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Fournisseur Audité PRÉSENTATION--ÉVAPORATION THERMIQUE
L'évaporation thermique est une technique de dépôt physique de vapeur populaire en raison de sa simplicité. Au cours de ce processus, un matériau dans un environnement à vide élevé est chauffé à son point d'évaporation par un chauffage en joule du bateau résistif dans lequel il est situé. Les molécules vaporisées se déplacent ensuite de la source au substrat où elles se nucléent, formant ainsi un mince revêtement de film. Une grande variété de matériaux peuvent être déposés à l'aide de cette technique comme l'aluminium, l'argent, le nickel, le chrome, le magnésium, entre autres.
Machine de revêtement par évaporation à sources de chauffage multiples pour métal et organique revêtement de film
L'équipement de revêtement est principalement basé sur l'évaporation de sources métalliques/organiques. Il convient à la préparation d'éléments métalliques, d'oxydes, de diélectriques, de films semi-conducteurs, etc. En laboratoire. Il peut également être utilisé pour l'enseignement et le test de pré-processus des lignes de production. , l'espace d'expansion est grand, adapté et répond aux travaux d'enseignement et de recherche des collèges et universités.Spécifications du coater d'évaporation thermique
| Chambre à vide | ||
| Apparence | 1 jeu de chambre à vide en D en acier inoxydable 304 de haute qualité, la taille interne de la chambre à vide est D400*480 mm, les portes avant et arrière doubles et la porte arrière comporte une porte carrée à charnières, pratique pour le nettoyage de la chambre à vide, le débogage interne, la maintenance et la collecte et le placement des échantillons ; La porte avant est dotée d'une porte carrée à traction horizontale et chaque porte avant et arrière est équipée d'un jeu de fenêtres DN100 ; |
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| Bas | 2 jeux d'interfaces de sources métalliques, 4 jeux d'interfaces de sources organiques, 1 jeu d'interfaces de pompes moléculaires, 2 jeux d'interfaces d'éclairage et 3 jeux d'interfaces de sondes d'épaisseur de film ; | |
| Haut | 1 jeu d'interface d'étage d'échantillonnage, 1 jeu d'interface de déflecteur électrique, 1 jeu d'interface de déflecteur pneumatique à vide élevé ; | |
| Côté gauche | 1 jeu d'interface de vanne pneumatique à vide élevé. | |
| Système de source métallique/organique | ||
| Source métallique | Quantité: 2 jeux 2 jeux d'électrodes en cuivre refroidies par eau, compatibles avec les bateaux d'évaporation (bateaux au tungstène, au molybdène et au tantale) et les fils spirales, équipés de déflecteurs pneumatiques, 1 jeu d'alimentation en courant continu de 1 kW (affichage numérique), précision de réglage du courant 1A (réglage fin), la puissance répond à l'évaporation courante des métaux et des oxydes de métal ; |
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| Source organique | Quantité: 4 ensembles Bateau à quartz 4CC, 2 alimentations de contrôle de la température (précision d'affichage du compteur de contrôle de la température 0.1 °C), plage de température : RT~500 °C (précision de contrôle de la température ±1 °C), avec déflecteur pneumatique ; |
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| Déflecteur | La source d'évaporation est indépendante l'une de l'autre et le déflecteur est séparé pour éviter une contamination croisée | |
| 3.système de phase d'échantillonnage | ||
| Rotation du substrat | La vitesse est réglable en continu de 0 à 30 tr/min ; | |
| Soulèvement du substrat | Levage électrique, la distance entre le substrat et la source d'évaporation est réglable en continu de 200 à 300 mm via l'écran tactile ; | |
| Porte-échantillon | substrat 20*20mm 8 pièces | |
| Obturateur de substrat | Obturateur électrique | |
| 4.système de vide | ||
| Kit de pompe à vide | 1) 1 jeu de pompe moléculaire de 600 l/s ; 2) 1 jeu de pompe rotative à palettes 8 l/s. 3) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé CF150 ; 4) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé CF40 ; 5) 2 jeux de vannes pneumatiques à vide élevé KF16 ; 6) 1 jeu de vannes pneumatiques à vide élevé KF40 ; 7) 1 jeu d' électrovanne de dépression KF40 ; 8) 2 jeux de flexibles de raccordement de soupape de pompe KF40, 1 jeu de raccord en T KF40 ; 9) 1 jeu de vacuomètre numérique (plage de mesure : 1×105~1×10-5Pa) |
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| 5.système de surveillance de l'épaisseur du film | ||
| Compteur d'épaisseur de film | 1 jeu de moniteurs d'épaisseur de film en quartz à trois canaux | |
| Sonde d'épaisseur de film | 3 jeux de sondes d'épaisseur de film refroidies par eau CF35 | |
| 6.rack d'équipement | ||
| 1) 1 jeu de 40 cadres de soudage de tubes carrés en acier au carbone ; 2) 4 pièces de roues universelles, déplacer et régler; 3) 4 pièces de pieds M16, verrouillées et positionnées. |
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| 7.système de commande électronique | ||
| Alimentation électrique de la source métallique | 1 jeu | |
| Alimentation de la source organique | 2 jeux (un pour deux) | |
| Alimentation électrique du déflecteur de source d'évaporation | 1 jeu | |
| Moniteur d'épaisseur de film à quartz à trois canaux | 1 jeu | |
| Table d'échantillonnage et son bloc d'alimentation de déflecteur | 1 jeu | |
| Alimentation électrique de l'éclairage de cuisson | 1 jeu | |
| Contrôle API | 1 jeu, équipé d'un écran tactile | |
| Alimentation totale de contrôle | 1 jeu | |
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Boîte à gants de poste de travail simple
(Avec côté gauche amovible, pas de système de purification des gaz ni d'analyseurs) |
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| Taille de la chambre | L1200* W750* H900mm | |
| Gants | 1 paire | |
| Grand antichambre | Diamètre intérieur 360 mm, longueur 600 mm | |
| Petit antichambre | Diamètre intérieur 150 mm, longueur 300 mm | |
| 9.autres paramètres | ||
| 1) protection contre les pertes de phase, protection contre les erreurs de fonctionnement, verrouillage de l'attelage et fonctions de démarrage et d'arrêt à vide à une clé; 2) alimentation : système d'alimentation biphasé ~220 V (pic 3 kW) ; 3) alimentation en eau : petit refroidisseur, température de l'eau de refroidissement de 5 ºC à 35 ºC, température de l'environnement de travail de 10 ºC à 40 ºC; 4) alimentation en air : petite pompe à air silencieuse sans huile, fournissant une pression d'air de 0.2 à 0,3 MPa pour entraîner les vannes pneumatiques ; 5) vide ultime: 6×10-5Pa, le temps de l'atmosphère à 6×10-4Pa est inférieur à 35 minutes (remplir d'azote sec), arrêter pendant 12 heures degré de vide≤10pA. |
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Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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