Équipement de revêtement PECVD pour machine à revêtement avec four à tubes

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Portable
• N° de Modèle.: TN-1200X-III-50IC
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• nom du produit: CVD Tuber Furnace
• matériau du tube: quartz haute pureté
• température: 1 200 °c.
• zone de chauffage: 200 mm*2
• taille du tube du four: 50*450 mm
• précision de la température: 1c
• Paquet de Transport: Fumigated Wooden Box
• Marque Déposée: TN
• Origine: China
• Code SH: 8401200000
• Capacité de Production: 20 Sets Per Month

Description de Produit

Description du produit

 Équipement de revêtement CVD avec four à tubes

1. Ce système CVD est spécialement conçu pour la production de graphène, à l'aide d'un four à mini-tube de 1200ºC, équipé d'un haut-
   débitmètre massique de précision et jauge de vide à couche mince.

2. Par rapport à la jauge de résistance Pirani conventionnelle, la lecture de la jauge à couche mince est précise et n'est pas affectée par le
   type de gaz, qui est très approprié pour le processus de revêtement sous vide.

3. Le four à tubes CVD est équipé d'un dispositif de détection de gaz combustible, qui est relié à une électrovanne à l'air
   sortie. En cas de fuite, l'électrovanne peut être fermée pour garantir la sécurité.

4. Le four à tubes CVD est fourni avec un encombrement et est très adapté à la préparation en laboratoire de CVD.

Paramètres du produit

Spécifications de la machine de revêtement CVD

Alimentation RF	Fréquence du signal	13,56 MHz±0.005 %
	Plage de puissance de sortie	0 À 300 W.
	Puissance réfléchie maximale	100 W.
	Puissance réfléchie (à la puissance maximale)	<3 W.
	Stabilité de puissance	±0.1 %
Four à tubes	Matériau du tube	Quartz haute pureté
	Diamètre extérieur du tube	100 mm
	Longueur du tube	1 200 mm
	Longueur de la chambre du four	440mm
	Longueur de la zone de chauffage	200 mm + 200 mm (deux zones de température)
	Longueur de zone de température constante	200 mm
	Température de fonctionnement continue	Max. 1100ºC
	Précision du contrôle de la température	±1 ºC
	Mode de contrôle de la température	commande de température à 30 segments
	Mode d'affichage	LCD
	Méthode d'étanchéité	bride à vide en acier inoxydable 304
Alimentation en gaz système	Modèle	CY-6Z
	Numéros de canal	6
	Unité de mesure	Régulateur de débit massique
	Plage de mesure	Un canal : 0~200 SCCM pour H2	Remarques : si d'autres plages sont requises, veuillez les préciser lors de la commande. Selon les exigences spécifiques du client, le débitmètre du type et de la gamme de gaz correspondants est facultatif.
		Canal B : 0 à 200 SCCM pour CH4
		Canal C : 0 à 200 SCCM pour C2H4
		Canal C : 0 à 500 SCCM pour N2
		Canal D : 0~500SCCM pour NH3
		Canal E : 0 à 500 SCCM pour AR
	Précision de mesure	±1.5% F.S
	Différence de pression de service	-0,15 Mpa~0,15 Mpa
	Tuyau de raccordement	acier inoxydable 304
	Canal de gaz	robinet à pointeau en acier inoxydable 304
	Spécification de l'interface	connecteur à embout de 1/4" pour l'entrée et la sortie de gaz
Système de vide	Pompe mécanique	Pompe à palettes rotative à double étage
	Débit de pompage	1,1L/S
	Mesure de vide	Jauge de résistance
	Vide ultime	1,0E-1Pa
	Interface de pompage	KF16
Rail coulissant		Peut atteindre le glissement de deux zones de température four, pour réaliser une montée et une chute rapides de température.
Alimentation		220 V CA 50 Hz

 

 

Photos détaillées

1. NOUS avons CVD/PECVD machine avec système d'alimentation en gaz+système de vide+four à tube + générateur de plasma.

2. Four à tubes (température) :1200C, 1400C, 1600C, température personnalisée disponible.

3. Four à tubes (zone de chauffage) :zone unique, zone double, zone triple, personnalisé le nombre de zones de chauffage est disponible.

4. Matériau du tube : quartz, corindon, alliage et autre matériau du tube est personnalisable.

5. Le tube de diamètre et de longueur différents est personnalisable.

6. Générateur de plasma : 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, et d'autres puissances de générateur de plasma est personnalisable.

7. Débitmètre : un débitmètre à 1 ou 3 canaux ou un débitmètre à canaux multiples est disponible en option en fonction de votre processus.

Profil de l'entreprise

Emballage et expédition

Nous pouvons expédier le CVD, PECVD machine par mer, par air, par terre et par Express, nous pouvons également organiser l'expédition selon vos besoins.

FAQ

Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.  

Q. Comment est votre garantie ?
R.  notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.

Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.

Q. Comment payer?
A.  T T, L / C, D / P, ETC

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A.  panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.

Contactez-nous

DEVONS-NOUS DISCUTER DE VOTRE PROJET ?

Contactez-nous et nous pouvons collaborer pour vous fournir les réponses et les solutions dont vous avez besoin.
Comment pouvons-nous vous aider à atteindre vos objectifs ? Quels obstacles techniques notre équipe d'ingénieurs peut-elle vous aider à surmonter ? Veuillez appuyer sur le bouton « Get In Contact » pour nous contacter. Nous serions ravis d'apprendre vos recherches et de vous aider de la manière que nous pouvons.