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L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Le matériel de revêtement par pulvérisation au magnétron est un instrument de revêtement spécial de laboratoire développé par notre société. L'équipement peut être équipé d'une alimentation CC et d'une alimentation RF. La puissance varie de 500 W à 1 000 W. Il peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films en alliage, des films semi-conducteurs, des films en céramique, films diélectriques, films optiques, etc
Par rapport au crachat plasma classique, le crachat magnétron présente les avantages d'une énergie élevée, d'une vitesse élevée, d'un taux de dépôt élevé et d'une faible augmentation de la température de l'échantillon. La cible magnétron est équipée d'une couche intermédiaire refroidie par eau. Le refroidisseur d'eau peut efficacement éliminer la chaleur et éviter l'accumulation de chaleur sur la surface cible, de sorte que le revêtement magnétron puisse fonctionner de manière stable pendant une longue période.
| Alimentation | 220 V CA, 50 Hz | |
| Toute la puissance | 6 KW | |
| Degré de vide limite | 5 x 10-4 Pa | |
| Paramètres de la table d'échantillons | Taille | φ150mm |
| Température | 500 ºC max | |
| Commande de température | ±1 ºC | |
| Vitesse de rotation | réglable de 1 à 20 tr/min | |
| Paramètres de la tête de pulvérisation du magnétron | Quantité:1/2/3 | Taille : 2 po |
| Mode de refroidissement | Refroidissement par eau, débit requis : 10 l/min | |
| Refroidisseur d'eau | Refroidissement par eau de circulation 10 l/min | |
| Chambre à vide | Taille | φ300mm X 340 mm H |
| Matériau | SUS | |
| Fenêtre de surveillance | φ100mm | |
| Mode d'ouverture | type ouvert, cible facile à remplacer | |
| Régulateur de débit de gaz | Un canal, 200 sccm AR ; | |
| Pompe à vide | Un système de pompe moléculaire, pompage 600L/S. | |
| Jauge d'épaisseur de film vibrant à quartz | Un ensemble, résolution 0.10 angstrom | |
| Source d'alimentation de la gouttière | Alimentation c.c. : 500 W-1 000 W, adaptée à la préparation de films métalliques Alimentation RF 500W-1000W, adaptée aux films non métalliques |
|
| Mode de fonctionnement | Fonctionnement de l'ordinateur tout-en-un | |
| Dimensions hors tout | 1090 mm X 900 mm X 125 mm | |
| Poids total | 350 kg | |
1. Nous avons le cratère de pulvérisation du magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, la cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Alimentation CC ou cible de puissance RF disponible
3. Un matériau cible différent est facultatif
4. Cible magnétique forte et cible magnétique permanente sont facultatives
5. Le cratère de pulvérisation du magnétron avec source d'évaporation est disponible
6. Service personnalisé toujours disponible!
Cratère à crachat magnétron à cible unique avec alimentation CC Cratère à crachat magnétron à cible unique avec puissance RF
Cratère de pulvérisation magnétron cible simple bas de bureau
Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, disposant de notre propre équipe de conception et de notre usine avec une expérience technique mature, et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?
R. la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.
Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?
R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.
Q. Comment payer?
A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser le produit fait dans la garantie commerciale de la Chine.
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.
Pour plus de questions, veuillez nous contacter.
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