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Fournisseur Audité Four à trois zones de chauffage 1200C à rouleau PECVD le plasma améliore le système de dépôt de vapeur chimique
Spécifications du système PECVD rouleau à rouleau
| Spécifications de performances et configurations de base | |
| Nom du produit | Faites rouler pour lancer PEVCD |
| Modèle du produit | TN-OTF-1200X-III-PE300-RR |
| Source plasma 1 000 W. | Puissance de sortie : 50 W maximum réglable ±1 % Fréquence RF : 13,56 MHz, stabilité ±0.005 % DB :≤55DB Mode de refroidissement : refroidissement forcé à l'air Puissance d'entrée : 1KW CA 220V |
| Système de contrôle à trois débitmètres de protons | Tension : 220 V CA/50 Hz Puissance : 23 W. Commande de l'écran tactile API Taille de la cuve de mélange : φ80*120mm Température de fonctionnement : 5 à 45 ºC Pression maximale : 3x106 Pa Précision : ±1.5% FS Linéaire : ±(0.5-1.5)%F.S. Précision répétée : ±0.2% F.S. Plage de débit : Le premier chemin : 1-50 SCCM (étalonnage du méthane) Deuxième chemin : 1 à 200 SCCM (étalonnage de l'hydrogène) Troisième chemin : 1 à 200 SCCM (étalonnage Argon) D'autres options sont disponibles pour l'étalonnage du type de gaz conformément à exigences du client |
| Unité de mesure de vide | Modèle : PCG-800 Plage d'indication : 3,8E-5 à 1125torr Précision : 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % de la mesure ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % de la mesure ±15 100 … 950 mbar % de la lecture ±5 950 … 1050 mbar % de la lecture ±2.5 |
| Unité à vide faible | Il est composé d'une pompe mécanique à double rotation, d'un filtre à brouillard d'huile vertical à double couche (matériau PE), d'un manomètre à vide résistant et d'un joint de tuyau de raccordement Taux d'aspiration de la pompe à vide ≥ 4,4 l/s. Degré de vide limite 10-1Pa Plage de mesure de la jauge de vide 10-1Pa-105 Pa |
| Dispositifs d'étanchéité bobine à bobine pour feuilles de cuivre | Le mécanisme d'enroulement et de déroulement bobine à bobine est utilisé pour déplacer la feuille de cuivre dans et hors du matériau, et la vitesse de déplacement de la feuille de cuivre est réglable de 1 à 400 mm/min Configurez un rouleau de feuille de cuivre de test. Le mécanisme d'enroulement et de déroulement est placé dans la chambre à vide aux deux extrémités du four à tubes pour garantir que la feuille de cuivre peut se déplacer dans des conditions de croissance scellées et réaliser une préparation à grande échelle Un dispositif de refroidissement est placé entre le mécanisme d'enroulement et le four tubulaire pour le refroidissement rapide de la feuille de cuivre. |
| Taille du produit | Environ 2400*800*1250mm |
| Poids du produit | Environ 720kg |
| Certificat de qualité | CE |
| Période de garantie | Remarque spéciale : 1. Les consommables tels que l'élément chauffant, le tube de quartz, le creuset d'échantillon, etc. Ne sont pas inclus. 2. Les dommages causés par des gaz corrosifs et acides ne sont pas couverts par la garantie. |
1. NOUS avons CVD/PECVD machine avec système d'alimentation en gaz+système de vide+four à tube + générateur de plasma.
2. Four à tubes (température) :1200C, 1400C, 1600C, température personnalisée disponible.
3. Four à tubes (zone de chauffage) :zone unique, zone double, zone triple, personnalisé le nombre de zones de chauffage est disponible.
4. Matériau du tube : quartz, corindon, alliage et autre matériau du tube est personnalisable.
5. Le tube de diamètre et de longueur différents est personnalisable.
6. Générateur de plasma : 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, et d'autres puissances de générateur de plasma est personnalisable.
7. Débitmètre : un débitmètre à 1 ou 3 canaux ou un débitmètre à canaux multiples est disponible en option en fonction de votre processus.
Zhengzhou Tainuo film Materials Co., Ltd. Est une entreprise complète qui intègre la conception, la recherche et le développement, la production et la vente.
Les principaux produits de notre entreprise sont : le cratère de spin, le cratère d'évaporation thermique, le cratère de crapules de magnétron, le crapules de crapules de plasma, le crapules d'évaporation à faisceau E, Machine de revêtement laser à impulsions PLD, nettoyeur plasma, système CVD, système PECVD, machine de découpe de fil diamant, four de fusion/poêle, four de fusion à arc, etc
Nos produits sont largement utilisés dans le domaine de la recherche en sciences des matériaux. Nous avons une vaste coopération avec des universités, des laboratoires et des entreprises de nouveaux matériaux. Il a été exporté avec succès vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Royaume-Uni, l'Allemagne, la Russie, la Suisse, Le Canada, le Brésil, etc. Et ont établi des relations de coopération à long terme avec les concessionnaires locaux.
Si vous effectuez des recherches sur les matériaux, veuillez nous contacter et nous vous fournirons des services personnalisés pour rendre vos expériences de recherche plus fluides!
Nous pouvons expédier le CVD, PECVD machine par mer, par air, par terre et par Express, nous pouvons également organiser l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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