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Fournisseur Audité Le plasma enhanced chemical vapour deposition PECVD système avec tube de quartz four
Spécifications du système PECVD
| Trois-Zone de chauffage du four de tube | Modèle | Amt-1200X-III-50IC |
| Matériau du tube | Le quartz de haute pureté | |
| Diamètre du tube | 50mm | |
| Longueur de tube | 1000mm | |
| Chambre du four longueur | 660mm | |
| Longueur de la zone de chauffage | 200mm+200mm+200mm | |
| La température de fonctionnement | 0~1100ºC | |
| Précision de contrôle de température | ±1 °C | |
| Mode de commande de température | 30 ou 50 segment de commande de température de programme | |
| Mode d'affichage | La DEL (mettez en surbrillance écran à tube numérique) | |
| Méthode d'étanchéité | Bride de vide en acier inoxydable 304 | |
| Interface à embase | Manchon Coupe 1/4" (Ø8 pagode mixte mixte) | |
| Le vide | 4,4×10E-3Pa | |
| L'alimentation | AC:220V 50/60 Hz | |
| Une seule zone de chauffage du four de tube | Modèle | La TN-O1200-50IC |
| Matériau du tube | Le quartz de haute pureté | |
| Diamètre du tube | 50mm | |
| Longueur de tube | 1000mm | |
| Chambre du four longueur | 440mm | |
| Longueur de la zone de chauffage | 400mm | |
| La zone de température constante | 200mm | |
| La température de fonctionnement | 0~1100ºC | |
| Précision de contrôle de température | ±1 °C | |
| Mode de commande de température | 30 ou 50 segment de commande de température de programme | |
| Mode d'affichage | La DEL (mettez en surbrillance écran à tube numérique) | |
| Méthode d'étanchéité | Bride de vide en acier inoxydable 304 | |
| Interface à embase | Manchon Coupe 1/4" (Ø8 pagode mixte mixte) | |
| Le vide | 4,4×10E-3Pa | |
| L'alimentation | AC:220V 50/60 Hz | |
| Système de sortie RF | Gamme de puissance | 0~500W réglable |
| Fréquence de travail | 3.56MHz+0.005 % | |
| Mode de travail | Sortie continue | |
| Mode d'affichage | Écran LCD | |
| Mode d'impédance appariées | Ne peut égaler, les bougies est uniformément couvert avec trois zone de chauffage tubes four | |
| Stabilité d'alimentation | ≤2 W | |
| Puissance réfléchie de normales de travail | ≤ 3W | |
| Amplifié la puissance réfléchie | ≤70W | |
| Composante harmonique | ≤ -50 dBc | |
| L'efficacité de la machine | ≥70 % | |
| Le facteur de puissance | ≥90 % | |
| Tension d'alimentation / fréquence | Une seule phase AC (187V~153V) fréquence 50/60 Hz | |
| Mode de contrôle | Le contrôle interne / PLC analogique / communication RS232 / 485 | |
| Les paramètres de protection de l'alimentation | Protection contre les surintensités DC, amplificateur de puissance au cours de la protection de la température, la puissance réfléchie de la protection | |
| Méthode de refroidissement | Refroidissement par air forcé | |
| Les bougies de longueur | Dans l'Ar, la puissance RF et la bobine d'alimentation sont combinés pour et les bougies de préchauffage peut remplir la longueur de la fournaise dans trois zones de chauffage. | |
| Système de fourniture de gaz | Quatre canaux débitmètre massique | Beijing Huachuang Qixing, débitmètre massique |
| Plage de débit | Le MFC1 gamme : 0~200sccm MFC2 gamme : 0~200sccm Le MFC3 gamme : 0~500sccm MFC4 gamme : 0~500sccm Correspondant à des gaz H2, CH4, N2, Ar, |
|
| La précision de mesure | ±1,5%F.S | |
| Répétabilité | ±0,2%FS | |
| Précision linéaire | ±1%F.S. | |
| Le temps de réponse | ≤ 4s | |
| Le travail sous pression | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
| Le contrôle de flux | Contrôle d'écran tactile LCD, affichage numérique, chaque canal de gaz contient une soupape à aiguille pour commande individuelle. | |
| Interface d'admission | Peut être connecté à 1/4NPS ou 6mm de diamètre extérieur du tube en acier inoxydable | |
| Interface de sortie | Peut être connecté à 1/4NPS ou 6mm de diamètre extérieur du tube en acier inoxydable | |
| La méthode de connexion | Manchon coupe mixte double | |
| La température de fonctionnement | 5~45ºC | |
| Le prémélange de gaz | Équipé d'premixing terminal de gaz | |
| Système d'échappement | Pompe mécanique | GHD-031B |
| Taux de pompage | 4L/s | |
| Interface d'échappement | KF16 | |
| Mesure de dépression | Jauge de Pirani | |
| Le vide absolu | 1×10E-1Pa | |
| L'alimentation | AC:220V 50/60 Hz | |
| Interface de pompage | KF40 | |
| Pompe mécanique | GHD-031B | |
| Le rail | Longueur du rail | 2.5M~3m Il peut réaliser le glissement de l'une longueur en position de four dans la zone de chauffage de trois-four pour parvenir à une montée de température rapide et l'automne. |
1. Nous avons mcv/PECVD machine avec système de fourniture de gaz+Système de vide+tube + générateur de plasma de four.
2. Four de tube (température) :1200C, 1400c, 1600C, température personnalisé est disponible.
3. Four (zone de chauffage du tube) :zone unique, double zone, zone triple, personnalisé No de zone de chauffage est disponible.
4. Matériau : tube de quartz, corindon, alliage et autre matériel de tube est personnalisable.
5. Tube de diamètre et de longueur différente est personnalisable.
6. Générateur de plasma : 100W, 150 W, 300W, 500W, 1000W, et d'autres puissance de générateur de plasma est personnalisable.
7. Débitmètre : 1~3 ou multi channel le débitmètre est facultative en fonction de vos processus.
Les MCV-- tube four avec 1200C simple zone de chauffage Les MCV / PECVD-- tube four avec 1200C triple zone de chauffage PECVD---- Rouleau rouleau PECVD-- type rotatif
D'autres machines :
Nous pouvons expédier de la CVD, PECVD machine par mer, par l'air, par voie terrestre et par express, nous pouvons aussi organiser selon vos besoins d'expédition.
Q. Vous êtes fabricant ou Trading Company ?
R. Nous sommes professional fabricant des instruments de laboratoire, nous avons des professionnels de l'équipe de R&D et l'atelier, qui peut promettre à l'qulaity et service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
A. Notre garantie est de 12 mois la durée de vie, et de fournir l'entretien. Nous fournissons 24 heures service en ligne.
Q. Combien de temps est votre délai de livraison ? Si je veux personnaliser l'instrument, combien de temps faut-il?
A. 5-10 jours----en magasin. Produits Customzied---cela prend habituellement 30-60 jours selon vos exigences.
Q. Et le bouchon d'alimentation ?
A. Nous pouvons fournir des produits accroding à votre service local de la tension et le bouchon standard.
Q. Comment payer ?
A. T T, L / C, D / P, etc.
Q. Comment est l'emballage de marchandises ? Les méthodes de livraison ?
A. signe de fumigation d'exportation standard Boîte en bois d'emballage ou que vos besoins.
Nous allons discuter de votre projet ?
Veuillez entrer en contact et nous pouvons collaborer pour obtenir les réponses et les solutions dont vous avez besoin.
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