Cratère de pulvérisation Magnetron Target simple DC de 4 pouces pour Film d′oxyde

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Type: pulvérisation de magnétron
• Revêtement: Revêtement sous Vide
• Substrat: Acier
• Certificat: CE
• N° de Modèle.: TN-MSP360G-1DC
• État: Nouveau
• nom du produit: Magnertron Sputter Coater
• méthode de revêtement: pulvérisation de magnétron
• Target Power: 500 w cc
• taille de la chambre: 213*307mm
• taille du substrat: 100 mm
• Substrate Heating: Max. 500c
• taille cible: 2 pouces
• alimentation: ca 220 v.
• pompe à palettes rotative: 1,1l/s.
• Turbo-Molecular Pump: 600 l/s
• Paquet de Transport: Fumigated Wooden Box
• Spécifications: 550*350*500mm
• Marque Déposée: TN
• Origine: China
• Capacité de Production: 20 Sets Per Month

Description de Produit

Description du produit

PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE

L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.

Cible magnétron 4 pouces Câleur de pulvérisation magnétron DC à cible unique pour film d'oxyde

L' équipement de craquage à crachats magnétron c.c. à cible unique est un équipement de revêtement à crachats magnétron économique, dont les recherches et le développement sont indépendants par notre entreprise. Il a les caractéristiques de la normalisation, de la modularisation et de la personnalisation.  Les cibles magnétron peuvent être sélectionnées de 1 pouce, 2 pouces et 3 pouces, et les clients peuvent choisir selon la taille du substrat plaqué ; l'alimentation est une alimentation c.c. haute puissance de 1 500 W, qui peut être utilisée pour le revêtement de pulvérisation métallique haute énergie. Selon les exigences expérimentales, les alimentations CC ou RF d'autres spécifications peuvent également être sélectionnées pour réaliser des opérations de revêtement de divers matériaux.

Paramètres du produit

Spécifications du cratère de crapules magnétron  
 

Cratère de pulvérisation magnétron c.c. à cible unique
Exemple Tableau	Dimensions hors tout	φ 360 mm
	Régime réglable	réglable de 1 à 20 tr/min
Cible	Plan cible	Cible du plan circulaire
	Vide de pulvérisation	0,1 Pa à 3 Pa
	Diamètre cible	100 à 101,6 mm
	Epaisseur cible	3 mm
	Tension d'isolation	> 2000V
	Spécifications des câbles	SL-16

 

	Température cible de la tête	<= 65 ºC
Vide chambre	Traitement de la paroi interne	Polissage électrolytique
	Taille de l'empreinte	Φ500mm x 500 mm
	Matériau de la cavité	acier inoxydable 304
	Fenêtre de visualisation	Fenêtre en quartz, φ100mm de diamètre
	Méthode d'ouverture	Ouverture latérale
Gaz contrôle	Contrôle de débit	Débitmètre massique, plage de mesure 0 ~ 100 SCCM
	Type de gaz	L'argon, l'azote, l'oxygène et d'autres gaz sont disponibles
	Types de vannes de régulation	Régulateur à solénoïde
	État statique de la soupape de régulation	Fermeture normale
	Mesure de la linéarité	Plus ou moins 1.5 % F.S
	Précision de répétition de mesure	Plus ou moins 0.2 % F.S
	Mesurer le temps de réponse	≤ 8 secondes (T95)
	Pression de service	0.3 MPa
	Corps résistant à la pression	3 MPa
	Température ambiante de fonctionnement	(5 ~ 45) ºC
	Matériau du corps	Acier inoxydable 316L
	Taux de fuite du corps	1×10-8Pa.m3/s.
	Raccords de tuyauterie	1/4 « joints à double paroi
	Signaux d'entrée/sortie	0 à 5 V.
	Alimentation	±15 V (±5 %) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA)
	Dimensions hors tout mm	130 (l) x 102 (H) x 28 (H)
	Interface de communication	Protocole MODBUS RS485
Alimentation CC	Alimentation	1 500 W.
Film epaisseur mesure	Alimentation électrique	CC : courant maximum de 5 V (±10 %) 400 mA
	Résolution	±0,03 Hz (5 MHz), 0,0136A/mesure (aluminium)
	Précision de mesure	±0.5% d'épaisseur +1 unité
	Cycle de mesure	100 ms ~ 1S/ temps (peut être réglé)
	Plage de mesure	500,000 A (aluminium)
	Fréquence du cristal	6 MHz
	Interface de communication	Interface série RS-232/485
	Bits d'affichage	Affichage LED 8 bits
Moléculaire pompe	Vitesse de pompage moléculaire	1 200 L/S.
	Vitesse nominale	2 000 tr/min
	Valeur de vibration	<= 0.1 um
	Heure de démarrage	5 min
	Temps d'arrêt	7 min
	Méthode de refroidissement	Refroidissement par eau + refroidissement par air
	Température de l'eau de refroidissement	<=37 ºC
	Débit d'eau de refroidissement	1 l/min
	Sens de montage	Vertical ±5.
	Interface d'extraction d'air	150 CF
	Orifice d'échappement	KF40
Avant pompe	Débit de pompage	VRD-16
	Vide ultime	1 Pa
	Alimentation	CA : 220 V/50 Hz
	Puissance du moteur	400 W.
	Bruit	<=56 db
	Interface d'extraction d'air	KF40
	Orifice d'échappement	KF25
Soupape	Robinet-vanne	Une vanne de porte est disposée entre la dépression et la pompe moléculaire
	Soupape de coupure	Une soupape de coupure est installée entre le la pompe moléculaire et le niveau avant
	Robinet de vidange latéral	Un robinet de vidange latéral est installé entre le chambre à vide et étage avant
	Vanne de purge	Une soupape de purge électromagnétique est installée sur la chambre à vide
Vide ultime de toute la machine		<=5X10-4Pa
Cible de test		1 pièce de cible en nickel de 4 pouces de diamètre et épaisseur 3 mm

 

Photos détaillées

1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, cible peut être conçu en haut ou en bas de
   la chambre.
2. Cible de puissance DC ou RF disponible. La fonction de biais est facultative
3. taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces  
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, faisceau électronique disponible
6. Service personnalisé toujours disponible!

Profil de l'entreprise

Emballage et expédition

NOUS pouvons expédier le magnetron cratter coater par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.

FAQ

Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.  

Q. Comment est votre garantie ?
R.  notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.

Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.

Q. Comment payer?
A.  T T, L / C, D / P, ETC

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.  panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.

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