Sécheur de rinçage de spin Chambre unique peut nettoyer 2-12 pouces de nitrure de puce de silicium, de potassium, arséniure de gallium, le saphir, semi-conducteurs, LED

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Movement Way: Combined
• Atomization: Rotary Atomization
• Flow: Cross Flow
• Heating Mode: Dielectric
• N° de Modèle.: SRD
• Material Status: Solution
• Drying Medium: Inactive Gas
• Operation Pressure: Vacuum
• Operational Method: Continuous
• Marque Déposée: minder-hightech
• Origine: Guangzhou
• Code SH: 8015809090
• Capacité de Production: 200PCS/Yearpcs/Year

Description de Produit

Sécheur de rinçage de spin Chambre unique

Galette de SRD sécheur
Fonctionnalités
* Structure raisonnable et de la maturité du processus de conception de la technologie
* Bon effet de processus de séchage et de haute propreté
* Petites vibrations, une bonne fiabilité, et applicable à plaques minces
* Fonctionnement simple, pratique de l'entretien, stable et un fonctionnement fiable de l'ensemble de la machine
Paramètre technique
La taille de wafer : applicable à 1-12 pouces de la ligne de production
Taux de fragment : 1/10000
Zone d'application
SPM nettoyage acide organique, le développement, degumming de nettoyage, l'oti la gravure, BOE gravure, uniforme et de collage d'autres processus de séchage de wafer
Fonction de l'équipement
L'équipement est divisé en cavité unique et double cavité, qui est utilisé pour le séchage humide de divers documents de demande de semi-conducteurs tels que 1 pouces, 2 pouces, 4 pouces, 5 pouces, 6 pouces, 8 pouces, 12 pouces des plaquettes de taille standard, les gaufrettes de format non standard et square gaufrettes, de nitrure de silicium, de potassium, arséniure de gallium, le saphir, masque et ainsi de suite.
Paramètres rocess

Fabrication	L'étape	Étape 1	L'ÉTAPE2	L'ÉTAPE3	L'ÉTAPE4	L'ÉTAPE5	L'ÉTAPE6	L'ÉTAPE7	L'ÉTAPE8	L'ÉTAPE9	L'ÉTAPE10
Temps (s)		0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999
Vitesse (r/min)		0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500
Le rinçage		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option
Purger		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option
L'azote		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option
Chauffage de l'azote		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option
Chauffage de la cavité		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option
L'élimination électrostatique		En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option	En option

Fonction de l'équipement
Fonctionnalités
* Lecteur servo moteur sans balai garantit la stabilité, fiabilité et la propreté de l'équipement.
* Le Labyrinthe de l'azote, cavité de joint et la cavité de l'isolement, la non-contact effet d'étanchéité, pour assurer le processus exigences de l'environnement.
* Composants de la soupape pneumatique en PTFE, PVDF tuyaux et connecteurs sont utilisés.
* Faites de l'acier inoxydable 316L, la surface est polie électrolythiquement.
* La fonction de lavage, soufflage, séchage et de séchage est pour utiliser la haute vitesse de rotation de la force centrifuge pour enlever les résidus de joint réactif chimique et les particules de poussière et nettoyez l'azote pour enlever les résidus de particule de poussière pour rendre le produit surface propre, sec et propre.
* L'élimination électrostatique fonction. Lorsque le produit se déplace à vitesse élevée, il va générer l'électricité statique. Utiliser la haute-tension, dispositif de dépose électrostatique pour rendre la surface du produit d'atteindre l'état neutre.
* La conductivité, de surveillance de la surveillance de l'eau de nettoyage de la qualité et les résidus de joint réactif chimique et les particules de poussière sur la surface du produit, qui ne répondent pas aux exigences avant le séchage, rapide et de donner un avertissement pour éviter les produits défectueux de pénétrer dans la procédure suivante.
*L'azote de chauffage en acier inoxydable de chauffage, résistances de chauffage de la cavité de la membrane, commande de précision de température PID, peuvent choisir de préchauffer dans l'avance. La fonction de nettoyage automatique peut être sélectionné et l'intervalle peut être configuré pour assurer que le matériel est toujours propre.
* 0,003 UM de l'azote est filtré pour assurer la propreté du gaz de traitement
* L'auto-mécanique de la fonction de réinitialisation, arrêter et de secours de la cassette vers le haut.
* Pression d'azote, le statut d'étanchéité de porte, de la cassette vers le haut et les autres conditions sont protégés.
* L'unité de commande est contrôlé de façon indépendante, fonctionne de manière indépendante, et est facile à exploiter et entretenir.