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Le HMDS a plusieurs utilisations précieuses en science de surface car il peut être utilisé comme matériau de revêtement, agent de modification ou agent de passivation de surface. Nous allons discuter de chacune de ces applications plus en détail ci-dessous.
Le HMDS est utilisé comme matériau de revêtement dans l'industrie des semi-conducteurs avant d'appliquer un photorésiste. Lorsque le HMDS est déposé sur une surface, il laisse les groupes méthyles derrière. Ils se lient ensuite aux molécules OH sur la surface du silicium et contribuent à développer une forte adhérence lorsqu'un photorésiste est appliqué.
La modification de surface de certains composés peut être effectuée avec le HMDS, car elle est possible et n'a que l'ammoniac comme sous-produit. Les surfaces les plus fréquemment modifiées avec HMDS incluent des aérogels de silice, qui sont rendus hydrophobes pendant le procédé.1 l'option de modifier les aérogels de silice est nécessaire pour les zones de semi-conducteurs et de produits pharmaceutiques car la modification de leurs propriétés chimiques les rend plus adaptés à des applications spécifiques. La modification de la surface des matériaux peut les rendre plus compatibles avec les techniques d'analyse de surface telles que la microscopie électronique à balayage (SEM) et la microscopie électronique à transmission (TEM).
La passivation de surface est un procédé chimique mené pour augmenter les propriétés de surface d'un matériau afin qu'il résiste mieux à la corrosion et à la contamination. Lorsque le HMDS est utilisé pour la passivation de surface, il développe une couche qui agit comme un revêtement. Ce processus est utilisé après la fabrication d'un produit et permet de produire un produit plus robuste.
| Codes de danger | F, C, Xn |
| Déclarations de risque | 11-20/21/22-34-52/53 |
| Consignes de sécurité | 16-26-36/37/39-45-61 |
| RIDADR | NO ONU 3286 3/PG 2 |
| WGK Allemagne | 2 |
| RTECS | JM9230000 |
| F | 21 |
| Température d'auto-inflammation | 325 °C. |
| Note de danger | Inflammable |
| TSCA | Oui |
| Code SH | 2931 90 00 |
| Classe de matières dangereuses | 3 |
| Groupe de conditionnement | II |
| Données sur les substances dangereuses | 999-97-3(données sur les substances dangereuses) |
| Toxicité | LDLO i.p. chez la souris : 650 mg/kg (Petraarch Systems Inc. Fiches d'information sur le produit) |
En photolithographie, le HMDS est souvent utilisé comme promoteur d'adhésion pour les photorésistes. Les meilleurs résultats sont obtenus en appliquant du HMDS à partir de la phase gazeuse sur des substrats chauffés.
En microscopie électronique, le HMDS peut être utilisé comme alternative au séchage au point critique pendant la préparation des échantillons.
Dans la chromatographie en phase gazeuse avec pyrolyse et la spectrométrie de masse, le HMDS est ajouté à l'analyte pour créer des produits de diagnostic silylés pendant la pyrolyse, afin d'améliorer la détectabilité des composés avec des groupes fonctionnels polaires.
Dans le dépôt de vapeur chimique à plasma ( PECVD), le HMDS est utilisé comme précurseur moléculaire comme substitut aux gaz hautement inflammables et corrosifs comme le SiH4, le CH4, le NH3 , car il peut être facilement manipulé. Le HMDS est utilisé en conjonction avec un plasma de divers gaz comme l'argon, l'hélium et l'azote pour déposer des couches minces/revêtements SiCN avec d'excellentes propriétés mécaniques, optiques et électroniques.
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