• Machine de revêtement de pulvérisation magnétron à trois cibles avec une masse jusqu′à quatre canaux Débitmètre
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Machine de revêtement de pulvérisation magnétron à trois cibles avec une masse jusqu′à quatre canaux Débitmètre

After-sales Service: 12 Months
Warranty: 12 Months
Type: Coating Production Line
Coating: Vacuum Coating
Substrate: Steel
Certification: CE

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Henan, Chine
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Info de Base.

N° de Modèle.
TN-MSH300-III-DCDCRF-SS
Condition
New
mode de refroidissement
refroidissement par eau
température de chauffage
max. 500 ºc
vitesse de rotation
réglable de 1 à 20 tr/min
taille du substrat
diamètre 185 mm
chambre à vide
acier inoxydable
Magnetron Sputtering Target Head
3 Magnetron Sputtering Heads
taille du plateau d′échantillonnage
Maximum 4" Substrate Can Be Placed
vitesse de rotation
1-20 Rpm (Adjustable)
température de chauffage la plus élevée
500 ºc
précision du contrôle de la température
+/- 1.0 °c
régulateur de débit de gaz
2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
pompe à vide
a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
circuit de refroidissement
16 l/min
Paquet de Transport
Fumigated Wooden Box
Spécifications
290mmx365mmx260mm
Marque Déposée
TN
Origine
China
Code SH
8486209000
Capacité de Production
200/Month

Description de Produit

Machine à revêtement par pulvérisation Magnetron à trois cibles
 Avec débitmètre massique jusqu'à quatre canaux

Description du produit

Trois cibles le cratère de pulvérisation de magnétron est un équipement de revêtement de pulvérisation de magnétron économique développé indépendamment par notre société. Il est standardisé, modulaire et personnalisable. Il existe des cibles magnétron de 1 pouce ou 2 pouces à choisir.

Les clients peuvent choisir la cible en fonction de la taille du substrat à enduire. Le dispositif est équipé d'une alimentation de 500 W CC et d'une alimentation de 300 W RF. L'alimentation CC peut être utilisée pour la préparation de films métalliques et l'alimentation RF pour la préparation de films non métalliques. Les trois cibles peuvent répondre aux besoins de revêtements multiples ou multiples. Si les clients ont d'autres besoins en revêtement, l'alimentation CC et l'alimentation par impulsion peuvent être personnalisées. Différents types d'alimentation sont disponibles de 300 W à 1000 W dans diverses spécifications.


La machine de revêtement est équipée d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Si vous avez d'autres exigences, vous pouvez personnaliser le trajet du gaz d'un débitmètre massique à quatre canaux maximum pour répondre aux exigences de construction de l'environnement gazeux complexe. L'instrument est équipé de groupes de pompes turbomoléculaires avancés, le vide ultime est jusqu'à 1,0E-5Pa, et d'autres types de pompes moléculaires sont disponibles à l'achat. Le chemin de gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes. Vous pouvez ouvrir la chambre pour prélever l'échantillon sans arrêter la pompe, ce qui améliore considérablement votre efficacité de travail. Ce produit peut être équipé d'un ordinateur industriel intégré pour contrôler le système. Dans le programme informatique, la plupart des fonctions telles que le contrôle de la pompe à vide et le contrôle de puissance de pulvérisation peuvent être réalisées, ce qui peut améliorer encore votre efficacité expérimentale.

Application de cratère de pulvérisation de magnétron à trois cibles :
Ce dispositif peut être utilisé pour la préparation de films minces ferromagnétiques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films en alliage, de films semi-conducteurs, de films en céramique, Films diélectriques, films optiques, films d'oxyde, films durs, films en PTFE, et comme ça. Par rapport à un équipement similaire, ce cratère à trois cibles est non seulement largement utilisé, mais il présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et est un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.

Paramètres du produit
Étape d'échantillonnage Taille φ150mm Précision du contrôle de la température ±1 ºC
Température de chauffage 500 ºC max Vitesse de rotation réglable de 1 à 20 tr/min
Tête cible de pulvérisation du magnétron Quantité 2"×3 (1", 2" en option) Refroidisseur d'eau Refroidisseur d'eau de circulation avec débit de 10 l/min
Mode de refroidissement Refroidissement par eau    
Chambre à vide Taille de la chambre φ300mm×300 mm Fenêtre de surveillance φ100mm
Matériau de la chambre Acier inoxydable Mode d'ouverture Capot supérieur ouvert
Débitmètre massique 2 canaux ; plage de mesure 100 sccm ; 100 sccm (peut être personnalisé en fonction des besoins du client)
Système de vide Modèle CY-GZK103-A. Interface de pompage KF40
Pompe moléculaire CY-600 Interface d'échappement KF16
Pompe d'appui pompe à palettes rotative Mesure de vide Jauge de vide composée
Vide ultime 1,0E-5Pa Alimentation CA ; 220 V 50 / 60 Hz
Débit de pompage Pompe moléculaire: Pompe rotative à palettes 600L/S: 1,1L/S performances de pompage de gaz complètes: Vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes
Configuration de l'alimentation Quantité Alimentation CC×2
Alimentation RF ×1
Puissance de sortie max 500 W CC, 500 W RF
Autres paramètres Tension d'alimentation 220 V CA, 50 Hz Taille totale 1090mm*900mm*1250mm
Puissance totale 6 KW Poids total Environ 300kg
 
Photos détaillées

 

Trois cibles magnétron crachats coater photos produit: Three-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow Meter
 

 

 

FAQ

Q. êtes-vous un fabricant ou une société de commerce?

R. nous sommes des fabricants d'instruments de laboratoire professionnels, nous avons notre propre équipe de conception et notre usine, nous avons une expérience technique mature et nous pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.

Q. Comment est le système de service après-vente de votre entreprise ?

R.  la période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer la maintenance à vie. Nous disposons de services professionnels de pré-vente et d'après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre les problèmes techniques.

Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?

A.1. Si les marchandises sont en stock, il est de 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés pour nos clients. Cela prend généralement 30-60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.

Q. l'alimentation et la fiche de notre pays sont différentes. Comment la résoudre ?

R. nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux, selon la prise électrique des différents pays.

Q. Comment payer?

A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser Alibaba Trade Guarantee.

Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?

A.1. Panneau de fumigation standard pour exportation emballage en carton en bois 2. Express, air, mer expédition selon les exigences du client, trouver la manière la plus appropriée.

Pour plus de questions, veuillez nous contacter.

Three-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow MeterThree-Target Magnetron Sputtering Coating Machine with up to Four-Channel Mass Flow Meter
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Fabricant/Usine
Produits Principaux
Evaporation Coater; Film Coater
Nombre d'Employés
13