• Marque Tmaxcn double tube four coulissant et 4 de MCV Channel & système de vide du système de gaz
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Marque Tmaxcn double tube four coulissant et 4 de MCV Channel & système de vide du système de gaz

Application: Laboratoire
Customized: Customized
certificat: CE, ISO
Structure: Tubular
Matériel: Acier inoxydable
Type: Tubular Furnace

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Membre Diamant Depuis 2020

Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées

Fabricant/Usine

Info de Base.

N° de Modèle.
TMAX-1200X-4-C4-SL-U
Paquet de Transport
Wood Packing
Marque Déposée
TMAX
Origine
China

Description de Produit


TMAXCN Brand Dual Tube CVD Sliding Furnace and 4 Channel Gas System & Vacuum SystemDouble tube coulissant de MCV four et système de gaz à 4 canaux et un système à vide

Le tmax-1200X-4-C4-SL-UL  est un   système de double tube spécial MCV conçu pour le revêtement de thin film sur la feuille métallique, en particulier pour la préparation d' électrode sur une feuille métallique souple sur la nouvelle génération de la recherche énergétique. Chauffage et refroidissement rapide peut être obtenue en faisant glisser le four. Veuillez vous référer à la section Instructions d'opérations pour voir les opérations de la fournaise :
  • Un double tube de quartz:100mm de dia. tube extérieur et suspendu par 80 mm de dia. intérieur du tube.  Une feuille métallique (le graphène substrat de croissance) sera enroulé autour de l'intérieur de la surface du tube de MCV réaction.  
  • Le vide scellé pour le double des brides du tube, qui permettent aux gaz réactif à l'écoulement entre deux tubes ( 10mm Espace ) et du débit de gaz inerte dans le tube de refroidissement.
  • 4 canaux de gaz contrôlées par 4 le MFCs numérique distinct
  • Pompe à vide est inclus avec KF25 adaptateur et le tuyau de plug and play
  • Rail de guidage est installé sur le bas de four à zone unique, qui permet de chauffage ou refroidissement rapide en la faisant glisser le four à partir d'un côté à l'autre côté.
  • Une diapositive de l'arrêt du collier est inclus pour la tenue de la position de la fournaise.
Les deux zone de chauffage et de système de dépression sont sélectionnables : zone de chauffage simple ou double; Oilless sec à haut débit pompe a vide - VBS-M1 ou pompe mécanique en deux étapes - VBS-ACP15.

Spécifications :

 
Structure de four
TMAXCN Brand Dual Tube CVD Sliding Furnace and 4 Channel Gas System & Vacuum System

 
Une seule zone de chauffage
  • Une grande pureté Al2O3 Chambre d'isolement garantit une excellente uniformité de température.
  • Ventilateurs de refroidissement sont installés au bas de la fournaise pour assurer une ventilation efficace.
  • Glisser la bride est faite en acier inoxydable.
  • Double tube de quartz:100mm de dia. tube extérieur et suspendu par 80 mm de dia. intérieur du tube.  Une feuille métallique (le graphène substrat de croissance) sera enroulé autour de l'intérieur de la surface du tube de réaction de maladies cardiovasculaires
  • Zone de chauffage Longueur: 440mm
    Zone de chauffage à température constante longueur : 120 (±1°C) @400~1100 °C
Double zone de chauffage

 
  • Une grande pureté Al2O3 Chambre d'isolement assure une excellente uniformité de température.
  • Ventilateurs de refroidissement sont installés au bas de la fournaise pour assurer une ventilation efficace.
  • Max. Température : de 1200°C et température continue : 1100°C.
  • Deux zones de chauffage contrôlées séparément :
Rails coulissants à double sens pour veiller à ce four se déplace librement.
  • 200mm de longueur pour chaque zone de chauffage, 400 mm longueur totale de chauffage
  • La zone de température constante de 250 mm si les deux zones de chauffage à la même température
  • 500oC max si le lieu de différence de température d'un bloc thermique dans la zone entre deux
L'alimentation Une seule zone de chauffage
Alimentation : 208-240VCA, 50/60 Hz, monophasé, 2.5KW ( 20UN DISJONCTEUR requis)
Double zone de chauffage
Alimentation : 208-240VCA, 50/60 Hz, monophasé, 4 KW ( 50UN DISJONCTEUR requis)  
Câble d'alimentation 10 pieds avec pas de  bouchon (demandez à un électricien agréé pour faire le bouchon)
Température de chauffage
  • Max. Température : de 1100°C
  • Température en continu : 1000 °C
Taux de chauffage et refroidissement
 
Chauffage et refroidissement max. Les tarifs dépendent de la température de fonctionnement.  Veuillez cliquer sur les tableaux ci-dessous pour voir le chauffage et refroidissement Max. taux varie à la plage de température différents.
( Vous ne pouvez étalonner la température et taux de refroidissement de chauffage à votre condition de travail avant d'utilisation )
          
  Tracé de        tracé de refroidissement de chauffage
      TMAXCN Brand Dual Tube CVD Sliding Furnace and 4 Channel Gas System & Vacuum SystemTMAXCN Brand Dual Tube CVD Sliding Furnace and 4 Channel Gas System & Vacuum System
Les tubes de quartz fondu
  • Tube de quartz de haute pureté :
Deux paires de vide scellé les flasques avec refroidissement par eau vestes et les vannes à pointeau en acier inoxydable
  • Tube extérieur EQ-QZTube-101D-1400 : OD:4"x ID : 3,8" x 55 po de longueur (OD 100 x ID 96 x 1400 mm )
  • À l'intérieur du tube QZTube-EQ-80D-1800 : OD:3,15: x ID x 2,95" x 70,8 po de longueur (OD 80 x ID 75 x 1800 mm  

Brides de vide
Utilisant un double tube pour induire les MCV croissance sur les feuilles de métal (enroulé autour de la surface du tube de l'intérieur) :

 
  • 1-1. Illustré ci-dessous, une paire de la SS304 brides à l'étanchéité à la fois l'extérieur du tube et l'espace entre l'extérieur du tube et l'intérieur du tube (cet espace est considéré comme une chambre de réaction).
    • Flasque latéral gauche : raccord cannelé avec soupape à pointeau comme le gaz, d'admission d' une jauge de vide numérique avec plage de mesure 10^-4 à 1000 Torr, entrée/sortie de refroidissement de l'eau inclus
    • La bride droite : la soupape à angle droit avec raccords à bride KF25, un vide libérer la vanne à pointeau, entrée/sortie de refroidissement de l'eau inclus
 
  • 1-2. Laissez les deux extrémités de l'intérieur tube ouvert pour le gaz de refroidissement.
  •    

Pression de vide ultime :  10^-2 torr (par pompe mécanique)
                                         10^-5 torr (par turbo pompe moléculaire)

Le contrôleur de température
  • Commande automatique de PID avec 30 segments programmables pour un contrôle précis des taux de chauffage, taux de refroidissement et la durée de temporisation.
  • Construit au cours de la température et la protection de l'alarme permet de fonctionnement sans accompagnateur.
  • Au cours de la température de la protection et alarme permet de définir pour un fonctionnement sans accompagnateur(s).
  • +/- 1 °C Précision de température.
  • Port de communication RS485.
    • Contrôle de température de pointe  (facultatif)
    • MTS02-Y le kit logiciel de commande de température (pour les contrôleurs série YD518P) + 15" portable le paquet est disponible à la barre d'options.  Vous pouvez mettre à niveau du régulateur de température à l' Eurotherm 3504 le Contrôleur de température qui est entièrement compatible avec LabVIEW.  Ce forfait inclut un Eurotherm 3504 programmeur, un câble de communication (RS485 - USB) et un CD de logiciels. Cliquez sur l'image ci-dessous pour afficher la spécification complète du contrôleur de température Eurotherm 3504.  
  •              

Compteurs de débit massique de gaz et de la station de mélange
 
  • 4 contrôleur de débit massique de précision ( MFC) avec affichage numérique et le bouton de réglage sont installés sur le boîtier inférieur gauche pour contrôler le débit de gaz :
  • 4 canaux de gaz (contact MTI de ventes si besoin de plus)
    • MFC 1 : plage de réglage de 0~100 SCCM
    • MFC 2 : plage de réglage de 0~200 SCCM
    • MFC 3 : plage de réglage de 0~200 SCCM
    • MFC 4 : plage de réglage de 0~500 SCCM
  • Débit Précision : ±1 % FS
  • Entrée et sortie de gaz : Connecteur tube Swagelok 1/4"
  • Un réservoir de mélange de gaz 80mL est installé dans le boîtier inférieur
  • Chaque canal de gaz a une vanne à pointeau en acier inoxydable pour faciliter l'on/off  
  • Le débit est réglable à partir du panneau de MFC
Station de la pompe à vide et de soupapes Option 1 :
  • Pfeiffer's haute vitesse (226L/min), la pompe à vide à sec Oilless 10E-3 Torr  est installé dans une limite de heavy duty chariot mobile. Veuillez cliquer sur la photo ci-dessous pour plus de détails.
  • KFD25 adaptateur et tuyau en acier inoxydable sont connectés entre la bride du tube et de la pompe avec un clapet à bille de précision.
  • 10E-2 Torr vide peut être réalisé à l'intérieur du tube de traitement
  • Jauge de vide numérique (made in USA) est installé sur le côté gauche du flasque.  
  • (Facultatif) Pour le niveau de vide supérieur à 10^-5 torr, veuillez commander ci-dessous de la pompe turbo mobile.
        
Option 2 :

 
  • Le heavy duty étape Double pompe à vide rotative à ailettes avec filtre d'échappement & KF-D25 est installé d'admission à l'intérieur un lourd devoir chariot mobile. Veuillez cliquer sur la photo ci-dessous pour plus de détails.
  • 6.7X10-4 mbar de dépression peut être réalisé à l'intérieur du tube de traitement
  • Jauge de vide numérique (made in USA) est installé sur le côté gauche du flasque. Veuillez cliquer sur la deuxième photo ci-dessous pour plus de détails
  • Pour de plus le niveau de vide à 10^-5 torr, veuillez commander ci-dessous turbopump mobile  à un coût supplémentaire :
        
Fonction de refroidissement par eau Refroidissement par eau sur le flasque est principalement pour refroidir le joint torique à l'intérieur de la bride pour assurer la meilleure chambre scellés à haute température :

 
  • Brides de refroidissement à eau nécessitent >= 10L/M débit d'eau.
  • Vous pouvez utiliser l eau du robinet en tant que le liquide de refroidissement, mais nous vous suggérons fortement d'utiliser un refroidisseur de recirculation des eaux pour les considérations environnementales. Veuillez cliquer sur le pouce ci-dessous pour commander le refroidisseur à eau à un coût supplémentaire.
     
Pièces en option (bâtiment d'un seul tube four) Vous pouvez construire un 80mm de dia. tube unique chambre de réaction en ordonnant les brides d'étanchéité supplémentaire et de les installer sur le tube intérieur :

 
  • Flasque latéral gauche : raccord cannelé avec soupape à pointeau comme le gaz et d'admission 1/4'' Raccord traversée pour le client pour insérer un capteur de mesure
  • La bride droite : KF25 raccord avec un manomètre mécanique et la soupape de desserrage de vide
         
La dimension
  • Four : 550 x 380 x 520mm
  • Bas cas mobile x 2 : 600 x 600 x 600 mm (un pour la station de mélange de gaz et de l'autre pour pompe à vide)
L'expédition  
  • Poids d'expédition: ~800 lb
  • L'expédition par trois palettes de fret
  • La mise en caisse frais seront appliqués
La garantie Un an de garantie limitée du fabricant (les pièces consommables telles que le traitement des tubes, les joints toriques et les éléments de chauffage ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander des remplacements à des produits connexes ci-dessous).  
Ordinateur portable, logiciels et le contrôle WiFi (facultatif)
  • Nouvel ordinateur portable de marque avec Microsoft Windows 10 et Microsoft Office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate.
  • Système de contrôle de température basée sur Labview  permet aux utilisateur de modifier le profil de température, de gérer la recette de traitement thermique, enregistrement et données de tracé pour les fours de MTI.
  • Une télécommande sans fil fournit jusqu'à 300 mètres de plage de fonctionnement.
  • Fonctionnalités ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant un coût supplémentaire (jusqu'à $1,000). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.
  • Remarque :  
    Le logiciel est compatible uniquement avec le contrôleur de température du MTI Yudian

        
La conformité
  • Certification CE
  • Tous les composants électriques ( >24 V) sont UL / Rencontré / certifié CSA
  • Le four est prête à transmettre TUV(UL ou CSA61010) de la certification au coût supplémentaire.           
     
Notes d'application

 
  • Fours tubulaires avec tubes de quartz sont conçus pour l'utilisation sous vide et de basse pression < 0,2 bars / 3 psi / 0,02 Mpa
  • Attention : un régulateur de pression en deux étapes doit être installé sur le vérin à gaz pour limiter la pression en dessous de 3 psi pour un fonctionnement sûr.
  • Le débit de gaz devrait être limitée à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube
  • Limite d'aspiration Définition pour tous les fours de tube de quartz : * Les pressions de vide ne peut être utilisé en toute sécurité jusqu'à 1000 °C
  • Cliquez ici pour apprendre comment configurer le quartz et de dépression du tube en céramique/bride pour tube de MTI four.
  • Une diapositive de l'arrêt du collier est inclus pour la tenue de la position de la fournaise.
 
  • Après les maladies cardiovasculaires, le graphène doivent être transférées à partir du métal de catalyseur pour un autre substrat pour la plupart des applications.  En utilisant  la bande de transfert de graphène, le résidu peut être faible.
  •  
Avertissement
  • Refroidissement rapide de l'échantillon peut être obtenue en faisant glisser la chambre de chauffage à l'écart. Veuillez l'usure des pignons de protection tels que costume résistant à la chaleur et des gants si vous envisagez de le faire.  
  • Ne touchez pas la surface du tube lorsqu'il est chaud !
 TMAXCN Brand Dual Tube CVD Sliding Furnace and 4 Channel Gas System &amp; Vacuum System

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1 Standard package exporté : Interne à la protection anticollision, boîte en bois d'exportation de l'emballage externe.
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