CAS No.: | 75-73-0 |
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Formula: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
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Tetrafluorideis un réfrigérant cryogénique de carbone qui est relativement inerte dans des conditions normales, un oxygène displacer, et est également utilisée dans les divers procédés de gravure de wafer.
Spécifications :
Spécifications | Norme d'entreprise |
CF4 | ≥ 99,999 % |
O2+AR | ≤ 1 ppm |
N2 | ≤ 2 ppm |
H2 | ≤ 0,3 ppm |
CO | ≤ 0,3 ppm |
Le CO2 | ≤ 0,3 ppm |
SF6 | ≤ 0,3 ppm |
Le THC | ≤ 0,3 ppm |
OFC | ≤ 1 ppm |
L'humidité | ≤ 1 ppm |
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Chengdu Taiyu Gaz Industriels Co., Ltd
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