Personnalisation: | Disponible |
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Certification: | CE |
Vitesse de traitement: | 1-5 m/min |
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Audité par une agence d'inspection indépendante
Pulvérisation au magnétron revêtement automatique ITO Glass Making Equipment
Structure de la ligne de revêtement de pulvérisation de magnétron
La ligne de production de revêtement sous vide est généralement connectée par plus de trois chambres à vide pour former une machine de revêtement sous vide en fonctionnement continu.
La ligne de revêtement sous vide est principalement utilisée pour le revêtement de film sur verre plat, acrylique, PC, substrats PET, divers films métalliques, films diélectriques, films composites métalliques diélectriques, films conducteurs transparents et autres applications de films.
Les industries impliquées dans la ligne de revêtement sous vide incluent le revêtement de surface des panneaux en plastique et des écrans d'affichage dans les téléphones mobiles, l'électronique, les appareils ménagers et d'autres industries.
La ligne de production de revêtement sous vide adopte une pompe moléculaire ou une pompe de diffusion pour former une conception avancée avec isolation de l'atmosphère. L'équipement utilise une pompe moléculaire flottante turbo pour obtenir une isolation à haut rendement, une vitesse de pompage stable et une distribution uniforme du gaz. Dans le cas d'un pompage avec une pompe à diffusion, le taux de pompage à vide est élevé et le coût de production de l'équipement est inférieur.
Ligne de revêtement de pulvérisation au magnétron vertical
Une ligne de production de pulvérisation de magnétron continue normalement complète possède au total quinze chambres à vide, une pour la chambre, une pour la chambre de décharge, une pour la chambre tampon, une pour le tampon de décharge, une pour la chambre de transfert et une pour la chambre de décharge. Deux chambres de transfert ; sept chambres de revêtement de pulvérisation ; quatre chambres de pulvérisation peuvent être installées en même temps dans chaque chambre de revêtement de pulvérisation ; la chambre à vide élevé est séparée par une vanne enfichable ; le revêtement multifonction peut être obtenu en modifiant l'effet d'isolation de l'atmosphère ; Fonctionnement du support la piste utilise un entraînement guidé magnétique; le dispositif est équipé d'une pompe moléculaire turbo-bouée et d'une pompe mécanique pour une vitesse de pompage stable et une distribution uniforme du gaz.
Ligne de revêtement horizontale de pulvérisation au magnétron
La société peut fournir la conception selon les besoins de l'utilisateur, fournir un ensemble complet d'équipements, responsable du processus, selon les services d'ingénierie "clés en main".
Cathodes de pulvérisation de magnétron
Accordinf à différentes exigences techniques de chaque client, nous pouvons concevoir différents types de cathodes de pulvérisation de magnétron pour la machine. Il s'agit du système de revêtement de la machine. Vous pouvez charger différentes matières premières dans les cathodes pour différents revêtements.
Spécifications techniques
Type de chambre | Méthode verticale et horizontale de multi-chambres | |
Matériau appliqué | Verre et Wafer, autres matières plastiques, métal | |
Taille du substrat | Type vertical | 2 200 mm x 2 500 mm |
Type horizontal | 1 500 mm x 1 800 mm | |
Temps de tact | 60 s ou moins (méthode statique) 35 s ou moins (Méthode dynamique) | |
Source de revêtement | Source de bec | Cathode rotative, cathode plane |
Source thermique | Creuset, poutre E. | |
Matériau de revêtement | Matériau métallique | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, AG, autre matériau métallique |
Matériau réactif | TiO2, Nb2O5, SiO2, TIO, SiAlOx, MoOx, autre matériau nitrure / oxyde | |
Alimentation | CC, CC À IMPULSION, MF | |
Uniformité de l'épaisseur | ±10% ou moins (film statique) ±5% ou moins (film mobile) | |
Instrument de mesure | Résistance de feuille, optique (transmittance, réflectance, indicateur de différence de couleur), | |
Moniteur d'émission de plasma, RGA | ||
Le domaine des appareils ménagers | Revêtement décoratif sur les produits ménagers et l'extérieur des appareils mobiles | |
Champ d'énergie | Vitre architecturale, cellule solaire | |
Autre domaine industriel | Champ d'application à couche mince et couche mince d'oxyde et de métal, multi-couches, basé sur le revêtement de couche mince |
Afin de vous aider à choisir la meilleure machine de revêtement PVD, veuillez répondre à mes questions ci-dessous, merci de votre coopération.
Q1: Quel est votre produit, et la dimension max.?
Q2 : la taille de votre matériau de traitement, votre capacité de production quotidienne souhaitée ?