99.9% Pureté C4f6 CAS 685-63-2 Gaz d′hexafluorobutadiène

Détails du Produit
Personnalisation: Disponible
N ° CAS.: 685-63-2
Formule: c4f6
Membre Diamant Depuis 2022

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Info de Base

N° de Modèle.
Hexafluorobutadiene
EINECS
211-681-0
Classification
Alcynes
Standard Grade
Grade Industriel
Que Formation Ring ou Non
Hydrocarbure cyclique
Que contenant du benzène Anneau
Alicycliques hydrocarbures
Fat hydrocarbures Saturation
Alcane
constituant
air pur industriel
propriété chimique
gaz ininflammable
Paquet de Transport
carton
Origine
Chine

Description de Produit

Attributs spécifiques à l'industrie

Gaz de gravure ONU 3160 qualité électronique Octafluorocyclobutane C4F6 gaz

L'hexafluoro1,3-butadiène est un gaz comprimé liquéfié toxique, incolore, inodore et inflammable

Des années de recherche ont montré que le C4F6 (H-2316) présente plusieurs avantages pour la gravure à sec de matériaux à base d'oxyde :

 Il a un taux de gravure et une sélectivité plus élevés que l'octafluorocyclobutane, un autre couramment utilisé l'échant pour l'oxyde de silicium. Contrairement à (H318), avec C4F6 (H2316), seul le substrat diélectrique est gravé. La structure gravée a un rapport d'aspect plus élevé, ce qui conduit à des tranchées plus étroites par rapport à .les émissions de COV sont réduites : le C4F6 (H2316) a un faible potentiel de réchauffement de la planète parce qu'il a une durée de vie beaucoup plus courte dans l'atmosphère.
 
Nom du produit : HEXAFLUOROCYCLOBUTENE Pureté : 99.9 à 99.99 %
N° cas : 697-11-0 N° EINECS : 211-803-2
MF : C4F6 Masse molaire : 697-11-0.mol
N° ONU : 3162 Classe de danger : 2.3+2.1
Apparence : Incolore, non combustible Odeur : inodore
 
Élément d'inspection unité Exigence
C4F6 % 99.9
AR + O2 ppmv ≤10
N2 ppmv ≤40
CO2 ppmv ≤20
CO ppmv ≤7
THC ppmv ≤700
HF ppmv ≤10


Emballage et livraison
Transport DE POINTS : Gaz liquéfié, toxique, ininflammable
Classification DES POINTS : 2.2
N° ONU : ONU 3160
N° CAS : 3162
Vanne CGA/DISS : 580




N° cas
692-50-2
Pureté
99.999 %

Autres attributs

Lieu d'origine
Taïwan, Chine
Autres noms
HFB
MF
C4F6
N° EINECS
211-803-2
Norme de qualité
Qualité industrielle, qualité électron
Apparence
gaz incolore
Application
semi-conducteur
Nom de marque
OEM
Numéro de modèle
C4F6
Nom du produit
Gaz C4F6
Classe de danger
2.3, 2.1
Couleur
Incolore
Certificat
ISO9001
MA
2 cylindres
Note de danger
Toxique
N° ONU
3162
Odeur
Inodore
Package
Cylindre en acier sans soudure
Type de cylindre
ISO/GB/DOT

Emballage et livraison

Détails de l'emballage
DOT 43/48.8 L/GB 980L/500L

Port
Shanghai, Qingdao, Ningbo, Hongkong, Kaohsiung

Capacité d'approvisionnement

Capacité d'approvisionnement
10000 pièces par an
Afficher moins  

Délai

Quantité (kilogrammes) 1 - 5 6 - 20 21 - 50 > 50
Délai (jours) 3 7 15 À négocier


Gaz de gravure ONU 3160 qualité électronique Octafluorocyclobutane C4F6 gaz

L'hexafluoro1,3-butadiène est un gaz comprimé liquéfié toxique, incolore, inodore et inflammable

Des années de recherche ont montré que le C4F6 (H-2316) présente plusieurs avantages pour la gravure à sec de matériaux à base d'oxyde :

 Il a un taux de gravure et une sélectivité plus élevés que l'octafluorocyclobutane (c-C4F8 - H318), un autre effet d'étan largement utilisé pour l'oxyde de silicium. Contrairement à C4F8 (H318), avec C4F6 (H2316), seul le substrat diélectrique est gravé. La structure gravée a un rapport d'aspect plus élevé, ce qui conduit à des tranchées plus étroites que le c-C4F8.les émissions de COV sont réduites: Le C4F6 (H2316) a un faible potentiel de réchauffement de la planète parce qu'il a une durée de vie beaucoup plus courte dans l'atmosphère.
99.9% Purity C4f6 CAS 685-63-2 Hexafluorobutadiene Gas99.9% Purity C4f6 CAS 685-63-2 Hexafluorobutadiene Gas99.9% Purity C4f6 CAS 685-63-2 Hexafluorobutadiene Gas99.9% Purity C4f6 CAS 685-63-2 Hexafluorobutadiene Gas

 

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