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INTRODUCTION :
Le module OEM FEM série d'alimentation haute tension utilisée par Wisman à haute tension pour le champ d'émission d'alimentation microscope électronique à balayage applications fournit une garantie pour des images haute qualité et haute résolution de numérisation d'émission de champ des microscopes électroniques, et accepte la personnalisation du client.
Wisman FEM est un ensemble intégré de la série multi-haute tension de sortie d'alimentation, spécialement conçu pour la numérisation d'entraînement des microscopes électroniques. Toutes les sorties de fournir des ppm-niveau faible ondulation de sortie, ppm-niveau de la stabilité, ppm, coefficient de température au niveau de haute précision et peu de décharge. Wisman a été la recherche de la présente demande de 15 ans et a accumulé une richesse de connaissances de sorte que nous pouvons personnaliser selon les besoins du client pour répondre aux besoins exigeants de microscopie électronique.
Avec une solution compacte, l'expansion support peut être installé dans un rack 19 pouces. Toutes les sorties de fournir l'ultra-faible ondulation de sortie, une excellente stabilité, coefficient de température et de précision. Fournir une isolation et de contrôle de l'correspondant par le biais d'alimentation flottant Wisman propre de l'isolement haute tension de la technologie.
Pour ce système de puissance série intégrée de FEM, le client contrôle est effectué par le biais des interfaces à fibre optique. Tous les verrouillages de sécurité à haute tension sont conçus en se fondant sur fail-safe matériel. Alimentations de la série de FEM ont adopté la certification CE et de se conformer aux dispositions applicables de la CEI, UL et SEMI Normes.
Application typique :
Microscope électronique à balayage émission de champ
Faisceau d'électrons d'alimentation
Les spécifications du produit
(Se reporter à la spécification PDF)
Caractéristiques produit :
Tension en entrée : +24VDC, ±5%@maximum de 5 ampères. <6 ampère de courant de pointe, dure de 1 seconde.
Fusible de sécurité : 5 x 20mm fusible céramique, qui peut être remplacé à partir de l'extérieur et marqué avec le fusible de la valeur.
Courant de fuite : < 200 μA
Tension : par rapport à la masse, -30kV 0V à pleine charge
Interrupteur d'alimentation : le commutateur à bascule permet l'appareil à être activée et désactivée à partir du panneau avant.
Spécifications
Tension en entrée :
+24 Vcc, ±5 % @ 5 Ampères maximum.
Courant d'appel est <6 ampères pendant 1 seconde.
Fusible de sécurité : un 5 x 20mm fusible céramique modifiable de l'extérieur et marqué avec la valeur du fusible.
Courant de fuite : < 200 μA à l'affaire
La tension:0V à -30 kV à pleine charge avec ce qui a trait à la masse
Interrupteur d'alimentation : le commutateur à bascule permet l'appareil à être activée et désactivée à partir du panneau avant.
Environnement :
La température de fonctionnement:+10 °C à +45°C de température ambiante pour un fonctionnement normal.
L'appareil fonctionne à partir de 0 °C mais nécessitera une longue période de préchauffage.
La température de stockage:-30 °C à +70 °C
Humidité : de 10 à 90 % HR sans condensation
Altitude: 2000 mètres ASL à pleine puissance. Pour les altitudes supérieures à 2000 mètres de la température ambiante de fonctionnement maximale est réduite de façon linéaire 1.1ºC par intervalle de 300 mètres.
Mécanique :
L'unité est fournie avec une paire de brides de fixation amovible ; ces derniers permettent à l'unité de monter dans un système de rack 19". L'unité peut être utilisé dans toute l'orientation. Un M5 x 23mm le goujon de masse de protection est monté dans le voisinage de l'emboût HT.
Alimentation de l'accélérateur
Tension de sortie : -100V à -30 kV, polarité négative. Une tension de conditionnement d' 32.5kV sans courant de charge est configurable. La sortie ne doit pas dépasser 35kV sous aucune condition. La sortie peut être réglé sur OFF qui désactive le faisceau du convertisseur de l'énergie, dans ce cas la sortie sera <60 volts.
Courant de sortie : 200μA maximum, 20kV à 30kV
Niveau de courant de déclenchement de sortie : 250 μA ±10 % de la sortie est désactivée et verrouillé avec un délai d'environ 1 seconde. Le programme est mis à zéro de tension.
Précision (Programme de tension) : <1 % ou ±10V (prendre la plus grande valeur) sur la plage de commande
Contrôle de tension : 16 bits, résolution 0,5 V, la pleine échelle = 32.768 volts
Linéarité : -20 à -30 kV <±25V
La régulation de charge : <±100 mV pour un 30µa à 200 µa de changements de charge
Régulation de ligne : <±10 ppm de 22.8V à 26.4v Ligne de changement
Ondulation : <50mVp-p @ 0uA à 200uA, 0,1 Hz à 20 MHz
Coefficient de Température: <10ppm/ºC de +10ºC à +45ºC, <5 ppm/ºC à partir de +20 ºC à +30 ºC
Stabilité : <200 mV/période de 15 minutes après 1 heure au chaud jusqu'en vertu de conditions de fonctionnement constant.
Moniteur de tension : 16 bits, résolution 0,5V. La précision avec l'égard de la tension de sortie réelle est de ±2 % ou ±10V.
Le moniteur actuel : 12 bits, résolution 100nA, la précision est ±2 % ou ±1 μA.
L'oscillation Amplitude :
0 à 100 % de la modulation dans les étapes de 1 %, où 100 % est définie comme ±5 % de l'énergie du faisceau de sortie avec une valeur minimale de ±50V. La valeur de crête à crête est deux fois l'amplitude.
Wobble Période :
666 à 2000 millisecondes. Réglable en 1 milliseconde étapes. Une sortie sinusoïdale avec 16 points par période. L'oscillation toujours démarre et arrête à un passage à zéro.
L'énergie stockée : <850mJ
Alimentation Filament :
Connexion :
Le centre du filament est connecté à l'énergie du faisceau de sortie. La sortie peut être réglé sur off qui désactive le filament du convertisseur.
Tension : nominalement 1,8V, maximum 3 V
Plage de contrôle de courant maximum : 0,5 à 3A
La résistance de charge : nominale à 0,6 Ω
Précision : ± 5 mA entre 2 et 3 ampères
Contrôle du courant : 12 bits, résolution 1 mA. La Pleine échelle = 4.096 Ampères
Linéarité :
± 10 mA entre 0,5A et 3A
La régulation de charge : <5mA pour 1.0Ω 0.4Ω à changer à 3A. (Y compris le câble de sortie)
Régulation de ligne : <1 mA pour le changement de 5 % en tension d'alimentation.
Linéarité : ± 10 mA entre 0,5A et 3A
Ondulation : <1 mAp-p, 20Hz à 10 kHz et <30mV p-p à environ 100kHz tant au sein de 0.6mA @ 3,0 A
Coefficient de Température: <25 ppm/ºC
Stabilité : <2mA/60 minutes. Après une heure au chaud jusqu'en vertu de conditions de fonctionnement constant.
La tension du moniteur : 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24c. La précision avec l'égard de la tension de sortie réelle : ±5 % ou ±25 mV
Surveillance de courant : 12 bits, résolution +/-1mA, la pleine échelle = 4.096 Ampères.Précision avec l'égard de courant de sortie réelle de ±10 mA.
Voyage OC : circuit ouvert de détection, Vout > 5,2 ± 0,1 volts. Toutes les sorties sont désactivées et les programmes mis à zéro.
Courant de déclenchement : plus de courant détecté si le courant de sortie dépasse 3,15 A pour dix secondes. Toutes les sorties sont désactivées et les programmes mis à zéro.
Alimentation de l'extracteur
Tension :
0V à 10kV (positif par rapport à l'énergie de faisceau). Plage de contrôle +100V à +10 kV. La sortie peut être réglé sur Off désactive l'extracteur du convertisseur.
Actuel : 700μA au cours de la plage de contrôle.
Niveau de courant de déclenchement : programmable de 0 à 735μA résolution 0,25 μA. Précision ±2 % ou 2 µa. Toutes les sorties sont désactivées et les programmes mis à zéro
Précision (Programme de tension) : <1 % ou ±20V (prendre la plus grande valeur) sur la plage de commande
Contrôle de tension : 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV
Linéarité : ±20 V sur la plage de commande
La régulation de charge :
<±1V (10µa - Courant de sortie de 700µa changement)
<100mV @ 40µa 0,1 Hz à 20 MHz
Régulation de ligne : <±5 ppm d'un +/-5 % Ligne de changement
Ondulation : <20mVp-p à 10kV, 700μA, 0,1 Hz - 20MHz
Coefficient de Température: <25 ppm/ºC
Stabilité : <0,05V/15 minutes; après une heure au chaud jusqu'en vertu de conditions de fonctionnement constant
Taux de rampe : 10V/s à 1000V/s
La tension du moniteur : 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV. La précision avec l'égard de la tension de sortie réelle : ±1 % ou ±20V
Le moniteur actuel : 12 bits, résolution 0,25 uA, la pleine échelle = 1.024mA. Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ± 2 % ou ± 2uA
Protection : arcs continu ou intermittent à l'approvisionnement en énergie de faisceau et la masse.
L'énergie stockée : <150mJ
Alimentation suppresseur
Tension :
0V à 1000V (négatif avec l'égard de l'accélération tension).
Plage de commande 100 V à 1000V. La sortie peut être réglé sur OFF pour désactiver le convertisseur de l'extracteur.
Courant de sortie : plage de contrôle <200µa.
Au cours de la Protection actuelle : 100μA±10%, un retard de 5 secondes, désactive toutes les sorties et de définir le programme à zéro.
Précision (Programme de tension) : Au sein de la plage de contrôle <2 % ou ±6V (prendre la plus grande valeur)
Contrôle de tension : 12 bits, résolution 0,25V, la pleine échelle = 1024V
Linéarité : au sein de la plage de contrôle ± 5 V
La régulation de charge : pour les changements de courant de charge de 10µa à 100 μA, <120 mV.
Taux de réglage d'entrée : +/- 5 % de changement de ligne <±5ppm
: L'ondulation de la plage de contrôle est <10mV pp, 0,1 Hz à 20 MHz.
Coefficient de Température: <25 ppm /ºC
Stabilité : <0,1V / 15 minutes; après une heure de préchauffage en vertu de conditions de fonctionnement constant
Affichage de tension :
12 bits, résolution 0,25V, la pleine échelle = 1.000kV.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ± 2 % ou ± 250 mV
Affichage actuel :
12 bits, résolution 0,25 uA, la pleine échelle = 0,2 Ma.
Courant de sortie réelle Précision : ±10 %
Protéger :
L'arc continu ou intermittent à l'accélération d'alimentation ou pôle d'extraction de l'alimentation
Stockage d'énergie : <2.5mJ
Alimentation de PMT
Tension :
0V à -1300V (négatif au sujet de la tension de masse)
La plage de contrôle est -100V pour -1300V. La sortie peut être réglé sur OFF pour désactiver le convertisseur de l'extracteur.
Plage de contrôle de OutputC urrent : <1000μA.
Protection contre les surintensités: 1000μA±10%, un retard de 5 secondes, désactive toutes les sorties et de définir le programme à zéro.
Précision (Programme de tension) : Au sein de la plage de contrôle <2 % ou ±6V (prendre la plus grande valeur)
Contrôle de tension : 12 bits, résolution 0,25V, la pleine échelle = 1024V
Linéarité : au sein de la plage de contrôle ± 5 V
La régulation de charge : pour les changements de courant de charge de 10µa à 100 μA, <120 mV.
Taux de réglage d'entrée : +/- 5 % de changement de ligne <±5ppm
: L'ondulation de la plage de contrôle est <10mV pp, 0,1 Hz à 20 MHz.
Coefficient de Température: <25 ppm /ºC
Stabilité : après le préchauffage pendant une heure, ±0,02 %, par heure/H
Affichage de tension :
12 bits, résolution 0,25V, la pleine échelle = 1.024kV.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ± 2 % ou ± 250 mV
Affichage actuel :
12 bits, résolution 0,25 uA, la pleine échelle = 1000uA.
Courant de sortie réelle Précision : ±10 %
Protéger :
L'arc continu ou intermittent à l'accélération d'alimentation ou pôle d'extraction de l'alimentation
Stockage d'énergie : <2.5mJ
Scintillateur logé d'alimentation
La tension de sortie :
0V à 10kV (positif par rapport à la grande tension).
La plage de contrôle est +100V à +10 kV. La sortie peut être réglé sur OFF pour désactiver le convertisseur de l'extracteur.
Courant de sortie : la plage de contrôle est de 200µa.
Au cours de programmation actuel Ralue actuel :
Programmable de 0 à 200μA, résolution 0,25 μA. La précision est ±2 % ou 2 µa. Toutes les sorties doivent être désactivés et le programme devrait être réglé à zéro
Précision (Programme de tension) :
Au sein de la plage de contrôle <1 % ou ±20V (prendre la plus grande valeur)
Contrôle de tension :
DAC 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV
Linéarité : au sein de la plage de contrôle de ±20V
La régulation de charge :
<±1V (10µa-200μA) Changement de courant de sortie
<100mV @ 40µa 0,1 Hz à 20 MHz
Taux de réglage d'entrée : +/- 5 % de changement de ligne <±5ppm
Ondulation : <20mVp-p à 10kV, 200μA, 0,1 Hz-20MHz
Coefficient de Température: <25 ppm/ºC
Stabilité : <2V / 15 minutes; après une heure de préchauffage en vertu de conditions de fonctionnement constant
Pente : 10V/s à 1000V/s
Affichage de tension : 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ±1 % ou ±20V
Affichage actuel : 12 bits, résolution 0,25 uA, la pleine échelle = 0,2 Ma.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ± 2 % ou ± 2uA
Protéger: continue/arc intermittent d'accélérer la source d'alimentation et de la terre.
Stockage d'énergie : <150mJ
Alimentation de l'objectif
Tension de sortie : 0 V à 10kV(positif par rapport à la terre )
Courant de sortie : plage de contrôle 200uA
Programme au cours de la valeur actuelle de courant
Programmable de 0 à 200uA,résolution 0,25 uA. La précision est de ±2 % ou 2uA. Toutes les sorties doivent être désactivés et le programme devrait être fixé à 0.
L'exactitude(la tension Programme)
Au sein de la plage de contrôle <1 % ou ± 20V(Prendre la plus grande valeur)
Contrôle de tension : DAC 12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV
Linéarité : au sein de la plage de contrôle de ±20V
La régulation de charge :
<±1V (10µa-200μA) Changement de courant de sortie
<100mV @ 40µa 0,1 Hz à 20 MHz
Taux de réglage d'entrée : +/- 5 % de changement de ligne <±5ppm
Ondulation : <20mVp-p à 10kV, 200μA, 0,1 Hz-20MHz
Coefficient de Température: <25 ppm/ºC
Stabilité : <0,3 V / 15 minutes; après une heure de préchauffage en vertu de conditions de fonctionnement constant
Pente : 10V/s à 1000V/s
Affichage de tension :
12 bits, résolution 2,5 V, la pleine échelle = 10.24kV.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ±1 % ou ±20V
Affichage actuel :
12 bits, résolution 0,25 uA, la pleine échelle = 0,2 Ma.
Par rapport à la tension de sortie réelle Précision : ± 2 % ou ± 2uA
Protéger :
L'arc continu ou intermittent à l'accélération de la source de puissance et la masse.
Stockage d'énergie : <150mJ
Verrouillage de dépression : La dépression est un lecteur optique de verrouillage Le verrouillage, ce qui est généré lorsque la fibre optique existe sur la fibre optique. Quand il y a pas de lumière, le verrouillage est déconnecté et l'appareil éteint toutes les sorties.
Voyant de contrôle :
Le témoin de mise sous tension (panneau avant) :
Le voyant vert s'allume, indiquant que l'alimentation +24 V est activé. Le voyant s'allume dans la plage de 22,8 à 25,2 volts, et se met à clignoter dans une période de 1 seconde lorsque la limite est dépassée.
Indicateur de verrouillage de dépression (panneau avant) :
La DEL jaune s'allume, indiquant que tous les verrouillages de dépression sont fermés. Le voyant de verrouillage de dépression doit être allumé pour faire de l' appareil de générer une tension élevée.
Protéger :
Toutes les sorties sont protégées par le chargement et de court-circuit continu, et ne sont pas touchés par des arcs.
La rigidité diélectrique de sortie de tension d'essai la capacité est 36kV, mais la sortie ne peut pas dépasser cette tension.
Toutes les entrées à basse tension peut empêcher une surtension de ±30 volts. La puissance d'entrée a protection contre les surtensions et de marche arrière de la protection de connexion.
Au cours de la température :
Tout dispositif semi-conducteur qui dépasse la condition de surchauffe pour plus de dix secondes démarre pour arrêter et d'envoyer un message d'erreur.
Exigences en matière d'arrêt: l'accélération de puissance peut être désactivé de manière indépendante.
Le filament d'alimentation, la répression pole d'alimentation et le pôle d'extraction de la puissance de sortie (transmission) sont désactivées ensemble.
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La mission de l'entreprise : crée la possibilité pour la création de clients de la valeur pour le personnel à créer l'avantage pour l'actionnaire de s'engagent la responsabilité de la société
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2. Express, l'air, transport maritime conformément aux exigences du client, de trouver la meilleure façon.
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