Four à tubes CVD à trois zones TMAXCN avec haute Station de vide et station de gaz MFC 4 canaux

• Application: Industrie, École, Hospital, Laboratoire
• Customized: Customized
• certificat: CE, ISO
• Structure: Tubular
• Matériel: Acier inoxydable
• Type: Tubular Furnace
• N° de Modèle.: TMAX-3-1200
• Paquet de Transport: Wood Packing
• Marque Déposée: TMAX
• Origine: China

Description de Produit

Four à tubes CVD 1200C trois zones avec station à vide élevé Et station-service MFC 4 canaux

Le   poste de travail de four DE la série TMAX-3-1200 comprend un four à tube à trois zones, une station de contrôle de gaz à débit massique de précision, une station à vide élevé et d'autres pièces d'assemblage. La température de fonctionnement maximale de cette station de travail est de 1200 °C. Le taux de vide final est de 10^-5 torr (avec notre ensemble d'étanchéité fourni). La station de contrôle du débit massique mélange plusieurs types de gaz et entre le gaz mélangé dans un tube de quartz fusionné à l'intérieur du four. Il est compétent pour les expériences comme CVD, diffusion et autres thermotraitements sous vide et protection des gaz de protection. Le four est fourni avec une station de contrôle des gaz à débit mas à affichage numérique à 4 canaux.

Caractéristiques techniques

four à tubes	Boîtier	Boîtier en acier double couche avec refroidissement par air. Thermostat intégré pour contrôler le fonctionnement automatique du refroidissement lorsque la température du boîtier est > 55 °C.
	Tube de traitement	Matériau : tube de quartz à fusion
	Positionnement du bloc thermique
	Puissance	7 KW
	Tension nominale	208 V CA monophasé, 50 / 60 Hz
	Élément chauffant	Alliage FE-Cr-Al dopé par Mo
	Temp. De fonctionnement	Max. Température de chauffage : 1200°C. Température de fonctionnement en continu : 1100 °C.
	Taux de chauffe	Taux de chauffe : programmable de 1 à 20 °C/min
	Longueur de la zone de chauffage	Zone de chauffage totale : 900 mm  (300 mm + 300 mm + 300 mm)
	Temp. Contrôleur	Trois régulateurs de température de précision pour contrôler trois zones séparément. Commande automatique PID avec 30 segments programmables. Précision de la température : ±1°C. Thermocouple : type K intégré au four
	Joint d'aspiration	Une paire de bride à vide en acier inoxydable avec : - un manomètre mécanique - deux vannes à pointeau   - un connecteur KF-40 pour la station de vide élevé.
	Tension nominale	208 V c.a. monophasé, 50 / 60 Hz
	Dimensions	1100 (L) x 450 (l) x 670 (H), mm
Station de vide haut	Structure	Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm Max. Chargement:      600 lb sur le dessus Panneau de commande de la pompe moléculaire :  LCD digital Intérieur:  Pompe à vide Pfeiffer fabriquée en Allemagne Capteur de vide inclus
	Débit volumique	Azote  N2    33 l/s Hélium    HE    39 l/s  (2340 l/minute) Hydrogène H2  32 l/s.
	Plage de fonctionnement	De 1000 mbar à <1E-7 mbar
	Pression ultime	<1E-8 mbar (sans fuite )
	Tension et alimentation	110 V C.A. OU 220 V C.A., 110 W
Commande de gaz de débit massique	Structure	Système de commande de gaz à 2-9 canaux avec panneau tactile PLC et Logiciel d'exploitation PC Affichage LED MFC 4 canaux en acier inoxydable 316 avec plage de débit de gaz comme ci-dessous : Contrôleur 1 : 0 à 100 SCCM Contrôleur 2 : SCCM 1 à 199 Contrôleur 3 : SCCM 1 à 199 Contrôleur 4 : SCCM 1 à 499 4 le gaz de la voie traverse un réservoir de mélange de gaz :  Φ80X120mm   Dimensions : 600(L) x 745(l) x 700(H), mm
	Puissance	18 W
	Tension nominale	208 V CA, monophasé, 50 / 60 Hz

 Expédition et garantie

Dimension d'expédition	Total trois palettes ( #1: 60" x 45" x 40"  #2: 48" x 40" x 42" #3: 48" x 40" x 42" )
Poids en ordre d'expédition	850 lb
Garantie	Garantie limitée d'un an   (Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie,   veuillez commander le produit de remplacement auprès des produits associés ci-dessous.)
Conformité	Certifié ce Tous les composants électriques (> 24 V) Sont certifiés UL / MET / CSA Le four est prêt à passer la certification TUV(UL61010) ou CSA à un coût supplémentaire.  (cliquez sur les repères