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Fournisseur Audité Seule cible / dual target / pulvérisation magnétron cible trois de l'équipement de revêtement
Pulvérisation magnétron d' équipement de revêtement est un revêtement de laboratoire spécial instrument développé par notre société. L'équipement peut être équipé d'alimentation CC et d'alimentation RF. La puissance varie entre 500 W à 1000W. Il peut être utilisé pour préparer un seul ou de films minces ferroélectriques multicouche, conducteur de films, films, semi-conducteurs en alliage de films, films, films diélectriques en céramique, optique des films, etc.
Par rapport à la pulvérisation de plasma classiques, pulvérisation magnétron a les avantages de haute énergie, haute vitesse, haute vitesse de déposition et de faible élévation de température de l'échantillon. Le magnétron cible est équipé d'intercalaire. refroidis par eau Le refroidisseur d'eau peut effectivement prendre loin de la chaleur et éviter d'accumulation de chaleur sur la surface cible, de sorte que le revêtement du magnétron peut travailler de manière stable pour un long moment.
Après la conception compacte, le solde du volume et le rendement est réalisé, l'apparence est belle et la fonction est globale. L'ensemble de la machine est contrôlée par écran tactile et intégré en un seul bouton programme de revêtement, ce qui est facile à utiliser et est un appareil idéal pour la préparation de films minces en laboratoire.
Paramètre technique
| L'alimentation | AC220V,50Hz | |
| Ensemble de l'alimentation | 6KW | |
| Limite le degré de dépression | 5x10-4PA | |
| Paramètres de la table de l'échantillon | Taille | Φ150mm |
| La chaleur temp | 500ºC max. | |
| De Contrôle de température | ±1 °C | |
| Vitesse de rotation | Réglable 1-20tr/min | |
| Les paramètres de tête de pulvérisation magnétron | Quantité:1/2/3 | Taille:2" |
| Mode de refroidissement | Refroidi par eau,10L/min de débit requis | |
| Refroidisseur à eau | 10L/min de l'eau de refroidissement circulant | |
| La chambre à vide | Taille | Φ300mm x 340mm H |
| Matériel | SUS | |
| Fenêtre espion | Φ100mm | |
| Mode d'ouverture | Type ouvert, facile à remplacer la cible | |
| Contrôleur de débit de gaz | Un canal,200sccm ar; | |
| Pompe à vide | Un système de pompe moléculaire,le pompage 600L/s | |
| Le quartz vibrant jauge d'épaisseur de film | Un jeu, résolution 0.10 angstrom | |
| Source d'alimentation pulvérisation | DC alimentation:500W-1000W,adapté pour la préparation de films de métal Alimentation de puissance RF500W-1000W,adapté pour les non - les films métalliques |
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| Le mode de fonctionnement | Tout-en-un service d'ordinateur | |
| Dimensions hors tout | 1090mm x 900mm x 1250mm | |
| Poids total | 350kg | |
Q. Vous êtes un fabricant ou une société de négoce ?
A. Nous sommes professionnels instrument de laboratoire Les fabricants, avons notre propre équipe de conception et l'usine, ont une expérience technique matures, et peut garantir la qualité des produits et le prix optimal.
Q. Comment votre entreprise est le produit de système de service après-vente ?
A. Le produit est de 12 mois la période de garantie, nous pouvons fournir de l'entretien à vie. Nous avons professional pré-ventes et services après-vente qui peut répondre à vous dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.
Q. Combien de temps est votre délai de livraison ? Si je veux personnaliser l'instrument, combien de temps faut-il?
A.1. Si les marchandises sont en stock, elle est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Il prend généralement de 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.
Q. Notre pays et d'alimentation du connecteur sont différentes. Comment pouvez-vous résoudre ce problème?
A. Nous pouvons fournir un transformateur et le bouchon selon vos exigences locales en fonction de la fiche d'alimentation des différents pays.
Q. Comment payer ?
A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Commerce garantie.
Q. Comment est l'emballage de marchandises ? Les méthodes de livraison ?
A.1. Signe de fumigation d'exportation standard Boîte en bois à l'emballage 2. Express, air, de la mer expédition selon les exigences du client, de trouver la meilleure façon.
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