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PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Caractéristiques du cratère de pulvérisation de magnétron :
1. Le cratère à pulvérisation de magnétron c.c. à double cible est un équipement de revêtement à pulvérisation de magnétron économique et normalisé,
modulaire et personnalisable. Les deux cibles peuvent répondre aux besoins de revêtements multiples ou multiples.
2. Il y a une cible magnétron de 1 pouce, 2 pouces et 3 pouces à facultatif. Vous pouvez choisir la cible en fonction de la taille de l'
substrat. Le coater est équipé de deux alimentations de 500 W CC. Et il est utilisé pour la préparation de matériaux conducteurs.
3. La machine de revêtement est équipée d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Un débitmètre massique à quatre canaux est disponible.
4. Le système de vide est une pompe turbo-moléculaire, le vide ultime est jusqu'à 1,0E-5Pa, une pompe personnalisée est disponible.
5.le chemin de gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes, vous pouvez ouvrir la chambre pour prélever l'échantillon sans arrêter la pompe.
6. Calculateur intégré pour la commande disponible. Toutes les fonctions peuvent être relantées par le calculateur
Spécifications du cratère de pulvérisation du magnétron :
| Nom du produit | Double cible, cratère de pulvérisation Magnetron | |
| Modèle | TN-MSZ300S-II-DCDC-SS | |
| Vol | 220 V CA, 50 Hz | |
| Puissance totale | 2 KW | |
| Vide du système | <=5×10-4Pa | |
| Etape d'échantillonnage | Taille | φ140mm |
| Température de chauffage | <=500 ºC | |
| Précision | ±1 ºC | |
| Vitesse de rotation | 0 à 20 tr/min, réglable | |
| Pistolet à pulvérisation | Taille cible | Φ50.8mm, épaisseur <=3 mm |
| Refroidissement | Refroidissement par eau | |
| Débit | 10 l/min | |
| Chambre à vide | Taille de la chambre | φ300mm*300mm |
| Matériau de la chambre | SUS304 | |
| Obervation | φ100mm | |
| Ouverture | Toit ouvert | |
| Système de gaz | Débitmètre massique unidirectionnel, AR-200SCCM | |
| Système de vide | Système de pompe moléculaire--600L/s. | |
| Epaisseur du film | Moniteur d'épaisseur de film en quartz, fréquence 0.10 Å | |
| Puissance de pulvérisation | Alimentation CC 500W*2 | |
| Connexion | API+écran tactile | |
| Taille totale | 600 mm×650 mm×1080mm | |
| Poids | 145kg | |
1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 tagrst, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC de 0 à 1 000 W ou une cible de puissance RF est disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives.
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible.
6. Service personnalisé toujours disponible!
NOUS pouvons expédier le marouflage de magnétron par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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