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La meuleuse de plaquettes FDC est principalement utilisée pour le chanfreinage de plaquettes. Au cours du processus de fabrication des copeaux, il peut y avoir des problèmes d'uniformité et de netteté au niveau des bords, ce qui peut affecter le traitement et l'utilisation ultérieurs. L'utilisation d'une machine à arrondir les bords de la plaquette peut arrondir les bords de la plaquette pour les rendre plus uniformes et plus lisses, tout en éliminant les bords tranchants et en réduisant les dommages aux processus et équipements ultérieurs.
Les avantages du meulage de bords (chanfreinage) incluent principalement les trois aspects suivants.
1. Empêcher la fragmentation des bords de la tranche. Pendant la fabrication et l'utilisation des plaquettes, elles sont souvent touchées par des bras robotisés, Ce qui peut provoquer la fissuration des bords de la plaquette et former des zones concentrées sous contrainte. Ces zones concentrées sous contrainte entraînent la libération continue de particules polluantes pendant l'utilisation de la plaquette, ce qui affecte le rendement du produit.
2.empêcher la concentration de la contrainte thermique. Les plaquettes subissent de nombreux processus à haute température pendant leur utilisation, tels que l'oxydation et la diffusion, lorsque la contrainte thermique générée dans ces processus dépasse celle du treillis de silicium. Lorsque la résistance est élevée, des défauts de dislocation et d'empilage se produisent et l'arrondi du bord du grain peut éviter de tels défauts.produits au bord du cristal.
3.augmentez la planéité de la couche épitaxiale et de la couche photorésisteuse au bord de la tranche. Dans le processus épitaxial, le taux de croissance des zones à coins tranchants est plus élevé que celui des zones plates. Par conséquent, l'utilisation de plaquettes non mises à la terre est sujette aux protubérances sur les bords. De même, lors de l'utilisation d'une machine à revêtement rotatif pour appliquer une photoorésistant, la solution photorésiste s'accumule également sur les bords de la galette, et ces bords irréguliers affectent la précision de la mise au point du masque.
| DURÉE | PRAMETER |
| Taille de la machine applicable | 2/4/6-inch 4/6/8-inch |
| G. diamètre de roue | Moyenne 205 mm |
| G. vitesse de roue D. | 500- 3000 min-1 |
| G. puissance du moteur de roue | 1,5 kW |
| Max. Taux de travail | 10 mm/s. |
| Résolution d'entrée | 0,5μm/s. |
| Alimentation du moteur d'alimentation | 1,5 kW |
| Nombre de plan de travail | 3 |
| Plateau rotatif Vitesse | 0-400 min-1 |
| Épais. Inspecter. Précision | 0,5μm |
| Position CCD. Précision | 3,7 μm |
| Arrondi chanfreinage | ≤10 μm |
| Angle de chanfreinage | ±0.05° |
| Contrôle du diamètre | ≤15 μm |
| Dimension externe | 2510 x 1860 x 2170 |
| Poids total | 2700kg |
| Wafer | Montant G. | Ne de Wafer | Dia. Avant le meulage | Dia. Après rectification | Arrondi Varia tion |
| Saphir 4 pouces | 0.01 mm | 1 | 99.632 | 99.613 | 6 |
| 2 | 99.61 | 99.599 | 7 | ||
| 3 | 99.6 | 99.589 | 7 | ||
| 4 | 99.592 | 99.579 | 4 | ||
| 5 | 99.58 | 99.571 | 4 |
Shenzhen Ponda Grinding Technology Co., Ltd. A été fondée en 2007, est située dans la zone industrielle B de Gongming Shangcun Yuanshan, est un professionnel engagé dans une variété d'équipement de rectification de haute précision, d'équipement de polissage et de produits de soutien et de la consommation de matériaux d'entreprises de haute technologie. L'entreprise intègre la recherche et le développement, la conception, la fabrication, la vente et le service après-vente. Ses produits sont largement utilisés dans les lentilles en verre optique, les pièces de téléphones mobiles, le saphir LED, les moules, les pièces de divers produits électroniques de communication, les pièces métalliques plates et diverses industries de matériel. Clientèle dans tout le pays et en Europe, aux États-Unis, au Japon et dans d'autres régions. Parmi ses représentants figurent Huawei, CLP Group, America's Apple, Japan's Dashin, Panasonic ; Allemagne Botu; Taiwan Foxconn et de nombreuses autres entreprises chinoises et étrangères bien connues. Ponda heretofore a fourni plus de 60 000 solutions de processus et d'appareils dans les secteurs de la machinerie, de l'électronique, de l'aérospatiale, de l'aviation, de l'automobile, Énergie atomique, optique; les substances du métal, de la cachets en SIC, de la céramique, du verre, du saphir industriel, plastiques et autres composites.
