• Four à tubes de marque TMAXCN 1200c avec mécanisme de déplacement interne pour PECVD

Four à tubes de marque TMAXCN 1200c avec mécanisme de déplacement interne pour PECVD

Application: Industry, School, Hospital, Lab
Customized: Customized
Certification: CE, ISO
Structure: Tubular
Material: Stainless Steel
Type: Tubular Furnace

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Membre Diamant Depuis 2020

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Fabricant/Usine

Info de Base.

N° de Modèle.
TMAX-1200X-S-HPCVD
Paquet de Transport
Wood Packing
Marque Déposée
TMAX
Origine
China

Description de Produit

TMAXCN Brand 1200c Tube Furnace with Internal Travel Mechanism for Pecvd
Four à tubes 1200C avec mécanisme de déplacement interne pour PECVD

LE TMAX-1200X-S-HPCVD est un four compact à tubes divisés de 2 pouces avec système de déplacement interne des échantillons à l'intérieur du tube de traitement. Cela permet de contrôler la position et la température du stade d'échantillonnage ou du creuset via un contrôleur numérique à écran tactile.  Il est conçu pour le traitement thermique rapide et multifonction, comme le dépôt physique-chimique hybride (HPCVD), l'évaporation thermique rapide (RTE), et aussi la  croissance de cristaux Bridgman horizontal ( HDC) sous diverses atmosphères pour la recherche sur les cristaux de nouvelle génération.

CARACTÉRISTIQUES :
Four à tubes fractionnés
  • 208 - 240 V c.a., 50 / 60 Hz, consommation électrique max. De 1.2 kW
  • Température de fonctionnement : 1100 °C en continu et 1200 °C max.
  • Tube en quartz de 2 pouces (Ø ext. 50 mm x D.I. 44 mm x 450 mm L)  avec brides étanches à l'aspiration.
  • Optioanl: Vous pouvez choisir four à tube double zone à pic ci-dessous à droite à coût supplémentaire pour creat gradient thermique plus élevé ou zone de température constante plus longue
          -- four à deux zones
Contrôle de la température

 
  • Commande automatique PID via relais statique à 30 étapes programmable
  • Protection intégrée contre les surchauffe et les défaillances du thermocouple
  • Précision +/-1°C.
  • Couple thermique de type K.
  •   Longueur de la zone de chauffage : 200 mm (8 po)
  • Zone de température constante : 60 mm  (+/-1°C à 1000 °C )
            
 Étanchéité par dépression
  
 
  • bride à attache rapide de 2 po avec raccords de 1/4'', jauge de vide et robinet à pointeau sur le côté droit
  • La bride droite est reliée à un soufflet en acier inoxydable extensible jusqu'à 150 mm.
  • Bride gauche avec orifice de vide KF25 à fixation rapide et embout de 1/4'' vanne de ventilation  
  • Max. Niveau de vide : 10E-2 torr par pompe mécanique et 10-E5 par turbombage  
    
Mécanisme de déplacement interne            Et
Panneau de commande API
  • Un  couple thermique de type K de 1/4" de diamètre x 24'' de long est inséré à travers la bride droite pour soutenir un mini-creuset dans la chambre. Un moteur pas à pas peut entraîner le creuset à l'intérieur du tube du centre de chauffage à l'extrémité droite du four,  100 mm max
  • Le panneau de commande à écran tactile permet de régler la distance parcourue et la température affichage de la position du creuset
  • La vitesse de déplacement est constante à 180 mm/ min ( la commande de vitesse variable est disponible sur demande moyennant un supplément )
  • Un mini-creuset de 50 x 20 x 20 mm (~20 ml) est installé sur un couple thermique (cliquez sur pic.3 pour l'afficher).
  • Le porte-échantillon AIN ou  le porte-substrat plat Graphite pour la plaquette est disponible sur demande, des frais de personnalisation supplémentaires s'appliquent         

 
Max. Taux de chauffage et de refroidissement Le taux de chauffage et de refroidissement maximum peut être atteint en déplaçant l'échantillon dans la zone chaude préchauffée et en le sortant de la zone chaude.  Le taux de rampe/refroidissement type est indiqué dans la ci-dessous :
 
 
 
Pièces en option
  • Il peut être nécessaire d'utiliser une soupape à angle droit et des soufflets à brancher une pompe à vide ( cliquez sur les 1ers et 2nd photos pour commander )
  • La jauge numérique anticorrosion jusqu'à 10E-5 torr est en option pour Application CVD (pic 3)
  • Vous pouvez commander un système de distribution de gaz multi-canal pour DVD ou Fonctionnement du CVD ( pic 4)
           
Dimensions        
Garantie   Garantie limitée de deux ans avec assistance à vie (Les pièces consommables telles que les tubes et les joints toriques ne sont pas couvertes  par la garantie)  
Ordinateur portable, logiciel et contrôle Wi-Fi (en option)
  • Tout nouvel ordinateur portable avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (30 jours d'essai gratuit) pour une utilisation immédiate.
  • Le système de contrôle de la température basé sur LabVIEW  permet à l'utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, d'enregistrer et de tracer les données pour les fours MTI.
  • Une télécommande sans fil offre une portée de fonctionnement pouvant atteindre 300 mètres.
  • Les caractéristiques ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant un supplément (jusqu'à 1,000 $). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.
  • Remarque :  le logiciel est uniquement compatible avec le contrôleur de température Yudian de MTI
  •  ·        

Conformité
  • Certifié ce
  • Tous les composants électriques (> 24 V) Sont certifiés UL / MET / CSA
  • Le four est prêt à passer    la certification TUV(UL61010) ou CSA à un coût supplémentaire.  
Avertissement


 
  • Les fours à tubes avec tubes de quartz sont conçus pour une utilisation sous dépression et basse pression < 0.2 bars / 3 psi / 0.02 MPa
  • Attention : un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
  • Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * les pressions de vide peuvent être utilisées en toute sécurité jusqu'à 1000 °C.
Notes d'application Ce four multifonction est adapté aux applications ci-dessous :
  • RTE : le creuset chargé de matériel d'évaporation est placé au centre du four, déplacer le porte-échantillon en aval à une température appropriée où le dépôt a lieu.
  • HPCVD : installation similaire à celle de RTE, nous introduisons également du gaz réactif pour le mélanger avec la vapeur d'évaporation et le dépôt
  • Croissance horizontale de Bridgman Crystal :  chargez le matériau et les graines dans un creuset et placez-le au centre du four. Déplacez le creuset à la vitesse souhaitée pour faire pousser un seul cristal sous un gradient thermique approprié.
  • Si vous avez des questions et des suggestions, veuillez nous contacter avant d'acheter
  • Après la DCV, le graphène doit être transféré du catalyseur métallique vers un autre substrat pour la plupart des applications.  Le ruban  de transfert de graphène permet de réduire le résidu
  • Pour  la cristallisation directionnelle horizontale (HDC), vous pouvez utiliser une goulotte de gaz comme illustré ci-dessous :
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 TMAXCN Brand 1200c Tube Furnace with Internal Travel Mechanism for Pecvd

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>2000 Mètres Carrés
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