Tube YBOTECH MCV Four (chemical vapour deposition) se réfère à la méthode de gaz chimique ou de vapeur à réagir sur la surface du substrat à synthétiser les revêtements ou les nanomatériaux. Il est le plus largement utilisé de la technologie dans l'industrie des semiconducteurs à déposer une variété de matériaux, y compris un large éventail de matériaux isolants, la plupart des matériaux métalliques et matériaux en alliage métallique. Fonctionnalité : Four Shell La coquille est faite de métal Q235 à faible, en acier au carbone et la surface est résistant aux décharges électrostatiques et résistant à la corrosion. Le solide châssis métallique à double couche est combinée avec la chaleur-isolant de la structure du ventilateur, et le fourneau température de surface est faible. Mode d'utilisation horizontale, supérieur de l'ouverture de la structure, facile à utiliser. Matériau réfractaire L'isolement de la conception multi-couches, composé de fibre de céramique d'alumine léger et de haute qualité, d'appui du conseil d'isolement ne contient pas de composants de l'amiante, de faibles pertes de chaleur et une faible consommation énergétique Système de chauffage Spirale d'EDH de haute qualité sur le fil de résistance élément de chauffage est en toute sécurité et fermement ancrée sur la surface intérieure du four, le rayonnement thermique de chauffage dans la cavité du four, qui est efficace et économe en énergie, de longue durée de vie. L'anneau par fil de résistance de chauffage pour atteindre une bonne uniformité dans le four. Panneau de commande de température PID avec le mode de contrôle SSR/SCR, précise la commande de température. La norme internationale de thermocouple, longue durée de vie. Équipées de chauffage et témoin de surchauffe de l'alarme. Programmer le contrôleur Contrôleurs avancés qui satisfont aux exigences du processus complexe. Fonctionnement simple et direct, flexible de la programmation. Programmable 32 segments de programme. Au cours de la température et alarme de panne, la protection de sécurité automatique. Fonction de l'atmosphère sous vide Avec bride d'étanchéité en acier inoxydable 304 pour obtenir le vide ou l'atmosphère dans le four tube. Verre de quartz de haute qualité tube de travail et de métal ou de corindon tube de travail peuvent également être sélectionnée pour s'adapter à différentes conditions de travail. Les hautes performances bipolaire de la pompe à vide rotative à ailettes peuvent obtenir un degré de dépression de 5PA, et la jauge de vide numérique peut afficher le degré de dépression. Avec circuit d'air, unité de commande de l'unité de contrôle peut choisir 1-3 façon MFC Le système de contrôle automatique. Spécification :
Le point |
YBGC-25-12 |
YBGC-40-12 |
YBGC-60-12 |
YBGC-80-12 |
YBGC-100-12 |
YBGC-120-12 |
Taille de tube |
Φ25x800mm |
Φ40x1000mm |
Φ60x1000mm |
Φ80x1000mm |
Φ100x1000mm |
Φ120x1000mm |
Température max. |
1200ºC |
Température de travail |
1100ºC |
Zone de chauffage |
440mm |
Tension/Puissance |
220V/1.8KW |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/5KW |
Élément de chauffage |
Fil de résistance en alliage d'EDH |
Matériau de chambre |
L'alumine inorganiques polycristallin en fibre de céramique matériel préparé par filtration sous vide humide |
Matériau du tube |
Tube de quartz |
Précision de température |
±1 °C |
Le thermocouple |
N type thermocuple |
Le contrôleur de température |
Régulation de température PID de micro-ordinateur intelligent d'instrument, SCR/SSR, PID paramètre de contrôle de l'auto-tuning function; programmable 4 groupes de 8 segments de programme, le programme de chauffage, de programme Programme de préservation de la chaleur, le refroidissement |
Taux de chauffage |
1-25ºC/min fixés librement |
Structure de four |
La structure intégrée de contrôle de température du four, four Ouverture et fermeture ; double-couche shell, air de la circulation et l'isolation thermique |
Fonction d'étanchéité |
Les deux extrémités du tube de la Fournaise sont équipées avec brides métalliques en acier inoxydable, jumelé avec joints PTFE haute température, qui peut travailler sous vide avec un degré de dépression de ≤ 5pa (pompe à vide rotative à ailettes) |
L'atmosphère les performances |
Il y a des entrées et sorties de l'air aux deux extrémités de la bride. La jauge de pression est installé sur la bride métallique. La vanne à pointeau de précision permet de régler l'air et de sortie d'admission, et peuvent être nourris avec des gaz de protection tels que l'azote, argon, et l'hydrogène. |
La sécurité du matériel |
Modular Control, signal d'alarme sonores et lumineux sera envoyé pour plus de la température et de casse le raccord dans le processus de travail et la protection des mesures seront automatiquement complété |
La protection de la sécurité |
L'équipement est équipé d'un disjoncteur, qui seront automatiquement pop ouvrir en cas de court-circuit de fuite, ce qui peut protéger la sécurité des équipements et les opérateurs |
Four Shell |
De haute qualité de la plaque en acier laminées à froid cnc machine-outil de traitement d'obturation, après le soudage, meulage, polissage, phosphatage, décapage, la surface de la poudre de plastique de pulvérisation électrostatique |
Certificat de qualité |
La norme ISO9001 CE |
Accessroies standard |
1. Four corps 2. Le contrôleur de température 3. Câble d'alimentation de 3 mètres 4. 5.Manuel de thermocouple |
6. Crochet de four 7. Une paire de gants haute température 8. Deux bouchons de canalisation 9. Un ensemble de bride d'étanchéité |
Accessoires en option |
1. La pompe à vide rotative à ailettes en option (dépression degré ≤ 5PA 2. Jauge de vide numérique en option (1,0×105-1.0×10-1pa) 3. Plage du débitmètre de flottement en option (60-600ml/min) 4. En option avec le bateau de quartz |
Accessoires :
1. Corps de four |
1 jeu |
2. Le contrôleur de température |
1 |
3. Cordon d'alimentation de 3 mètres |
1 |
4. Le thermocouple |
1 |
5. Manuel d'instruction |
1 |
6. Le creuset d'une pince |
1 |
7. Gants haute température |
1 paire |