Gaz de trifluorure d′azote de haute pureté 99.999% NF3

• Personnalisation: Disponible
• N ° CAS.: 7783-54-2
• Formule: nf3
• N° de Modèle.: 99.999%
• EINECS: 232-007-1
• Constituant: Air pur industriel
• Standard Grade: Grade électronique
• Propriété chimique: Gaz non inflammable
• code onu: onu 2451
• masse molaire: 7783-54-2.mol
• apparence: incolore
• classe de danger: 2.2
• oder: toxique avec une odeur de moisi
• Paquet de Transport: cylindre en acier 47l/470l
• Spécifications: cylindres en acier sans soudure dot 3aa / gb5099/ tonne cy
• Marque Déposée: rm/oem
• Origine: Qingdao, China
• Code SH: 2812901100
• Capacité de Production: 3000 tonnes par an

Description de Produit

Trifluorure d'azote    NF3     SAE:7783-54-2
Applications:trifluorure d'azote est utilisé dans la gravure au plasma des plaquettes de silicium. Aujourd'hui trifluorure d'azote est surtout employé dans le nettoyage de l'PECVD chambres dans la production haut volume et des affichages à cristaux liquides à base de silicium des cellules solaires à film mince. Dans ces applications NF3 est d'abord décomposées in situ, par un plasma. Les atomes de fluor qui en résultent sont les agents de nettoyage actif qui attaquent le silicium polycristallin, et de nitrure de silicium oxyde de silicium. Trifluorure d'azote est également utilisé dans l'hydrogène fluorure et les lasers de fluorure de deutérium, qui sont des types de lasers chimiques. Il est préférable de fluor gazeux en raison de sa pratique de la manipulation des propriétés, en raison de sa grande stabilité.Il est compatible avec l'acier et Monel, ainsi que de plusieurs matières plastiques.
Synthèse et réactivité :
   Trifluorure d'azote est un rare exemple d'un binaire fluorure préparé directement à partir des éléments seulement à de très rares conditions, comme une décharge électrique. Après la première tentative de la synthèse en 1903, Otto Ruff préparé trifluorure d'azote par électrolyse d'un mélange fondu de fluorure d'ammonium et d'hydrogène Fluorure. Il s'est révélé être beaucoup moins réactifs que les autres trihalogénures d'azote de l'azote, de trichlorure d'tribromure de l'azote et d'azote triiodure, qui sont tous des explosifs. Le seul parmi l'azote trihalogénures il a des effets négatifs de l'enthalpie de formation. Aujourd'hui, il est préparé à la fois par réaction directe de l'ammoniac et de fluor et par une variation de la méthode de Ruff. Il est fourni dans les vérins sous pression.

Les impuretés	NF3  ≥ 99,995 %	NF3  ≥ 99,99 %	NF3 ≥ 99,98 %	NF3  ≥  99,9 %
CF4	≤20 Vol.ppm	≤40 Vol.ppm	≤100 Vol.ppm	≤500 Vol.ppm
N2	≤5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
O2+Ar	≤3 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
Le CO2	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
H2O	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
HF	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
SF6	≤1 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤25 Vol.ppm
N2O	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
CO	≤0,5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm

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