| Service après-vente: | 12 mois |
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| Garantie: | 12 mois |
| Type: | Ligne de Production de Revêtement |
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L'équipement de dépôt de vapeur chimique à courant continu à plasma à cathode chaude (DMVD) est développé sur la base de la décharge de lueur à cathode froide conventionnelle et est principalement utilisé pour le dépôt et la croissance de cristaux simples de diamant ou de film polycristallin.
La décharge luminescente de l'équipement de dépôt de vapeur chimique à courant continu de plasma à cathode chaude peut être divisée en quatre zones le long de l'axe de la cathode à l'anode : couche luminescente de la cathode, zone sombre de Faraday, bille de plasma à lueur de colonne positive et couche luminescente de l'anode. Parmi eux, la couche de lueur de la cathode est une mince couche d'émission de lumière près de la cathode, où se produit la décharge énorme d'onde, qui joue un rôle important dans le processus de décharge de la lueur; la zone sombre de Faraday est la zone de transition entre la zone de la cathode et la zone de la colonne positive. Les électrons entrent en collision dans la région de la cathode et perdent de l'énergie, et les électrons lents ne suffisent pas à provoquer l'ionisation et l'excitation, de sorte qu'ils présentent une zone sombre qui n'émet pas de lumière; La bille de plasma phosphorescent dans la zone de la colonne positive est à la position la plus évidente de la décharge luminescente, et sa largeur est autour de la cathode, l'espacement de l'anode est d'environ 4/5, et la longueur change avec le changement de l'anode et l'espacement de la cathode; par rapport à la zone de la colonne positive, la couche de lueur de l'anode émet une lumière légèrement plus sombre.
La cathode chaude, la haute pression de gaz et la haute densité de courant sont les caractéristiques de base de la décharge de la cathode chaude qui sont différentes de la décharge de la cathode froide conventionnelle. Pendant la décharge, il existe une distribution de l'intensité, de la couleur et de la luminosité de la lueur entre les électrodes, qui sont divisées en quatre zones évidentes. La décharge de la lueur couvre toute la surface de la cathode, et la tension de décharge augmente avec l'augmentation du courant de décharge; l'émission d'électrons de la cathode est combinée par l'émission thermique et le processus γ, et le degré de polarisation entre les deux est principalement déterminé par la température de la cathode; La zone de chute de la cathode est de maintenir la lueur la partie indispensable de la décharge de la lumière, l'épaisseur de cette zone est très mince, il ya une forte chute potentielle, ainsi la force de champ dans cette zone est très élevée, et de générer une décharge énorme d'onde. La densité actuelle de la décharge de la lueur de la cathode chaude est beaucoup plus grande que celle de la décharge de la lueur de la cathode froide.
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eposition chambre |
Couche intermédiaire refroidie par eau en acier inoxydable |
Concevoir la taille de cavité appropriée en fonction de la taille de l'électrode pour s'assurer qu'il n'y a pas de décharge entre la cavité et l'électrode |
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Ouvrir la cavité |
Soulevez pour ouvrir la cavité ou ouvrez la porte avant, ce qui est pratique pour le lissage et le nettoyage |
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Fenêtre d'observation |
Configurez plusieurs fenêtres d'observation pour vous assurer que la cathode, l'anode et la table de dépôt peuvent être observées |
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Système de vide |
Pompe à vide |
Le vide est pompé par une pompe mécanique, pas besoin de configurer la pompe moléculaire |
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Vide ultime |
0.1 à 1 Pa |
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Temps d'arrêt de la pompe |
5 à 15 min |
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Réglage de l'évent |
Assurez-vous que le pompage est uniforme |
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Plage de réglage de la pression d'air |
0,1 Pa~30 KPa |
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Détendeur de pression |
Peut être restauré à l'atmosphère |
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Jauge de vide |
Le manomètre à vide haute précision mesure avec précision la valeur de pression du cavité |
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Système de distribution de gaz |
Configuration de la source d'air |
5 sources de gaz d'hydrogène, de méthane, d'azote, d'argon et d'oxygène, avec un autre réservé à la sauvegarde |
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Contrôle du débit de gaz |
Le débit volumique est contrôlé par MFC et un débitmètre avec une plage appropriée est sélectionné en fonction de la taille de la cavité. Des débits différents affectent le temps de montée de pression. En général, le débit d'hydrogène : méthane : azote : argon : oxygène est de 40:1:40:1 |
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Réglage de l'admission d'air |
Réglage raisonnable de l'entrée d'air pour garantir l'uniformité de l'entrée d'air |
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Système de refroidissement par eau |
Puissance du refroidisseur d'eau |
La puissance de refroidissement et la tête du refroidisseur d'eau doivent correspondre à la génération de chaleur de l'équipement et au débit d'eau de refroidissement, et la température doit être réglable, généralement réglée à environ 20 °C. |
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Soupape |
La chambre de dépôt, la cathode et l'anode doivent toutes être refroidies, et un séparateur d'eau doit être installé, et des vannes manuelles sont placées à l'entrée et à la sortie de chaque branche du séparateur d'eau. |
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Température de fonctionnement |
La température de fonctionnement de l'anode est de 600 à 1100ºC, la température de fonctionnement de la cathode est de 700 à 1100ºC |
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Puissance |
Tension de fonctionnement |
600 à 1 200 V, tension de sortie réglable |
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Courant de travail |
6 À 15 A. |
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Système de commande |
1) contrôle du débit de gaz ; 2) commande de levage d'électrode, affichage en temps réel de la distance de la cathode et de l'anode, précision du contrôle 1 mm ; 3) surveillance et affichage de la température de la cathode, de l'anode et du substrat; 4) certaines fonctions peuvent être réglées manuellement, comme la pression d'air ; 5) alarme de défaut pour éviter tout dysfonctionnement ; |
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Électrode |
1) le diamètre de l'anode est de 60 mm et le matériau est le cuivre 2) le diamètre de la cathode est de 80 à 100 mm et le matériau est le molybdène. Après une utilisation à long terme, le carbone est facile à déposer sur la surface de la cathode et la décharge est instable. Par conséquent, il doit être conçu comme une structure remplaçable; 3) la distance entre la cathode et l'anode est réglable, la plage est de 10 à 60 mm, la distance est affichée en temps réel et la précision de réglage est de 1 mm ; 4) les bords de la cathode et de l'anode peuvent être arrondis pour empêcher la décharge de bord; 5) l' anode peut être négativement polarisée et la plage de tension de polarisation est comprise entre 0 et 400 V. 6) le bord de l'électrode est isolé pour empêcher la décharge du bord ; |
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Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?
R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons leur propre équipe de conception et leur propre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
