four rotatif pecvd à tube 1 zone 1200c four SiOx de dépôt de vapeur Avec Collector China

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industrie, École, Laboratoire
• Customized: Customized
• certificat: CE
• Structure: Portable
• N° de Modèle.: TN-PECVD-R
• Matériel: Acier inoxydable
• Type: Tubular Furnace
• nom du produit: Pecvd System
• matériau du tube: quartz haute pureté
• température: 1 200 °c.
• zone de chauffage: 200mm*1
• taille du tube du four: 50*450 mm
• puissance rf: 150 w.
• fréquence rf: 13,56 mhz
• Paquet de Transport: Fumigated Wooden Box
• Marque Déposée: TN
• Origine: China
• Code SH: 8401200000
• Capacité de Production: 20 Sets Per Month

Description de Produit

Description du produit

Four à tube rotatif PECVD 1200C 1zone four à dépôt de vapeur SiOx Avec la Chine collectrice

Une zone de chauffage rotative PECVD, équipée d'un système d'alimentation automatique par vide et d'une interface KF40 réservée à l'extrémité du tube du four, peut être connectée au réservoir récepteur. Le convoyeur adopte une alimentation par vis, la poudre peut être introduite dans le tube du four à un débit nominal et le taux d'alimentation peut être modifié en réglant la vitesse de rotation. Il peut réaliser le revêtement continu et la modification des matériaux en poudre par la méthode PECVD sous l'environnement de protection de l'atmosphère. Le réservoir récepteur peut recueillir la poudre transformée dans l'environnement de protection de l'atmosphère.

L'équipement est équipé d'une puissance RF de 100 W à 13,56 MHz. Il peut générer du plasma sous vide. Le plasma à haute énergie peut activer la surface de l'échantillon, améliorer efficacement l'effet de réaction et augmenter la vitesse de réaction. Cette méthode auxiliaire est largement utilisée dans les expériences scientifiques telles que la préparation de graphène et le revêtement de particules.

Cet équipement est particulièrement adapté aux expériences d'échantillons granulaires.  Grâce à la transmission mécanique, il peut contrôler la rotation continue du tube de travail à 360° avec une vitesse de rotation réglable, de sorte que les matériaux du tube soient continuellement agités et mélangés, et en contact total avec le gaz et le plasma, de sorte que la réaction de l'échantillon soit plus uniforme et stable.

Paramètres du produit

Caractéristiques du système PECVD
 

Alimentation RF	Puissance de sortie	150 W.
	Précision de sortie	±1%
	Fréquence RF	13,56 MHz
	Stabilité RF	±0.005 %
	Méthode de refroidissement	Refroidissement par air
Four  à tube à zone de chauffage simple 1200ºC	Tension d'alimentation	220 V CA, 50 Hz
	Puissance maximale	2 KW
	Zone de chauffage	Zone de chauffage simple 200 mm
	Température de fonctionnement	Maximum 1200 ºC, la température de fonctionnement continue doit être ≤ 1100 ºC
	Précision de la température	± 1 ºC
	Méthode de contrôle de la température	Courbe de processus ai-PID à 30 étapes, peut stocker plusieurs Contrôle indépendant de trois zones de température, avec protection contre les surchauffes et les défaillances de thermocouple
	Matériau du tube du four	Quartz haute pureté
	Taille du tube du four	Dia. 50 x 800 mm
	Méthode d'étanchéité	Bride en acier inoxydable à vide, bride KF16
	Vitesse réglable	0-20rpm
	pente	0-15°
	Pompe à vide	Pompe mécanique à palettes rotatives
	Vide ultime	1,0E-1Pa
	Méthode d'alimentation	Entonnoir à vide et alimentation par vis

 

Photos détaillées

1. NOUS avons CVD/PECVD machine avec système d'alimentation en gaz+système de vide+four à tube + générateur de plasma.

2. Four à tubes (température) :1200C, 1400C, 1600C, température personnalisée disponible.

3. Four à tubes (zone de chauffage) :zone unique, zone double, zone triple, personnalisé le nombre de zones de chauffage est disponible.

4. Matériau du tube : quartz, corindon, alliage et autre matériau du tube est personnalisable.

5. Le tube de diamètre et de longueur différents est personnalisable.

6. Générateur de plasma : 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, et d'autres puissances de générateur de plasma est personnalisable.

7. Débitmètre : un débitmètre à 1 ou 3 canaux ou un débitmètre à canaux multiples est disponible en option en fonction de votre processus.

Four à tube CVD avec zone de chauffage simple 1200C  

Four à tubes CVD / PECVD avec triple zone de chauffage 1200C  

PECVD-- rouleau à rouleau
PECVD-- type rotatif

Système DCCVD

Système HOCVD
 

Profil de l'entreprise

Emballage et expédition

Nous pouvons expédier le CVD, PECVD machine par mer, par air, par terre et par Express, nous pouvons également organiser l'expédition selon vos besoins.

FAQ

Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.  

Q. Comment est votre garantie ?
R.  notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.

Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.

Q. Comment payer?
A.  T T, L / C, D / P, ETC

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.  panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.

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