Four RTP compact 1100c de marque MAXCN avec tube à quartz et Jauge de vide numérique

• Application: Industry, School, Hospital, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Structure: Tubular
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• N° de Modèle.: TMAX-1200X-RTP-4
• Paquet de Transport: Wood Packing
• Marque Déposée: TMAX
• Origine: China

Description de Produit

Four RTP compact 1100C avec tube à quartz et vide numérique Jauge

TMAX-1200X-RTP-4 est un four compact à tube de traitement thermique rapide avec un tube de quartz de traitement de 4 pouces d'D.I. et des brides de vide.  Il est conçu pour la recuisson des plaquettes de semi-conducteurs ou des cellules solaires d'un diamètre de 3 pouces maximum. TMAX-1200X-4-RTP est chauffé par 8 unités de lumière halogène de 1kW avec un taux de chauffage maximum de 50ºC/seconde. Un régulateur de température de précision à 30 segments avec une précision de +/-1ºC est intégré dans le four pour permettre le chauffage, le logement et le refroidissement à différentes étapes. Le port RS485 et le logiciel de contrôle sont inclus pour permettre la surveillance du profil de température via PC tout en faisant fonctionner simultanément le four. Ce four peut également être modifié en un  four RTE, CSS ou HPCVD ( voir note d'application ci-dessous )
 
CARACTÉRISTIQUES TECHNIQUES

Structure du four	Le boîtier en acier double couche avec refroidissement à l'air maintient la température de surface du four à moins de 60 °C.    Isolation en alumine fibreuse de haute pureté pour une économie d'énergie maximale. Ouvrir le couvercle avec protection de verrouillage, couper l'alimentation si le couvercle est ouvert pendant le processus de chauffage du four.
Puissance d'entrée	208-240 AC, 50/60 Hz monophasé, 9 kW max.  (Disjoncteur 60 a requis)
Éléments chauffants	8 tubes halogènes de 1 kW , ( dia. =10 mm, L=300 mm, longueur chauffée =200 mm) Durée de vie standard : 2000 heures.  ( dépend du taux de chauffage ) Le  tube de lumière halogène est un consommable.  Cliquez sur l'image à gauche pour commander une image de rechange
Zone de chauffage	Longueur de 12" avec une zone de température constante de 4" à +/-5ºC d'uniformité
Température de fonctionnement	1100ºC max. Pendant < 10 minutes 1 000 ºC max. Pendant < 20 minutes (Remarque : si le four fonctionne plus longtemps, le four est > 100 oC, le ventilateur doit être refroidi de l'extérieur ) 800 ºC max. Pendant < 120 minutes 600 ºC max. Pour continu
Max. Vitesse de chauffage	50 ºC/sec
Taux de refroidissement	Max. Refroidissement : 60 ºC/min (sous vide : 200 mtorr), 117ºC/min (sous pression atmosphérique)   Refroidissement le plus bas : 10 ºC / minute
Thermocouple	Type K, la tête du thermocouple touche le porte-échantillon en nitrure d'aluminium par le dessous
Contrôleur de température	le contrôleur de température est inclus. Commande proportionnelle-intégrale-dérivée (contrôle PID) et fonction de réglage automatique 30 segments programmés avec des étapes de rampe, de refroidissement et de logement Alarme de surchauffe intégrée et alarme de défaillance du thermocouple Précision de contrôle de température +/- 1 ºC Port de communication PC DB9 par défaut CERTIFIÉ MET
Contrôleur de température (en option)	Le kit logiciel de contrôle de température MTS02-Y (pour les contrôleurs de la série YD518P) + un ordinateur portable 15"  est disponible dans la  barre d'options. Vous pouvez mettre à niveau le contrôleur de température vers le contrôleur de température Eurotherm 3504 , qui est entièrement compatible avec LabVIEW.  Ce kit comprend un programmateur Eurotherm 3504, un câble de communication (RS485 - USB) et un CD de logiciels. Cliquez sur la photo ci-dessous pour voir les spécifications complètes du contrôleur de température Eurotherm 3504.
Tube en quartz et porte-échantillon	Taille du tube quart : 4.33 po D.E. x 4.05 po D.I. x 16.2 po longueur. Un porte-échantillon AlN de 3 po de diamètre est inclus pour le recuit d'échantillons d'un diamètre maximal de 3 po. L'ALN a une conductivité thermique très élevée qui fournit la meilleure uniformité de température dans la zone d'échantillonnage. Facultatif :  le substrat graphite épais de 3'' O.D peut être utilisé comme alternative à la plaque AIN. (veuillez cliquer sur pic-3 ci-dessous pour commander) En option : creuset en graphite:87 mm de diamètre extérieur x 71 mm de diamètre intérieur x 12 mm de hauteur avec couvercle conçu pour un porte-échantillons de 3 pouces, peut également être modifié en four  RTE, CSS ou HPCVD  avec un creuset en graphite recouvert de SIC. Le porte-échantillon est amovible de la bride pour utiliser le four RTP à d'autres fins.
Bride de dépression	La bride pour vide élevé KF-D25 est en acier inoxydable avec deux joints toriques en silicone haute température, des vannes à pointeau et une chemise de refroidissement par eau. Nécessite un refroidissement par eau uniquement en cas de temps de fonctionnement prolongé à des températures > 600 °C. Débit d'eau en circulation : 0.5 m3 /h. La bride coulissante permet de charger et de décharger plus facilement les échantillons et d'autres processus spécifiques nécessaires. Couplage thermique à insérer pour une mesure précise.
Pompe à vide (en option)	La pompe à vide EQ-FYP est recommandée pour ce four. La pression de vide ultime dans ce système peut être de 10^-3 torr. Les soufflets et les pinces de dépression sont inclus dans cet emballage. Cliquez ici pour les spécifications de la pompe à vide EQ-FYP.
Refroidissement par eau (en option)	De l'eau de refroidissement est nécessaire. Assurez-vous que le débit de l'eau de refroidissement est ≥ 10 l/min, température de l'eau. < 25 ºC ; pression > 25 PSI. Nous vous conseillons d'utiliser le refroidisseur d'eau de recirculation de la série EQ-KJ5000 comme système de refroidissement (à commander séparément dans les produits associés ci-dessous) pour économiser l'eau.    Avertissement : le temps de séjour maximal de ce four RTP doit être inférieur à 600 secondes à 1000ºC ~ 1100ºC avec de l'eau du robinet, sinon le joint torique risque de fondre.
Débitmètre	Un débitmètre est installé sur le panneau avant de réglage du débit de gaz de 16 à 160 ml/min
Jauge de vide	Un manomètre à vide numérique avec une plage de mesure de 10-4 à 1000 Torr est installé sur le four.
Raccord de pression et de gaz sous vide	La pression peut atteindre 50 mtorr à l'aide d'une pompe à vide mécanique Avec adaptateur KF25 La pression peut atteindre 10-4 torr par pompe moléculaire avec KF25 adaptateur
Dimensions	Bride fermée : 760 mm (L) X 330 mm (l) X 530 mm (H) /bride ouverte : 1 200 mm (L) X 330 mm (l) X 530 mm (H)
Poids net	70 kg (150 lb)
Garantie	Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (les consommables tels que les tubes de traitement, les joints toriques et les lampes halogènes ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange sur les produits associés ci-dessous).
Ordinateur portable, logiciel et contrôle Wi-Fi (en option)	Tout nouvel ordinateur portable avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (30 jours d'essai gratuit) pour une utilisation immédiate. LabVIEW Based Temperature Control System)  permet à l'utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, d'enregistrer et de tracer les données pour les fours MTI. Une télécommande sans fil offre une portée de fonctionnement pouvant atteindre 300 mètres. Les caractéristiques ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant un supplément (jusqu'à 1,000 $). Veuillez nous contacter pour plus d'informations. Remarque :   Le logiciel est uniquement compatible avec le contrôleur de température Yudian de MTI
Conformité	Sélectionnez le certificat dans la barre d'options : Certificat ce et homologation UL/CSA : homologation ce, prêt à passer le certificat UL/CSA   Certificat UL - apprentissage UL (UL 61010), moyennant un supplément
Facultatif	Vous pouvez combiner le four RTP avec une station à vide élevé ou un système de remise à gaz comme four à vide ou système CVD. Cliquez sur les images ci-dessous pour voir les détails Pour obtenir un taux de refroidissement rapide (< 10 ºC/seconde), vous pouvez choisir le four RTP avec rail coulissant. Cliquez sur l'image ci-dessous pour en savoir plus. Vous pouvez commander le module de commande de pression.
Notes d'application	Les fours tubulaires à tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression < 0.2 bars / 3 psi / 0.02 MPa.  Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 °C le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques au niveau du tube Attention : un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.  Ce four peut également être modifié en un  four RTE, CSS ou HPCVD avec un creuset en graphite recouvert de SIC ( cliquez sur pic-Left pour plus de détails sur la configuration d'un traitement RTE par DIY ) Après la DCV, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique vers un autre substrat pour la plupart des applications.  Le ruban de transfert de graphène permet de réduire le résidu.

TMAX-1200X-4-C4-SL-UL  est un   système CVD à double tube spécial conçu pour le revêtement de film mince sur la feuille métallique, en particulier pour la préparation d'une électrode flexible sur la feuille métallique dans le cadre de la recherche énergétique de nouvelle génération. Le chauffage et le refroidissement rapides peuvent être obtenus en faisant glisser le four. Veuillez vous reporter à la section instructions d'utilisation pour connaître le fonctionnement du four :

• Un tube en quartz double : tube extérieur Ø 100 mm et suspendu par tube intérieur Ø 80 mm.  La feuille métallique (substrat de croissance du graphène) sera enveloppée autour de la surface interne du tube pour la réaction CVD.  
• Brides étanches sous vide pour le double tube, qui permettent aux gaz réactifs de circuler entre deux tubes (espace de 10 mm ) et au gaz inerte de circuler à l'intérieur du tube pour le refroidissement.
• 4 canaux de gaz contrôlés par 4 MFP numériques distincts
• La pompe à vide est incluse avec l'adaptateur KF25 et le tuyau pour plug-and-play
• Le rail coulissant est installé au bas du four à zone unique, ce qui permet un chauffage ou un refroidissement rapide en faisant glisser le four d'un côté à l'autre.
• Une pince d'arrêt à glissière est incluse pour maintenir la position du four.

La zone de chauffage et le système de vide peuvent être sélectionnés : zone de chauffage simple ou double ; pompe à vide sèche sans Oilless haute vitesse - VBS-M1 ou pompe mécanique à deux étages - VBS-ACP15.

CARACTÉRISTIQUES :
 

Structure du four	Zone de chauffage unique La chambre d'isolation Al2O3 de haute pureté garantit une excellente uniformité de température. Des ventilateurs de refroidissement sont installés au fond du four pour assurer une ventilation efficace. L'ensemble de bride coulissante est en acier inoxydable. Double tube en quartz : tube extérieur Ø 100 mm et tube intérieur Ø 80 mm en suspension.  La feuille métallique (substrat de croissance du graphène) sera enveloppée autour de la surface interne du tube pour la réaction CVD Longueur de la zone de chauffage : 440 mm Longueur de la zone de chauffage à température constante : 120 (±1°C) à 400~1100°C.	Double zone de chauffage   La chambre d'isolation Al2O3 de haute pureté garantit une excellente uniformité de la température. Des ventilateurs de refroidissement sont installés au fond du four pour assurer une ventilation efficace. Max. Température : 1200°C et température continue : 1100°C. Deux zones de chauffage contrôlées séparément : Rails coulissants à double sens pour garantir un déplacement régulier du four. longueur 200 mm pour chaque zone de chauffage, longueur totale de 400 mm zone de température constante de 250 mm si les deux zones chauffant à même température Différence de température maximale de 500 °C si un bloc thermique est placé dans entre deux zones
Puissance	Zone de chauffage unique Puissance : 208 V c.a., 50 / 60 Hz, monophasée, 2,5 kW (disjoncteur 20 a requis)	Double zone de chauffage Puissance : 208 V c.a., 50 / 60 Hz, monophasée, 4 kW (disjoncteur 50 a requis)   câble d'alimentation de 10 m sans prise  (demandez à un électricien agréé de prendre la prise)
Température de chauffage	Max. Température : 1100°C. Température continue : 1000°C.
Taux de chauffage et de refroidissement	Les taux de chauffage et de refroidissement max. Dépendent de la température de fonctionnement.  Veuillez cliquer sur les tableaux ci-dessous pour voir si le taux de chauffage et de refroidissement maximal varie selon la plage de températures. ( vous devez étalonner la température et le taux de refroidissement du chauffage en fonction de vos conditions de travail avant utilisation )             Tracé de chauffage         Tracé de refroidissement
Tubes en quartz à fusion	Tube en quartz haute pureté : Deux paires de brides étanches sous vide avec des gaines de refroidissement à eau et vannes à pointeau en acier inoxydable Tube extérieur EQ-QZTube-101D-1400: De:4"x ID: 3.8" X 55" longueur (de 100 x DI 96 x 1400 mm ) Tube intérieur EQ-QZTube-80D-1800: De : 3.15: X DI x 2.95" x 70.8" longueur (de 80 x DI 75 x 1800 mm
Brides de dépression	Utilisation d'un tube double pour induire une croissance CVD sur une feuille métallique (enveloppée autour de la surface intérieure du tube) :   1-1. Ci-dessous, une paire de brides SS304 pour sceller le tube extérieur et l'espace entre le tube extérieur et l'intérieur du tube (cet espace est considéré comme une chambre de réaction). Bride gauche : raccord cannelé avec robinet à pointeau comme entrée de gaz, jauge de vide numérique avec plage de mesure 10^-4 à 1000 torr, entrée/sortie de refroidissement d'eau incluse Bride droite : vanne à angle droit avec raccord à bride KF25, robinet à pointeau de libération de dépression, entrée/sortie de refroidissement d'eau incluse   1-2. Laisser les deux extrémités du tube intérieur ouvertes pour le refroidissement du gaz.     Pression de vide ultime :  10^-2 torr (par pompe mécanique)                                          10^-5 torr (par pompe moléculaire turbo)
Contrôleur de température	Commande automatique PID avec 30 segments programmables pour un contrôle précis du taux de chauffage, du taux de refroidissement et du temps d'arrêt. Alarme de surchauffe et protection intégrées pour un fonctionnement sans opérateur.  La protection contre les températures excessives et l'alarme permettent un fonctionnement sans opérateur. Précision de température +/- 1 ºC. Port de communication RS485. Commande de température avancée  (en option) Le kit logiciel de contrôle de température MTS02-Y (pour les contrôleurs de la série YD518P) + un ordinateur portable 15" est disponible dans la barre d'options.  Vous pouvez mettre à niveau le contrôleur de température vers le contrôleur de température Eurotherm 3504 , qui est entièrement compatible avec LabVIEW.  Ce kit comprend un programmateur Eurotherm 3504, un câble de communication (RS485 - USB) et un CD de logiciels. Cliquez sur la photo ci-dessous pour voir les spécifications complètes du contrôleur de température Eurotherm 3504.
Débitmètres de masse et station de mélange de gaz	4 un régulateur de débit massique de précision ( MFC) avec affichage numérique et bouton de réglage est installé sur le boîtier inférieur gauche pour contrôler le débit de gaz : 4 canaux de distribution de gaz (contactez le service commercial MTI si vous en avez besoin) MFC 1 : plage de contrôle de 0 à 100 SCCM MFC 2 : plage de contrôle de 0 à 200 SCCM MFC 3 : plage de contrôle de 0 à 200 SCCM MFC 4 : plage de contrôle de 0 à 500 SCCM Précision du débit : ±1% FS Entrée et sortie de gaz : connecteur de tube Swagelok 1/4" Un réservoir de mélange de gaz de 80 ml est installé dans le boîtier inférieur Chaque canal de gaz est doté d'une vanne à pointeau en acier inoxydable pour marche/arrêt facile   Le débit est réglable à partir du panneau MFC
Station de pompe à vide et vannes	Facultatif 1 : La pompe à vide sèche sans Oillosess de Pfeiffer à grande vitesse (226 l/min), 10E-3 Torr Limit , est installée à l'intérieur d'un chariot mobile à usage intensif. Cliquez sur l'image ci-dessous pour plus de détails. L'adaptateur KFD25 et le tuyau en acier inoxydable sont reliés entre la pompe et la bride du tube par un clapet à bille de précision. 10E-2 le vide Torr peut être obtenu à l'intérieur du tube de traitement Un manomètre à vide numérique (fabriqué aux Etats-Unis) est installé sur la bride gauche.   (Facultatif) pour un niveau de vide supérieur à 10^-5 torr, veuillez commander ci-dessous la pompe turbo mobile.	Facultatif 2 :   La  pompe à vide rotative à palettes double étape extra-robuste avec filtre d'échappement et entrée KF-D25 est installée à l'intérieur d'un chariot mobile à usage intensif. Cliquez sur l'image ci-dessous pour plus de détails. le vide de 6,7 x 10 à 4 mbar peut être obtenu à l'intérieur du tube de traitement Un manomètre à vide numérique (fabriqué aux Etats-Unis) est installé sur la bride gauche. Veuillez cliquer sur la deuxième photo ci-dessous pour plus de détails Pour un niveau de vide plus élevé jusqu'à 10^-5 torr, veuillez commander ci-dessous un turbombage mobile  moyennant un supplément :
Fonction de refroidissement par eau	Le refroidissement par eau sur la bride sert principalement à refroidir le joint torique à l'intérieur de la bride afin d'assurer la meilleure étanchéité de la chambre à haute température :   Les brides de refroidissement à eau nécessitent un débit d'eau >= 10 l/M. Vous pouvez utiliser de l'eau du robinet comme liquide de refroidissement, mais nous vous recommandons fortement d'utiliser un refroidisseur à eau de recirculation pour des raisons environnementales. Veuillez cliquer sur le pouce ci-dessous pour commander le refroidisseur d'eau moyennant des frais supplémentaires.
Pièces en option (construction d'un four à tube unique)	Vous pouvez construire une chambre de réaction à tube simple de 80 mm de diamètre en commandant des brides d'étanchéité supplémentaires et les installer sur le tube intérieur :   Bride gauche : raccord cannelé avec robinet à pointeau comme entrée de gaz et raccord de passage 1/4'' pour permettre au client d'insérer un capteur de mesure Bride droite : raccord KF25 avec jauge mécanique et valve de détente de dépression
Dimensions	Four : 550 x 380 x 520 mm Boîtier mobile inférieur x 2 : 600 x 600 x 600 mm (un pour station de mélange de gaz et l'autre pour pompe à vide)
Expédition	Poids d'expédition : environ 800 lb Expédition par fret avec trois palettes Des frais de caisse seront appliqués
Garantie	Garantie limitée d'un an du fabricant (les consommables tels que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange sur les produits associés ci-dessous).
Ordinateur portable, logiciel et contrôle Wi-Fi (en option)	Tout nouvel ordinateur portable avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (30 jours d'essai gratuit) pour une utilisation immédiate. Le système de contrôle de la température basé sur LabVIEW  permet à l'utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, d'enregistrer et de tracer les données pour les fours MTI. Une télécommande sans fil offre une portée de fonctionnement pouvant atteindre 300 mètres. Les caractéristiques ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant un supplément (jusqu'à 1,000 $). Veuillez nous contacter pour plus d'informations. Remarque :   Le logiciel est uniquement compatible avec le contrôleur de température Yudian de MTI
Conformité	Certifié ce Tous les composants électriques (> 24 V) Sont certifiés UL / MET / CSA Le four est prêt à passer la certification TUV(UL61010) ou CSA à un coût supplémentaire.
Notes d'application	Les fours à tubes avec tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous dépression et basse pression < 0.2 bars / 3 psi / 0.02 MPa Attention : un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr. Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min)  pour réduire les chocs thermiques sur le tube Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * les pressions de vide peuvent être utilisées en toute sécurité jusqu'à 1000 °C. Cliquez ici pour savoir comment configurer le tube en quartz/céramique et la bride à vide pour le four à tube MTI. Une pince d'arrêt à glissière est incluse pour maintenir la position du four.   Après la DCV, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique vers un autre substrat pour la plupart des applications.  Le ruban de transfert de graphène permet de réduire le résidu.
Avertissement	Le refroidissement rapide des échantillons peut être obtenu en faisant glisser la chambre de chauffage. Veuillez porter des vêtements de protection, tels que des combinaisons et des gants résistants à la chaleur, si vous avez l'intention de le faire.   NE TOUCHEZ PAS LA SURFACE DU TUBE LORSQU'ELLE EST CHAUDE !

 

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