Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Fournisseur Audité Équipement de dépôt de diamants à cristal unique MPCVD pour laboratoire
Application
Préparation d'un diamant cristal unique de haute qualité, Diamond Grown ;
Préparation de films de diamant autoportants polycristallins de haute qualité;
Préparation de films de diamant polycristallin de haute qualité;
Préparation de divers films nano carbone tels que le graphène, les nanotubes de carbone, les fullerènes et les films diamantés.
Caractéristiques :
r. Équipement plasma à micro-ondes de type cavité en acier inoxydable de 10 kw, haute densité de puissance ;
b. L'étage du substrat refroidi par eau et la chambre métallique refroidie par eau garantissent un fonctionnement stable du système pendant une longue période ;
c. La température du substrat est obtenue par chauffage automatique du plasma à micro-ondes ;
d. L'instrument de mesure de vide est doté d'un manomètre à vide pleine gamme, qui peut mesurer avec précision le vide de fond et la pression du gaz de travail ;
e. La pompe à vide et la vanne adoptent la pompe moléculaire turbo (le vide ultime est de 1×10-5Pa) et la pompe à vide mécanique à palettes rotatives (le vide ultime est de 1 Pa), et le système peut contrôler automatiquement la pression de dépôt ;
f. Système de circulation de l'eau de refroidissement pour assurer un fonctionnement sûr et stable à long terme de l'appareil sous haute puissance;
g. Écran tactile 15 pouces, commande automatique PLC, possibilité de régler la température ou la pression à un niveau constant, d'enregistrer et de réutiliser jusqu'à 20 jeux de fichiers de processus ;
H. module de contrôle de processus entièrement automatique, capable de préparer de manière fiable et fiable des films et des cristaux de diamant de haute qualité.
Avantages :
1) efficacité de production élevée, sortie importante, haute qualité, la taille 7*7,8*8,10*10,12*12,15*15 peut être installée en même temps. Il peut produire environ 250 ~480 carats de diamants bruts par mois.
2) l'équipement a atteint la production industrielle. Le molybdène est de 90 mm de large, avec une vitesse de croissance rapide, un rendement élevé et une bonne stabilité. La précision et la qualité des composants traités sont extrêmement élevées, et la qualité de traitement de notre équipement est tout à fait exquise.
3) l'équipement est actuellement le premier équipement principal au pays et à l'étranger qui peut réaliser la production industrielle de diamant de cristal unique. Equipé d'une technologie de production avancée pour garantir aux clients la production de produits qualifiés. La clarté peut atteindre vs, vvs. La couleur peut atteindre le niveau D,E,F,G selon les exigences du client.
| EVacuum | Mesure de vide | Jauge piézorésistive 0.1-100kpa jauge de capacité 0-1000Pa |
| Plage de pression de fonctionnement | 4 Kpa | |
| Taux de fuite de dépression | <1*10-9 Pa·m 3 / s. | |
| Contrôle de la pression | Contrôle automatique | |
| Matériau de la cavité | Chambre d'excitation en alliage d'aluminium, chambre à vide en quartz | |
| Fenêtre d'observation | Trou de mesure de température de 10 mm de diamètre et fenêtre d'observation de trou poreux | |
| Mode de refroidissement | Mode de refroidissement | Refroidissement par eau+refroidissement par air de la chambre |
| Taille de la table d'échantillon | Stade de molybdène Φ 85 mm, surface uniforme Φ 50 mm | |
| Mesure de la température | Thermomètre infrarouge, plage 300-1400 ºC | |
| Débit d'eau de refroidissement | > 50 l/min | |
| Température de l'eau de refroidissement | 20 ºC | |
| Interface d'eau de refroidissement | interface de câble externe de 1 pouce | |
| Système d'exploitation | Système d'exploitation | Commande PLC, commande à écran tactile 15 pouces |
| Menu processus | 10 menus de processus, 25 lignes pour chacun | |
| Micro-ondes et alimentation | Fréquence micro-ondes | 2.45±0,1 GHz |
| Puissance de sortie | 1.5 kW (avec alimentation électrique domestique à micro-ondes de 10 kw) | |
| Puissance d'entrée électrique | 380 AC/50 Hz, triphasé, cinq fils (ligne d'alimentation 3 * 10 + 2 * 6), plus de 15 kW | |
| Taux de fuite des micro-ondes | Taux de fuite des micro-ondes à 5 cm de l'équipement ≤ 5 mW/cm2 | |
| Gaz de procédé | Débitmètre et interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 « MAGNÉTOSCOPE Bouchon rapide femelle pour tube pu 8 mm d'air comprimé |
| Le débitmètre peut modifier le type de gaz utilisé à logiciel | ||
| Pression d'alimentation en air | 0.3-0,35 MPa | |
| Pression d'air comprimé | 0.5 MPa | |
| Pompe à vide | Pompe à vide rotative à palettes | Pompe à huile |
| Vitesse de pompage | 4 L/S | |
| Alimentation | 380 V CA (±10 %) | |
| Interface | Extraction d'air KF25, évacuation d'air KF25 | |
| Environnement d'exploitation | Température et humidité ambiantes | La température ambiante est inférieure à 26 ºC et le l'humidité est inférieure à 40 % |
| Dimensions globales de l'équipement | Taille | 1250(L)×800(L)×2100(H)MM |
| Conditions d'acceptation de l'équipement : | 1. Installation de l'équipement : une fois l'installation de l'équipement terminée, les Parties A et B doivent effectuer la mise en service sur place et les techniciens de la partie B doivent dispenser une formation sur l'utilisation, la sécurité et l'entretien de l'équipement à la personne responsable de la partie A. | |
| 2. Test du système : le système peut être démarré et utilisé normalement, et la boule de feu détachée est stable sans sauter. | ||
| 3. Fuite micro-ondes : la fuite micro-ondes est inférieure à 5 mW/cm2 (la puissance de sortie de la source micro-ondes est à plus de 80 %, à 10 cm de l'équipement) | ||
| Élément | modèle | Quantité (jeu / pièce) |
fabricant ou origine | remarque |
source de micro-ondes |
10 kW / 2450 MHz |
1 |
domestique |
|
| système de transmission par micro-ondes | Mélangeur Guide d'ondes MPT-2012F |
1 | domestique | |
| convertisseur de mode | MPM-2050 | 1 | domestique | |
| cavité de réaction de micro-ondes | En aval MPP-2050 |
1 | domestique | |
| table d'échantillonnage et système de support | N / A |
1 |
domestique |
Refroidissement par eau, levage d'une couche |
système de débit de gaz |
5 régulateur de débit massique de gaz : H2, CH4, O2, N2, AR |
5 |
Japon |
|
| vanne de dépression et filtre | 1 jeu | Japon | ||
| Composants de connexion du système de gaz | 1 jeu | Japon | ||
| système de vide | soupape de dépression et filtre | 1 | Japon | |
| cavité de vide, tube de vide | 1 | domestique | ||
| pompe mécanique et soupape de dépression | 1 | domestique | ||
| pompe moléculaire et vanne de vide de support | domestique |
|||
mesurer |
vacuomètre à résistance | 1 | domestique | |
| vacuomètre à film | 1 | domestique | ||
| thermomètre infrarouge | 1 | domestique | ||
| système de commande électrique | API | 1 | Allemagne | |
| écran tactile | 1 | domestique | ||
| système de refroidissement par eau | température de l'eau de refroidissement, surveillance du débit |
3 |
Japon |
|
| Boîtier de commande / armoire | 1 | domestique | ||
| alimentation électrique de stabilisation de la tension | Nécessite une configuration utilisateur | |||
| refroidisseur de circulation | Nécessite une configuration utilisateur | |||
| bouteille de gaz, tuyau de gaz en acier inoxydable, tuyau d'eau, distribution électrique, tuyau d'échappement |
Nécessite une installation utilisateur |
Photos des équipements :
Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
Fournisseurs avec des licences commerciales vérifiées
Fournisseur Audité 
