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Fournisseur Audité PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Lab Double Target Magnetron Spoutering Coater avec absorbeur thermique
La machine de revêtement deux en un à pulvérisation au magnétron et à évaporation thermique peut être utilisée pour le revêtement de produits électroniques, de verre, d'échantillons en céramique, de métaux et autres échantillons, particulièrement adaptée à la préparation d'échantillons de laboratoire SEM (microscope électronique à balayage).
L'équipement est principalement composé d'une chambre à vide en acier inoxydable, d'une cible de pulvérisation au magnétron, d'une source d'évaporation, d'une table d'échantillonnage de chauffage rotatif, d'une pompe à vide, d'un manomètre de mesure de vide, d'un système d'admission d'air et d'un système de contrôle.
Spécifications du cratère à pulvérisation de magnétron à double cible avec évaporation thermique coater
| Modèle | TN-MS500S-2TA1S | |||
| Exemple de table | Taille | Ø 150 mm | Chauffage | ≤500 ºC |
| Vitesse de rotation | 1-20r/min | Commande de température | ±1 ºC | |
| Tête de bec de pulvérisation magnétron | Quantité | 2 pouces ×2 | Mode de refroidissement | Refroidi par eau |
| Évaporation thermique | source de l'évaporateur | Panier en fil de tungstène | Temp. Max | 1500ºC |
| Thermocouple | Type S. | |||
| Chambre à vide | Taille | Ø 300 mm × 300 mm H | Fenêtre de surveillance | Ø 100 mm |
| Matériau | 304 SUS | Mode ouvert | Porte avant | |
| Système de vide | Pompe mécanique | Pompe à palettes rotative | Interface d'extraction | KF16 |
| Pompage | 1,1L/s. | |||
| Pompe moléculaire | Pompe moléculaire turbo | Interface d'extraction | CF150 | |
| Pompage | 600 L/s | Interface d'échappement | KF40 | |
| Jauge de vide | Jauge de résistance + jauge d'ionisation | |||
| Degré de vide ultime | 1,3x10-4Pa | Alimentation | CA ; 220 V 50 / 60 Hz | |
| Alimentation du dispositif de coupe | Alimentation CC | 1 jeu | Puissance de sortie | ≤1000 W. |
| Tension de sortie | ≤600 W. | Temps de réponse | <5 ms | |
| Alimentation RF | 1 jeu | Puissance de sortie | ≤1000 W. | |
| Stabilité de puissance | ≤5 W. | |||
| Fréquence RF | 13,56 MHz | Stabilité RF | ±0.005 % | |
| Jauge d'épaisseur de film | Résolution | ±0,03 Hz | Précision | ±0.5 % |
| Limite supérieure de la plage | 50000 | Vitesse | 100 à 1000 ms. | |
| Système refroidi par eau | Volume du réservoir | 9L | Débit | 10 l/min |
| Système de gaz | Type de débitmètre | MFC(débitmètre massique) | Portée | 200 cm |
| Type de gaz | AR | |||
Autre |
Alimentation d'entrée | 220 V CA, 50 Hz | Taille | 1 400 x 750 x 1 300 mm |
| Puissance totale | 4 kw (hôte+pompe à vide) | Poids | 295kg | |
1. NOUS avons le cratère de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4cibles, cible peut être conçu en haut ou en bas de la chambre.
2. Cible DC ou RF 0-1000W disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible
6. Service personnalisé toujours disponible!
NOUS pouvons expédier le magnetron craquant coater avec l'évaporation thermique par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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