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Fournisseur Audité Four à tube CVD sous vide de laboratoire avec débit massique à trois canaux Mètre
Spécifications du four à tube CVD :
| Four à tube sous vide | Modèle | TN-PECVD50-1200-Q |
| Puissance totale | 3 kw | |
| Matériau du tube | Quartz haute pureté | |
| Diamètre du tube | 60mm | |
| Longueur du tube | 1 200 mm | |
| Longueur de la chambre du four | 440mm | |
| Longueur de la zone de chauffage | 200 mm + 200 mm | |
| Température de fonctionnement | 0 À 150 ºC | |
| Thermocouple | Type K. | |
| Précision du contrôle de la température | ±1 ºC | |
| Mode de contrôle de la température | commande de température à 30 segments | |
| Mode d'affichage | LED (mettre en surbrillance l'affichage du tube numérique) | |
| Méthode d'étanchéité | bride à vide en acier inoxydable 304 | |
| Interface de bride | Joint de manchon de coupe 1/4" (joint pagode Ø8) | |
| Vitesse de rotation | 0-13 tr/min | |
| Angle d'inclinaison | 0-35 | |
| Vide | 4.4×10E-3Pa | |
| Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz | |
| Système de gaz | Modèle | TN-3F |
| Canal de gaz | 3 canaux | |
| Unité de mesure | Débitmètre massique | |
| Plage de mesure | Canal a : gaz H2 de 0 à 200 sccm | |
| Canal B : gaz N2 de 0 à 200 sccm | ||
| Canal C : gaz AR de 0 à 500 sccm | ||
| précision de mesure | ±1.5 % | |
| Résistance de pression de tuyau | 3 MPa | |
| Différence de pression de service | 0.1-0,5Mpa | |
| Tuyau de raccordement | acier inoxydable 304 | |
| Canal de gaz | robinet à pointeau en acier inoxydable 304 | |
| Spécification de l'interface | joint de manchon de coupe 1/4" pour entrée et sortie de gaz | |
| Système de vide | Pompe mécanique | Pompe à vide rotative à palettes |
| Débit de pompage | 1,1L/S | |
| Interface d'échappement | KF16 | |
| Mesure de vide | Jauge Pirani | |
| Vide ultime | 1×10E-1Pa | |
| Alimentation | CA : 220 V 50 / 60 Hz | |
| Interface de pompage | KF40 | |
| Alimentation RF | Fréquence | 13,56 MHz |
| Sortie | 0-500W | |
| Puissance réfléchie max | 100 W. | |
| Connexion | 50 Ω, type N, femelle |
1. NOUS avons CVD/PECVD machine avec système d'alimentation en gaz+système de vide+four à tube + générateur de plasma.
2. Four à tubes (température) :1200C, 1400C, 1600C, température personnalisée disponible.
3. Four à tubes (zone de chauffage) :zone unique, zone double, zone triple, personnalisé le nombre de zones de chauffage est disponible.
4. Matériau du tube : quartz, corindon, alliage et autre matériau du tube est personnalisable.
5. Le tube de diamètre et de longueur différents est personnalisable.
6. Générateur de plasma : 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, et d'autres puissances de générateur de plasma est personnalisable.
7. Débitmètre : un débitmètre à 1 ou 3 canaux ou un débitmètre à canaux multiples est disponible en option en fonction de votre processus.
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