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Fournisseur Audité PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Le matériel de revêtement par pulvérisation au magnétron est un instrument de revêtement spécial de laboratoire développé par notre société. L'équipement peut être équipé d'une alimentation CC et d'une alimentation RF. La puissance varie de 500 W à 1 000 W. Il peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films en alliage, des films semi-conducteurs, des films en céramique, films diélectriques, films optiques, etc
Lab RF de bureau magnetron plasma crachat coater
Par rapport au crachat plasma classique, le crachat magnétron présente les avantages d'une énergie élevée, d'une vitesse élevée, d'un taux de dépôt élevé et d'une faible augmentation de la température de l'échantillon. La cible magnétron est équipée d'une couche intermédiaire refroidie par eau. Le refroidisseur d'eau peut efficacement éliminer la chaleur et éviter l'accumulation de chaleur sur la surface cible, de sorte que le revêtement magnétron puisse fonctionner de manière stable pendant une longue période.
Spécifications du coater de cracheur cible magnétron unique
| Alimentation | 220 V CA, 50 Hz | |
| Toute la puissance | 6 KW | |
| Degré de vide limite | 5 x 10-4 Pa | |
| Paramètres de la table d'échantillons | Taille | φ150mm |
| Température | 500 ºC max | |
| Commande de température | ±1 ºC | |
| Vitesse de rotation | réglable de 1 à 20 tr/min | |
| Paramètres de la tête de pulvérisation du magnétron | Quantité:1/2/3 | Taille : 2 po |
| Mode de refroidissement | Refroidissement par eau, débit requis : 10 l/min | |
| Refroidisseur d'eau | Refroidissement par eau de circulation 10 l/min | |
| Chambre à vide | Taille | φ300mm X 340 mm H |
| Matériau | SUS | |
| Fenêtre de surveillance | φ100mm | |
| Mode d'ouverture | type ouvert, cible facile à remplacer | |
| Régulateur de débit de gaz | Un canal, 200 sccm AR ; | |
| Pompe à vide | Un système de pompe moléculaire, pompage 600L/S. | |
| Jauge d'épaisseur de film vibrant à quartz | Un ensemble, résolution 0.10 angstrom | |
| Source d'alimentation de la gouttière | Alimentation c.c. : 500 W-1 000 W, adaptée à la préparation de films métalliques Alimentation RF 500W-1000W, adaptée aux films non métalliques |
|
| Mode de fonctionnement | Fonctionnement de l'ordinateur tout-en-un | |
| Dimensions hors tout | 1090 mm X 900 mm X 125 mm | |
| Poids total | 350 kg | |
1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, cible peut être conçu en haut ou en bas de
la chambre.
2. Alimentation CC ou cible de puissance RF disponible.
3. Un matériau cible différent est facultatif
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives
5. Le cratère de pulvérisation du magnétron avec source d'évaporation est disponible
6. Service personnalisé toujours disponible!
Cratère à crachat magnétron à cible unique avec alimentation CC Cratère à crachat magnétron à cible unique avec puissance RF
Cratère de pulvérisation magnétron cible simple bas de bureau
NOUS pouvons expédier le magnetron cratter coater par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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