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Fournisseur Audité Cratère à crachats magnétron à vide faible avec chambre Quartz pour l'université Processus d'apprentissage
PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Spécifications du cratère de pulvérisation du magnétron
| Nom du produit | Cratère de pulvérisation de magnétron | |
| Modèle | TN-MSZ180-DC-Q | |
| Etape d'échantillonnage | Taille | φ100mm |
| Température de chauffage | <500 ºC | |
| Vitesse de rotation | 0 à 20 tr/min, réglable | |
| Pistolet à pulvérisation | 2 inch1, 50,8 mm, épaisseur < 3 mm | |
| Chambre à vide | Taille | φ180mm X 215 mm |
| Matériau de la chambre | Quartz | |
| Ouverture | Ouverture par le haut | |
| Système de vide | Pompe de secours | Pompe à vide rotative à palettes, 1,1 l/s. |
| Pompe secondaire | Pompe moléculaire, 600 l/S. | |
| Mesure de vide | Jauge de vide composite, plage : 10-5~105 Pa | |
| Port d'aspiration | KF16, KF40 | |
| Orifice d'échappement | KF16 | |
| Degré de vide | 1.0×10-4Pa | |
| Tension | 220 V CA 50 / 60 Hz | |
| Puissance de pulvérisation | Quantité | Alimentation CC*1 |
| Puissance de sortie | 300 W. | |
| Autres | Tension | 220 V CA, 50 Hz |
| Puissance totale | 2 kW | |
| Taille totale | 550*350*500mm | |
1. NOUS avons le cratère de pulvérisation du magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, 4 cibles, etc. La cible peut être conçue en haut ou en bas de la chambre.
2. Une alimentation CC de 0 à 1 000 W ou une cible de puissance RF est disponible. La fonction de biais est facultative.
3. Taille cible : 1 pouce, 2 pouces, 3 pouces, 4 pouces, etc
4. Cible magnétique forte et cible magnétique permanente sont facultatives.
5. Cratère de pulvérisation de magnétron avec évaporation, E-Beam est disponible.
6. Service personnalisé toujours disponible!
Zhengzhou Tainuo film Materials Co., Ltd. Est une entreprise complète qui intègre la conception, la recherche et le développement, la production et la vente.
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Nos produits sont largement utilisés dans le domaine de la recherche en sciences des matériaux. Nous avons une vaste coopération avec des universités, des laboratoires et des entreprises de nouveaux matériaux. Il a été exporté avec succès vers plus de 20 pays et régions, dont les États-Unis, le Royaume-Uni, l'Allemagne, la Russie, la Suisse, Le Canada, le Brésil, etc. Et ont établi des relations de coopération à long terme avec les concessionnaires locaux.
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