Target à pulvérisation de titane tungstène 99.99 % Wti20

• Type: Cible de l′alliage
• Certification: ISO
• Paquet de Transport: Wooden Box Package
• Spécifications: 99.99%
• Marque Déposée: rheniumet
• Origine: Chine
• N° de Modèle.: WTi20-4Ntarget
• Code SH: 4301962010
• Capacité de Production: 10000piece/Year

Description de Produit

Application :

Les cibles en tungstène de haute pureté, les cibles en alliage tungstène-titane de haute pureté et les cibles en composite tungstène-silicium sont généralement appliquées par pulvérisation au magnétron pour produire divers matériaux complexes et haute performance à couche mince. Le tungstène de haute pureté ou le tungstène ultra-pur (5 N ou 6 N) ayant une résistance élevée à la migration des électrons, une stabilité à haute température et la capacité de former des silicides stables, il est souvent utilisé comme film mince dans l'industrie électronique comme barrière, connexion, transition et barrière métallique. Le tungstène de très haute pureté et ses silicicides sont également utilisés dans les circuits intégrés à très grande échelle comme couches de résistance, barrières de diffusion, etc., et comme matériaux de grille et matériaux de connexion dans les transistors semi-conducteurs à oxyde métallique. Les cibles de pulvérisation en alliage de tungstène-titane sont souvent utilisées pour fabriquer des couches métalliques de transition de cellules solaires à couche mince.

 

Spécification :

Nom	Formule moléculaire	Spécifications	Taille		Densité relative	Taille du grain	Taux de défaut
Cible en tungstène	W	4N (99.99 %)	Pouce	mm	≥ 99 %	≯50 µm	0
		5N (99.999 %)	D(2,3,4,6,8,10,12) H (0.25,0.5,0.75)	Diamètre : 50 à 350 Epaisseur :  6 à 25
Target en titane tungstène	WTi10 WTi20	4N (99.99 %)			≥ 99 %	≯50 µm	0
		4N5 (99.995 %)

 

 Composant chimique  

Classe de spécification Index chimique			W/(W+Ti)≥99.99 %			W/(W+Ti)≥99.995 %				W≥99.999 %
Impuretés traces totales			≯100 ppm			≯50 ppm				≯10 ppm
Indice d'impureté (ppm)			Max		Valeur type	Max		Valeur type		Max		Valeur type
Éléments radioactifs	U		-		0.2	0.1		0.05		0.0008		0.0005
	TH		-		0.2	0.1		0.05		0.0008		0.0005
Éléments métalliques alcalins	Li		1		0.05	0.02		0.01		0.01		0.003
	N/a		5		1	0.5		0.2		0.1		0.05
	K		5		1	0.1		0.05		0.05		0.03
Mo, Re			10		5	10		5		1		0.5
FE,Cr			10		5	5		3		0.5		0.3
CA,si,Cu,ni,Al,Zn,Sn,mn,Co,Hg,V			2		1	0.5		0.3		0.2		0.2
P,AS,se			2		1	0.5		0.2		0.2		0.2
B,Pb,SB,BE,Ba,Bi,CD,GE,NB,Pt,mg,ZR,au,in,GA,AG			1		0.5	0.5		0.1		0.1		0.1
Tous les autres éléments individuels			1		0.5	0.5		0.1		0.1		0.1
Analyse des gaz (≯, ppm)		O		C			N		H		S
		30		20			20		20		10

 

Selon le but de l'utilisation, il existe différentes exigences pour la teneur en impuretés des cibles de tungstène de haute pureté et des cibles de tungstène-titane. En général, la pureté chimique doit être comprise entre 99.99 % et 99.999 %. Nous pouvons également personnaliser d'autres spécifications adaptées à l'application en fonction des besoins de l'utilisateur.

 

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R: Nous sommes usine.

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R: En général, il est de 3-7 jours si les marchandises sont en stock. Ou de 15-20 jours si les marchandises ne sont pas en stock, c'est selon
quantité.

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