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Fournisseur Audité Système de dépôt sous vide à cratère magnétron à cible unique utilisé en laboratoire Pour SEM Research
PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Le matériel de revêtement par pulvérisation au magnétron est un instrument de revêtement spécial de laboratoire développé par notre société. L'équipement peut être équipé d'une alimentation CC et d'une alimentation RF. La puissance varie de 500 W à 1 000 W. Il peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films en alliage, des films semi-conducteurs, des films en céramique, films diélectriques, films optiques, etc
Spécifications du cratère de pulvérisation du magnétron :
| Nom du produit | Cratère de crapules magnétron | ||
| Étape d'échantillonnage | Taille | Diam.150 mm | |
| Température de chauffage | Max. 500 ºC | ||
| Précision de la température | ±1 ºC | ||
| Vitesse de rotation | réglable de 1 à 20 tr/min | ||
| Cible de pulvérisation de magnétron | Quantité | 2 po*1 (1 po, 2 po, 3 po, 4 po en option) | |
| Mode de refroidissement | Refroidissement par eau | ||
| Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau de circulation avec débit de 10 l/min | ||
| Chambre à vide | Taille de la chambre | Diam.325*500mm | |
| Matériau de la chambre | Acier inoxydable | ||
| Fenêtre de surveillance | Diam.100 mm | ||
| Mode d'ouverture | Porte avant ouverte | ||
| Débitmètre massique | 2 canaux ; plage de mesure 100 SCCM ; 100 SCCM (peut être personnalisé en fonction des besoins du client) | ||
| Système de vide | Modèle | CY-GZK103-A. | |
| Pompe moléculaire | 600 L/s | ||
| Pompe d'appui | 1,1L/s. | ||
| Vide ultime | 1,0E-5Pa | ||
| Interface de pompage | CF160 | ||
| Interface d'échappement | KF40 | ||
| Mesure de vide | Jauge de vide composée | ||
| Alimentation | CA ; 220 V, 50 / 60 Hz | ||
| Débit de pompage | Aspirez jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes | ||
| Configuration de l'alimentation | Quantité | Alimentation RF x1 | |
| Puissance de sortie max | RF 300 W. | ||
| Epaisseur du film | Moniteur d'épaisseur de film en quartz, résolution : 0.1 Å | ||
| Autres paramètres | Tension d'alimentation | 220 V CA, 50 Hz | |
| Puissance totale | 4 KW | ||
| Taille totale | 600 mm×650 mm×1280 mm | ||
| Poids total | Environ 350kg | ||
1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 tagrst, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC de 0 à 1 000 W ou une cible de puissance RF est disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives.
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible.
6. Service personnalisé toujours disponible!
1. NOUS avons le cratère de pulvérisation du magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 cibles, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC de 0 à 1 000 W ou une cible de puissance RF est disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Cible magnétique forte et cible magnétique permanente sont facultatives.
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible.
6. Service personnalisé toujours disponible!
NOUS pouvons expédier le marouflage de magnétron par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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