique pour les équipements de machinisme.
FAQ
1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.
2. À propos de l'échantillon :
Nous pouvons vous fournir des exemples de services de production, mais vous pouvez vous acquitter de certains frais.
3. À propos du paiement :
Après la confirmation du plan, vous devez nous payer un dépôt en premier, et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et le solde payé, nous vous l'expédierons.
4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons la vidéo d'acceptation et vous pourrez également vous rendre sur le site pour inspecter l'équipement.
5. Installation et débogage :
Une fois l'équipement arrivé à votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour l'installer et le déboguer. Nous vous fournirons un devis séparé pour ces frais de service.
6. À propos de la garantie :
Notre équipement est couvert par une garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous facturons uniquement le prix.
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